美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣
體過濾器
美國ENTEGRIS英特格（gé），過濾器WGPM0GGG2，現貨
WG3D50DR2
美國（guó）ENTEGRIS英特（tè）格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器 WG3NS7SL2
WGMXMBSS4
CBUG050P1
英特格 A2AG200K1?
SVEG01P01
WGMXMBSS4
WGMXMBSS3
YY4110106
YY5032PS1
YY4110104
YY66H0A2A
A2AG200K1
為超純氣體係統過（guò）濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動態壓力（lì）應用（yòng）的理想選擇。
最先進的外殼組件通過最小化焊接區域來（lái）消除除（chú）氣
全金屬結構（gòu）是高溫和動態壓力應用的理（lǐ）想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件（jiàn）選（xuǎn）擇（zé）提供了最高的設計效率並（bìng）最（zuì）大（dà）限度地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫應（yīng）用
新工廠建設（shè）
Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器
以高達 30 slpm 的流速可靠地去除惰性氣體中的顆（kē）粒。
提供高效、低成本、使用（yòng）點的惰性氣體過濾
> 99.9999999% 去除所有（yǒu）直徑大於 0.015 μm 的顆粒
應用（yòng）
Wafergard GT-Plus 在線氣體（tǐ）過濾器應用
低進氣過濾（lǜ）器（qì）
晶（jīng）圓輸（shū）送係統
清潔幹燥空（kōng）氣 (CDA)
產品規格
材料 膜： 疏水性氟聚合物 PTFE
支（zhī）架、外殼： 粉煤灰
推薦流量 30 升/分鍾
連接 1/8", 1/4" 壓縮密封（fēng）
膜麵（miàn）積 12 厘米2 (1.9 英寸2 )
顆粒保留 >99.9999999% 去除所有直徑大於 0.0015 μm 的顆粒（在最具穿透性的
顆粒尺寸下驗（yàn）證）
運行條件 最大工作壓力： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
最（zuì）大正向壓（yā）差： 0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在（zài） 20°C
最大反向壓差： 0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
最高工作溫度： 50°C (122°F)
方麵 長度： 1/8" 密封件：69 mm (2.7")
1/4" 密封件：71.5 mm (2.8")
直徑： 21.5 毫米（0.85 英寸）
零件號
Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾（lǜ）器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度 選擇選項
WGFG01KP0 1/8" 壓（yā）縮密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 10 件裝過濾器
WGFG01KP3 1/8" 壓縮密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 3 件裝過濾器
WGFG21KP0 1/4" 壓縮密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 10 件（jiàn）裝過濾器
WGFG21KP3 1/4" 壓縮密封 71.5 毫米（mǐ）（2.8 英寸） 3 件（jiàn）裝過濾器
ENTEGRIS英特格，Wafergard MAX 在線（xiàn） PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR2現
貨
其他商品
動壓應用
惰性和活性氣體
產品規格
WG3NS7SL2 WG3NS3RF2 WG2F02PSI
材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不（bú）鏽鋼外殼
下遊清（qīng）潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件（jiàn）號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號
零件（jiàn）號 接頭尺寸和類型 長度（dù）
.特種氣體
特種氣體（tǐ）是指稀（xī）有（yǒu）氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫藥、電
子及石油化工在內的許多行業都會受益於特種（zhǒng）氣體的（de）獨特性質，它有助於提高產量
、優化性能以及降低成本。我們富有經驗的應用（yòng）團隊遍（biàn）布（bù）全球，可以根（gēn）據對您的行
業和（hé）應（yīng）用情況的了解，為您提供特種氣體供應解決方案，以滿足您（nín）的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器（qì）
Gasketgard 在線墊圈過濾（lǜ）器是（shì）一種緊湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英（yīng）寸（cùn））
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散（sàn）裝氣（qì）體輸送 薄膜 沉積 幹（gàn）蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在（zài）線墊片過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGMBRR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
Entegris WG2FT1SS2
Entegris WG2FT1SS2
ENTEGRIS WGMXMSRR4
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2
Entegris WG2FT1RR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS CBUG0S0S1
