美國ENTEGRIS應特格,WG3NS8RR2現貨,Wafergard? III NF Micro XL 在線氣
體過濾器
美國ENTEGRIS英特格,過濾器WGPM0GGG2,現貨
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美國ENTEGRIS英特格,過濾器WGPM0GGG2,現貨
為超純氣體係(xì)統過濾提供卓越的微粒過濾,是高溫和動態壓力應用的理想選擇。
最先進的(de)外殼組件通(tōng)過最小化焊(hàn)接區域來消除除氣
全(quán)金屬結構是高溫(wēn)和動態壓力應用的理想選(xuǎn)擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設計效率並最大限度地降低(dī)了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過(guò)濾器應用
超純氣體管線
高溫應用
新工廠建設
動壓應(yīng)用
惰性和活(huó)性氣體
產品規格
材料 濾芯(xīn) 燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光(guāng) VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清(qīng)潔度 粒子 <0.03 顆粒/升(<1 顆粒/ft 3) >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過(guò)濾器部件號
零件號 接頭尺寸(cùn)和類型 長度
.特種氣體
特種氣體是指稀(xī)有氣體或超高純度(99.995% 以上)的氣(qì)體。包括分析、醫藥、電
子及石(shí)油化(huà)工在內的許多行業都(dōu)會受(shòu)益於特(tè)種氣體的獨(dú)特性質,它有助(zhù)於(yú)提高產量
、優化性(xìng)能以(yǐ)及降低(dī)成本。我們富有經驗的應用團隊遍布全(quán)球,可以根據對您的行
業和應用情(qíng)況(kuàng)的了解,為您提供特種氣體供應解決(jué)方案,以滿足您(nín)的獨特需(xū)求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬(shǔ)過濾(lǜ)器,可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使(shǐ)用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米(0.98 英寸) 25.25 毫米(0.99 英寸) 29.5 毫米(1.16 英寸)
行業
半(bàn)導體 平板顯示(shì)器(qì) 數據存儲(chǔ) 引領
過程(chéng)
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離(lí)子注入 光刻
Gasketgard 在線(xiàn)墊片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密(mì)封件(與 VCR 接頭兼容(róng))外螺紋入口/出(chū)口 84.1 毫米
(3.31")
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封(與 VCR 接頭兼(jiān)容)外螺紋入口/出口,接頭用(yòng)塑料
蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米(3.31")
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈(與 VCR 接頭兼容)外螺紋入口/出口,短型 50.8 毫
米(2.00")
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過(guò)濾器與高純度氣體兼容,並(bìng)在(zài) 超純氣體應用 以及 一般氮氣和
CDA 應用中提供卓越的(de)顆(kē)粒過濾(lǜ)。
PTFE 濾芯在超(chāo)純應(yīng)用(yòng)中表現出色
專為高流量和低增量壓力應用而(ér)設計
用於惰性和反應性氣體,包括臭氧
為快速啟動而預先調節(僅限銀色)
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣(qì)體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐(chēng)的疏水 PTFE 膜
住(zhù)房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度(dù) 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物(銀) <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC(檢測下限為 5 ppb)
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX(青銅)MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX(銀/青銅加)MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒(miǎo)
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口壓力(lì)
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭:7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭:6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭:6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
最(zuì)大正向壓差 7 巴(bā) (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除(chú)所(suǒ)有顆粒(參考最(zuì)具(jù)穿透性的顆粒尺寸)
零(líng)件號
Wafergard MAX 在(zài)線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公(gōng) VCR 入口,1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米(5.6 英寸)
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米(5.00 英(yīng)寸)
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米(4.44 英寸)
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米(4.67 英寸)
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米(mǐ)(5.00 英寸)
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米(4.44 英(yīng)寸)
WGMXMPSS3 3/8" 世(shì)偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛(luò)克118.7 毫米(mǐ)(4.67 英寸)
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫(háo)米(5.25 英寸)
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米(5.25 英(yīng)寸(cùn))
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米(5.25 英寸)
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMSRR4 1/2" 公(gōng) VCR127 毫米(5.00 英寸)
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2(無包裝)
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器(qì)
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾(lǜ)器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器(qì)
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾(lǜ)器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線墊(diàn)圈過濾(lǜ)器是一種(zhǒng)緊湊型全金屬過濾器,可代替標準(zhǔn)的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈(quān)。
保持器便於對齊
設計用於輕(qīng)鬆(sōng)插入(rù)標準氣體管線
非常適合(hé)高壓和(hé)高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設施中製造(zào)
應用
Gasketgard 在線墊片過濾(lǜ)器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用(yòng)於保護敏感氣體成(chéng)分
適用於高壓和高溫應用
產品規格
材料: 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過(guò)濾(lǜ)介質
保(bǎo)持器 316 不(bú)鏽鋼(gāng)
顆(kē)粒保留: 去除所有大於 0.3 μm 直(zhí)徑的顆粒超過 95%
運行條件: 最大(dà)壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片(piàn)過濾器部(bù)件號
零(líng)件號(hào) 接頭尺寸和類(lèi)型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米(mǐ)(0.98 英寸)
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米(0.99 英(yīng)寸)
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米(mǐ)(1.16 英寸)
Gasketgard 在線墊片過濾器(qì)
Gasketgard 在線墊圈過(guò)濾器(qì)是一種緊湊(còu)型(xíng)全金屬過濾器,可與標準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米(0.98 英寸) 25.25 毫(háo)米(0.99 英寸) 29.5 毫米(1.16 英寸)
行業
半導體 平(píng)板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線(xiàn)墊片過濾(lǜ)器
Gasketgard 在線(xiàn)墊(diàn)圈過濾器是一種緊湊型全金屬(shǔ)過濾器(qì),可代替標準的(de) 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈(quān)。
保持器便於對齊
設計(jì)用於輕鬆插入(rù)標準氣體