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPM0GGT4
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG FG 氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大（dà）限度地提高（gāo）光伏電池和
顯示器的（de）生產產（chǎn）量。PTFE 濾芯與高純度工藝氣體（tǐ）以及惰性氣（qì）體和 CDA 應用（yòng）兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件類型
壓縮密封 密封墊片 不擴散核武器條約
長度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫
米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（mǐ）（5.26 英寸）
少看
最大工（gōng）作壓（yā）力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG YY 係（xì）列氣體過濾器提供卓（zhuó）越的微粒過濾，以最大（dà）限（xiàn）度地提高光伏電
池和（hé）顯（xiǎn）示器的生產產量。
與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應用（yòng）具有出色的兼容性
卓越的下遊清（qīng）潔度
應用
Wafergard SG 氣體過濾器應（yīng）用
光伏工藝氣體
顯示器製造工藝氣體
煤（méi）氣櫃
閥組箱
氣體麵板
零件號
Wafergard SG 氣體過濾器部（bù）件（jiàn）號
零件號 產品類別 最大流（liú）量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（
VCR 兼（jiān）容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/4" 壓縮密（mì）封（
兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾（zhōng） 1/2" 墊圈密封（
VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾（zhōng） 3/8" 壓縮密（mì）封（
與世偉洛克 兼容） 119.3 毫（háo）米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/2" 墊圈密封（
VCR 兼容） 127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（與
VCR 接頭兼容）公（gōng）入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英（yīng）寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過（guò）濾器 500 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（VCR
兼容（róng）） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過（guò）濾器 1000 升/分（fèn）鍾 1/2" 墊圈密封
（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鍾 1/4" 壓縮密封（兼容
Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鍾 3/8" 壓（yā）縮密封（與
世偉洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鍾 1/2" 壓（yā）縮密封（兼
容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型（xíng）氣體過濾器 60 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（VCR
兼（jiān）容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鍾 1/4" 壓（yā）縮密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫（háo）米（2.90 英寸（cùn））
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣（qì）體過濾器 60 升/分鍾 1/4" 墊圈密（mì）封（VCR 兼容
） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鍾 1/4" 壓縮（suō）密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（VCR 兼
容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/4" 壓縮密封（兼容
Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鍾 3/8" 墊（diàn）圈密封（VCR 兼
容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鍾（zhōng） 3/8" 壓縮密封（fēng）（與世偉
洛克（kè） 兼容） 119.3 毫米（4.70 英（yīng）寸）
Wafergard SG 氣體過（guò）濾器
Wafergard SG FG 氣體過濾器提供卓（zhuó）越的微粒過（guò）濾，以最大（dà）限度地（dì）提高光伏電池（chí）和
顯示器的生產產量。PTFE 濾芯與高純度工藝氣體以及惰性氣體和（hé） CDA 應用兼容。
合（hé）身尺寸
1/4" 3/8"
配件類型
壓縮（suō）密封 密封墊（diàn）片 不（bú）擴散（sàn）核武器條約
長度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫
米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作壓力（lì）
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG YY 係（xì）列氣體過濾器提供卓越（yuè）的微粒過濾，以（yǐ）最大限度地提高光伏電
池和顯示器的生產產量。
與高純度氣體（tǐ）、惰性氣體和 CDA 應用具有出色的兼容性
卓越的下（xià）遊（yóu）清潔度
應用
Wafergard SG 氣體過濾（lǜ）器應用
光伏工藝氣體
顯示器製造工藝氣體
煤氣櫃
閥組箱
氣體麵板
零件號
Wafergard SG 氣體過濾（lǜ）器部件號
零（líng）件號 產品類別 最大（dà）流量 接頭尺（chǐ）寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器（qì） 120 升/分鍾 1/4" 墊圈密（mì）封（
VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/4" 壓縮密封（
兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/2" 墊圈密封（
VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英（yīng）寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升（shēng）/分鍾 3/8" 壓縮密封（
與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸（cùn））
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/2" 墊（diàn）圈密封（
VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體（tǐ）過濾器（qì） 500 升/分鍾 1/4" 墊圈（quān）密（mì）封（與
VCR 接頭兼容）公入口/母出（chū）口 141.2 毫米（mǐ）（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分（fèn）鍾 1/4" 墊圈密封（VCR
兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鍾 1/2" 墊圈密封
（VCR 兼（jiān）容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鍾 1/4" 壓（yā）縮密封（兼容
Swagelok） 112.7 毫（háo）米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鍾 3/8" 壓縮密封（與（yǔ）
世偉洛克 兼（jiān）容（róng）） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體（tǐ）過濾器 1000 升/分鍾 1/2" 壓縮密封（兼
容 Swagelok） 118.7 毫（háo）米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型（xíng）氣體過（guò）濾器 60 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（VCR
兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鍾 1/4" 壓縮（suō）密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容
） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鍾 1/4" 壓縮密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分（fèn）鍾 1/4" 墊圈密封（VCR 兼
容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鍾（zhōng） 1/4" 壓縮密封（兼容
Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鍾 3/8" 墊圈密封（VCR 兼
容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鍾 3/8" 壓（yā）縮密封（與世偉
洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米
（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭（tóu）用（yòng）塑料
蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與（yǔ） VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫
米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣（qì）體過濾器（qì）
這些在線 PTFE 氣體過濾器與（yǔ）高純度氣體兼（jiān）容，並（bìng）在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和
CDA 應用（yòng）中提供（gòng）卓越的顆（kē）粒過（guò）濾。
PTFE 濾芯在超（chāo）純應用中表現出色
專為高流量（liàng）和低增（zēng）量壓力應用（yòng）而（ér）設計
用於（yú）惰性和反應性氣體，包括臭氧
為（wéi）快速（sù）啟（qǐ）動而預先調節（jiē）（僅限銀色）
應用（yòng）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用（yòng）
兼容（róng）所有類別的半導體工藝氣體（tǐ）
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜（mó）
住房 電拋光低硫 316L 不鏽（xiù）鋼外殼
下遊（yóu）清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限（xiàn）為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵（miàn）處理（lǐ）內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格（gé）的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經（jīng）過測（cè）試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口壓力
Silver 和（hé） Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接（jiē）頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最（zuì）高工作溫度（dù） 120°C (248°F)
流量等級（jí） 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀（yín） 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透（tòu）性的顆粒尺（chǐ）寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體（tǐ）過濾器部（bù）件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（mǐ）（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公（gōng） VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛（luò）克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克（kè）118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對（duì）焊管 133.4 毫米（5.25 英（yīng）寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對（duì）焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGFGT1PR1 WGFGMBRR4 YY5032PR1 WGMXLPRR6 YY56HF20F
WG2F02RR4 WGMXMBRR4 WGMXMSRR2 WG2FT1RR2 WG2F15HJJ6
WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 SVTG01TQ1 SVTG01TQ1KPW SVTH01TQ1
CTFG0STPE SVTV01TQ1KPW SVTZ01TQ1KPW GPUS2500FIX04R00CA 等常規
型（xíng）號均有現貨
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
WGFGMBRR4 WGFGT1PR1 WGMXLPRR6 LGMXFPRR4 LGMXFPSS3
WG2F02RR2 WG2F02RR4 WG2F15HJJ6 WG2FT1RR2 WG3NS8RR2
WGFA21KP0 WGFG01DS0 WGFG01DSH WGMXMBRR4 WGMXMPRR4
WGMXMSRR2 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 YY5032PR1 YY5032PS1
SI2N0100B
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代（dài）替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈（quān）。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插（chā）入標（biāo）準氣體管線（xiàn）
非常適合高壓和（hé）高溫應用
保護關鍵部件免（miǎn）受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認（rèn）證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用（yòng）
用於最高 400°C (752°F) 的應用（yòng）
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓和（hé）高溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼（gāng）墊片（piàn）上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去（qù）除所有大於 0.3 μm 直徑的（de）顆粒超過 95%
運（yùn）行條件： 最大壓差（chà） 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最（zuì）高（gāo）工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F15HJJ6
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1SS2
WG2SS8RR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3JJ2
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
WG3NS8RR2
WG3SS1WW2
WG3SS2WW2
WGFA21KP0
WGFG01DS0
WGFG01DSH
WGFG01KP0
WGFG01KP3
WGFG01RH2
WGFG02PR1
WGFG21KP0
WGFG21KP3
WGFG32PRU
WGFG50PR1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PS1
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGSLNFC1L
WGMXMBRR4 WGMXMBRR2 WGFGMBRR2 過濾器 應特格
WGFG01KP3 WGFG01DSH WGFG01DS0 WGFA21KP0
WGSLSFC1M
YY5001HR1
LGMXFPRR4 過濾器 entegris 應特格
SI2R15E05 SI2N0100B SI2N0200B 過濾器
YY5032PR1
YY5032PS1
YY50600VT
Gasketgard 在（zài）線墊片（piàn）過濾器部件號
YY5032PS1 YY5032PR1 卡套（tào） 3/8
零件號 接頭（tóu）尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（mǐ）（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保（bǎo）持（chí）器 29.50 毫（háo）米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片過濾器（qì）
Gasketgard 在線墊圈過濾器是（shì）一種緊（jǐn）湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸（cùn）
1/4" 1/2" 3/8"
長（zhǎng）度
25 毫米（0.98 英寸（cùn）） 25.25 毫（háo）米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示（shì）器 數據存（cún）儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄（báo）膜 沉積 幹蝕刻（kè） 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾（lǜ）器
Gasketgard 在（zài）線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保（bǎo）持器便（biàn）於對齊
設計用（yòng）於輕鬆插入標準氣體管線
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4WSP20-2C-20KK
WSP20-2M-20KK
CG2NDD050R2
LGMXFPRR4
LGMXFPSS3
SI2MSNFE05
SI2N0025R
SI2N0050R
SI2N0100B
SI2N0100BRR8
SI2N0200B
SI2R007RO
SI2R15E05
SI5BGLTE07
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F15HJJ6
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1SS2
WG2SS8RR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3JJ2
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
WG3NS8RR2
WG3SS1WW2
WG3SS2WW2
WGFA21KP0
WGFG01DS0
WGFG01DSH
WGFG01KP0
WGFG01KP3
WGFG01RH2
WGFG02PR1
WGFG21KP0
WGFG21KP3
WGFG32PRU
WGFG50PR1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PS1
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGSLNFC1L
WGSLSFC1M
YY5001HR1
YY5032PR1
YY5032PS1
YY50600VT
GPUS200FIX04R00CA
GPUS2500FHX04R00CA
GPUS2500FHX08R00CA
GPUS2500FIX04R00CA
GPUS2500FIX08R00CA
GPUS2500NCX04R00CA
GPUS2500NCX08R00CA
GPUS2500NCX08R02CA
GPUS300FWX04R02CA
GPUS300FYX04R02CA
GPUS300NCX04R02CA
AFUG0LPM1
AHUXMLEX1
AMVT33201
APD12LEM1
APD25LEM1
APD50SPM1
BA10012PWENH
BA10022PWENH
CHUX3L0P1M
CHUY3L0P1M
CN2501E06
DFFG01N8S1P
FGPA010T1
FGPH010T1
PFFZ01P4P
PGFPV010V1
PGPDN002AH3NF-N
PGPSG010E1
SKPS010H2F
SV02010E1
SV0261PE1
SV02R10E1
SV0561PV1
SV05R10E1
SV1061PE1
SV10R10E1
SV1H61PE1A
SV1HR10E1A
SV20R10E1
SV2HR10E1
SV2HR10T1
SV30010E1
SV3061PE1
SV30R10E1
SV30R10T1
SV3H61PE1
SV3HR10T1
SV4HR10T1
SV50R10E1
SVAAR10E1
SVAG010E1
SVAG020T1
SVAG61PE1
SVAGR10E1
SVAH010E1
SVAH61PE1
SVAHF10E1
SVAVR10E1
SVEG010E1
SVEG0S0E1
SVEG61PE1
SVES020T1
SVSAR10E1C
SVSGR10E1C
SVSHR10E1C
SVSV61PE1C
SVSVR10E1C
UPEH030E1
CPUV01PLT
CTCAT200Q0D
CTCGT100BKH
CTCVT100Q0H
CTCVT100QKH
CTFG01TPE
CTFG0STPE
CW0A020E1
CWAG0S0S1
WG2L200SS3R2
WG2L200SS3R4
WG2L500SS5R4
WG2S01WW2
WG2SS8RR2
WG2SS8RR2S
WG3D25LR2
WG3D25SR2
WG3D401R2
WG3D40DR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
CWAG40EL1
CWAV3L0S1
CWUG3L0S1
NXCGT10000P
NXPZ150M31FP
PGTV01EQ1
SVTA01TQ1
SVTA01TQ1K
SVTA02TQ1
SVTA0MTQ1
SVTB01TQ1K
SVTC01TQ1
SVTG01TQ1KPW
SVTG02TQ1KPW
SVTH01TQ1
SVTH01TQ1KPW
SVTV01TQ1
SVTV01TQ1K
SVTV01TQ1KPW
SVTV02TQ1KPW
SVTZ01TQ1KPW
WGSLNFC1L
WGSLSFC1M
非常適合（hé）高壓和高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流（liú）的 ISO 認（rèn）證設施中製造
應用
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器應用
用於（yú）最高 400°C (752°F) 的應用
WG2L200SS3R2，WGL100NS3R2 各一個（gè）詢價?
用於保護敏（mǐn）感氣體成分
適用於高壓和高溫應用
產品規格（gé）
材料： 焊接到（dào） 316L 不鏽鋼墊片上（shàng）的燒結 316L 不鏽（xiù）鋼（gāng）過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒（lì）保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件（jiàn）： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴（bā）, 421 psid)
最高工作溫（wēn）度（dù） 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
YY260103P，2個
PN2H010E1，2個
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過（guò）濾（lǜ）器
50多（duō）年來，ENTEGRIS的日常使命一直是幫助（zhù）客戶利用他們先進的基（jī）於科學的解決方
案來支持需求 驅動程序。更快，更有效（xiào）地進行（háng）創新;並最終改變（biàn）世（shì）界。通過他們的解
決方案和技術專長的力量（liàng）， Entegris為客戶提供基於科學的（de）創新解決方案，以應對
嚴峻的技（jì）術挑戰。ENTEGRIS的總部（bù）位於（yú） 馬（mǎ）薩（sà）諸塞州的比勒裏卡，在全（quán）球擁有大約
5100名員工，大約一半在亞太地（dì）區或歐洲工作。通過在 亞太地區，北美和（hé）歐洲的研
發，客戶（hù）服務，分析實驗室和製造，ENTEGRIS在（zài）將技術提升（shēng）到更高水 平時為全球
客戶提（tí）供支持。
。
美國ENTEGRIS Wafergard II SF半在線氣體過濾器
①當首選所有不（bú）鏽鋼（gāng）結構時，Wafergard II SF半在（zài）線氣體過濾器是高純（chún）度氣體係統
的首選過（guò）濾器 。
②先進的外殼組件通過最小化焊接麵積消除（chú）了脫氣現象。
③全金屬（shǔ）結構是高溫和（hé）動態壓力應用（yòng）的理想選（xuǎn）擇。
④其（qí）緊湊的尺（chǐ）寸和（hé）靈活的配件選擇可提供最高的設計效率，並降低（dī）工程成本。
美國ENTEGRIS Gasketgard?在線墊片（piàn）過濾（lǜ）器
①Gasketgard 直列式墊片過（guò）濾器是一（yī）種（zhǒng）緊湊的全金屬過濾器，可代替標準的1/4“
，3/8”和1/2 “VCR 墊片
②固定器，易於對（duì）準
③專為輕鬆（sōng）插入標準氣體管線而設計
④高壓和高（gāo）溫應用的（de）理想選擇
⑤保護（hù）關鍵組件免（miǎn）受微粒傷害
⑥ISO認證的工廠（chǎng）中製造
PART NUMBERS
Chemlock? Filter Housings Part Numbers
Hide Part Numbers
YY5605153 YY5605203 YY5611153 YY5611153GF
YY5611153T
YY5611160 YY5611160T YY5611170 YY5611170GF
YY5611170T
YY5611180 YY5611180GF YY5611180T
YY5611190GFM YY5611190M
YY5611203 YY561120A YY561120B YY561120E
YY561120F
YY561120P YY5611213 YY561121F YY561121P
YY5611250
YY5611250GF YY5611250T YY5611253 YY5611253GF
YY5611253T
YY5611280 YY5611280GF YY5611280T
YY5611290GFM YY5611290M
YY5611G03 YY5611G0B YY5611G0E YY5611G0F
YY5611G0P
YY5611G13 YY5611G1E YY5611G1F YY5611G1P
YY562010NS
YY5620160 YY5620160T YY5620170 YY5620170GF
YY5620170T
YY5620180 YY5620180GF YY5620180T
YY5620190GFM YY5620190M
YY5620190TM YY5620203 YY562020B YY562020E
YY562020F
YY562020P YY5620213 YY562021F YY562021P
YY5620250
YY5620250GF YY5620250T YY5620253 YY5620253GF
YY5620253T
YY5620280 YY5620280GF YY5620280T
YY5620290GFM YY5620290M
YY5620290TM YY5620G0E YY5620G0F YY5620G1F
YY5620G1P
YY5630280 YY5630280GF YY56H000B YY56HA20A
YY56HB20B
YY56HB24B YY56HF10F YY56HF14F YY56HF20F
YY56HF24F
YY56HL10LM YY56HL14LM YY56HL20LM YY56HL24LM
YY56HP103
YY56HP143 YY56HP203 YY56HP20P YY56HP243
YY56HP24P
YY6610A2E YY6610F4E YY6610R5E YY6614F4E
YY6614U1E
YY6614U2E YY6620A2E YY6620A4AE YY6620F4E
YY6620R5E
YY6624F4E YY66B1150 YY66B1170 YY66B1280
YY66B2150
YY66B2170 YY66B2280 YY66H0A2A YY66H0F4F
YY66H0R2R
YY66H4F4F YY66H4U1A YY66H4U2A
PFA模型
材料頭、模製配件（jiàn）、碗、塞子PFA 440 HP或同等產（chǎn）品
O型圈E-FKM、EP、Kalrez?、Viton?
非潤（rùn）濕鎖（suǒ）環
通用鎖環PVDF或GFPP（玻璃填（tián）充聚丙烯）
聚（jù）四氟乙烯
安裝硬件-螺母和螺栓（非濕部件（jiàn））PVDF
流體連接PrimeLock?、Flaretek?、Super Type Pillar?、Super 300 Type Pillar、
管件、FNPT
藥筒連（lián）接代碼0，雙2-222 O型圈和帶鑰匙的Chemlock藥筒（tǒng）
操作條件PVDF和GFPP鎖環
zui大入口（kǒu）壓力：
100°C（212°F）時為0.3 MPa（3.0巴，43磅/平方英寸）
25°C（77°F）時為0.76 MPa（7.6巴，110磅/平方（fāng）英寸）的PTFE鎖環
zui大入口壓力：
95°C（203°F）時為0.3 MPa（3.0巴，43磅/平（píng）方英寸）
25°C（77°F）時為0.76 MPa（7.6巴（bā），110磅/平方英寸）
zui高工作溫度：
100°C（212°F）zui高工作溫度：
95攝（shè）氏度（203華氏度（dù））
扭矩E-FKM O型圈
45 N?m所（suǒ）有其他O型圈
28.5牛頓?米
使用Chemlock扭（niǔ）矩扳手驗證扭矩（jǔ）規格
PP模型
材料頭和碗聚丙烯（xī）（PP）
O型圈EPR，氟橡膠
PVDF非潤濕鎖環
流體連接件FNPT、Flaretek、Union、Rc
藥筒連接代碼（mǎ）0，雙2-222 O型圈和帶鑰匙的Chemlock藥筒
操作條（tiáo）件標準排水口配置
zui大入口壓（yā）力：
0.14兆帕（1.4巴，20磅/平方英寸）@90°C（194°F）
0.69 MPa（6.9 bar，100 psi）@25°C（77°F）1“FNPT排水口配置
zui大入口壓力：
0.14兆帕（1.4巴，20磅（páng）/平方英寸）@90°C（194°F）
0.55兆帕（5.5巴，80磅/平方英（yīng）寸）@25°C（77°F）
zui高工作溫度：
90°C（194°F）zui高（gāo）工作溫度：
90攝（shè）氏度（dù）（194華氏度）
扭矩（所有O型圈）28.5 N?m
使（shǐ）用Chemlock扭矩扳手驗證扭矩規格
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器（qì）
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器（qì）
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無（wú）包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，
CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，
CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，
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，、
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CWUV40EM1，CWUV40EP1，CWUV40KL1，CWUV40KM1，CWUV40PP1，
CWUV40TL1，CWUV40TP1，CWUV6S0P1，CWUV8S0P1，CWUZ00PL1，
CWUZ0S0P1，CWUZ0S0S1，CWUZ0S0S3，CWUZ0S1S3，CWUZ160L1，
CWUZ16EL2，CWUZ16KL2，CWUZ3L0P1，CWUZ3L0S1，CWUZ400L1，
CWUZ40EL1，CWUZ40KL1，CWUZ40KM1，CWUZ40TL1，CWUZ6S0P1，
CWUZ8S0P1，DZU004401，DZUM04401，DZUM044C1，DZUMC4401，
DZUPC21K1，DZUV016K2，DZUV040K1，DZUVA4401，DZUZA4401，
PFFG01D8S，PFFV01D4S，PFFV01D8S，PFFV03D4P，PFFV03D6P，
PFFZ01D8S，PFFZ03D4P，WGFA04HP6，WGFA16HP2，WGFA40H01，
WGFA40HP1，WGFG04HP6，WGFG04TP6，WGFG16CP2，WGFG16D01，
WGFG16D21，
WGFG16HP1，WGFG16HP2，WGFG16HT2，WGFG16TP2，WGFG40D01，
WGFG40H01，WGFG40HP1，WGFG40HT1，WGFG40KP1，WGFG40N01，
WGFG40T01，WGFV04HP6，WGFV16CP2，WGFV16D01，WGFV16D21，
WGFV16HP1，WGFV16HP2，WGFV16HT2，WGFV16KP2，WGFV16NP2，
WGFV40C01，WGFV40D01，WGFV40H01，WGFV40HP1，WGFV40HT1，
WGFV40K01，WGFV40KP1，WGFV40N01，WGFV40T01，WGFZ04HP6，
WGFZ16D01，WGFZ16HP2，WGFZ40H01，WGFZ40HP1，YY5000400，
YY5000410，YY5000421，YY5000425，YY5000426，YY5000427，YY5000430
，YY5000431，YY5000432，YY5000433，YY5000434，YY5000436，
YY5000437，YY5000438，YY5000440，YY5001600，YY500400A，YY50P1600
，YY50P1606，YY50P160S，YY5M1L0K0，YY5M1L0V0，YY5M1LSVA，
YY5M1LSVC，YY5M1U4KA，YY5M1UKV0，YY5M1USVA，YY5M1USVD，
YY5M2L3VA，YY5M2LSPA，YY5M2U0K0，YY5M2U0V0，YY5M2USVA，
YY5S1U1KB，YY5S1U1T0，ENC0M1CN0，ENC0MPH01，ENC0MPH02，
ENC0MPV01，ENC0MPV02，ENC0MSP01，ENC0MSP05，ENC0MTC00，
ENC0MTC01，INGEN1PU0，INGEN1PU1，INGEN1ST0，INGEN2DVC，
INGEN2PS1，INGEN2PU0，INGENSP01，INGENSP02，INGENSP03，
INGENSP04，INGENSP05，INGENSP06，INGENSP07，INGENSP08，
INGENSP09，INGENSP10，INGENSP12，INGENSP13，INGENSP14，
INGN2SP01，INGN2SP02，INGN2SP03，INGN2SP06，INGN2SP07，
INGN2SP08，INGN2SP09，INGN2SP10，INGN2SP11，INGN2SP12，
INGN2SP14，INGN2SP15，INGN2SP19，INGN2SP21，INGN2SP22，
INGN2SP23，INGN2SP24，INTIG2DUV，INTIG2ILN，INTILN2DW，
R2501PH01，R2501PH02，RGEN1SP06，W2501CB08，W2501CB12，
W2501CB16，W2501CB22，W2501CC01，W2501KP01，W2501PC01，
W2501PH01，W2501PH02，W2501RK01，W2501SP01，W2501SP02，
W2501SP03，W2501SP04，W2501SP07，W2501SP08，W2501SP09，
W2501SP10，W2501SP11，W2501SP12，W2501SP13，W2501SP14，
W2501SP15，W2501SP16，W2501SP17，W2501SP18，W2501SP19，
W2501SP20，W2501SP21，W2501TC01，W2501TC02，W2501TC03，
W2501TC04，W2501TC05，
W2501TC06，W2501TC07，W2501VC01，W2501VK01，W2501VS01，
WCDI00010，WCDI00020，WCDI00030，WCDI00040，WCDI00060，
WCDI0UB00，WCDI0UC00，WCDP000H1，WCDP025H1，WCDP025L1，
WCDP050H1，WCDP050L1，WCDP100H1，WCDP100L1，WCDPC25T4，
WCDPP05TD，WCDPP28ED，WCDPP90E0，WCDS00000，WCDS000B1，
WCDS000F2，WCDS000F3，WCDS000F4，WCDS000P1，WCDS000P3，
WCDS008K3，WCDS010ED，WCDS020K3，WCDS021ED，WCDS024ED，
WCDS025ED，WCDS039K1，WCDS042E0，WCDS049E0，WCDS10010，
WCDS118ED，WCDS12510，WCDS15010，WCDS158E0，WCDS1SP01，
WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，
WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，
WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，
WCDS2S006，WCDS2S007，WCDS2S008，WCDS2S009，WCDS2S010，
WCDS2S012，WCDS2S021，WCDS2S022，WCDS2S023，WCDS2S031，
WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，
WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，
WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，
WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，
WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，
WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，
WGEN2S002，WGEN2S003，WGEN2S004，WGEN2S005，WGEN2S006，
WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，
WGEN2S012，WGEN2S013，
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過濾器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
Entegris WGMXMBRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無（wú）包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
最先進的外殼組（zǔ）件通過最小化焊接麵積（jī）來消（xiāo）除除氣
全金屬結構非常適合高溫和動態壓力應用
緊湊的尺寸和（hé）靈活（huó）的配件選（xuǎn）擇提供了極高的設（shè）計效率並最大限度地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在（zài）線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫和動壓應用
惰性和反應性氣（qì）體（tǐ）
氣櫃和麵板
閥組箱
掛鉤
注意：不建議與 CO、O 3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用
產品規格
材料 濾膜 鎳
外殼，端蓋 低（dī）硫316L不鏽鋼
初始下（xià）遊清潔（jié）度（dù） ≤0.03 個（gè）顆粒/升（≤1 個顆粒/ft 3） ≥0.01 μm
移除等級 ≥0.0015 微（wēi）米
顆粒保留 Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 60 slm
(Mini) and 120 slm (Mini XL): referenced at the most penetrating particle size
Surface finish interior ≤ 5 μin Ra
Helium leak rating Tested 9 × 10-10 Pa m3c (9 × 10-9 atm ccc)
Maximum conditions Maximum operating pressure: 16.2 MPa (162 bar, 2346
psid) at 20°C (68°F)
Maximum forward/reverse differential pressure: 3.3 MPa (33 bar, 485 psid)
@RT
Maximum design temperature: Inert gases: 400°C (725°F)
Flow rating Refer to performance data
零件（jiàn）號
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG3NS1RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（mǐ）
（3.31 英寸）
WG3NS2RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 127.0 毫米
（5.00 英寸）
WG3NS2RR4 1/2" 墊片密（mì）封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.3 毫米
（5.25 英寸（cùn））
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼（ké）
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器（qì）
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過（guò）濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMO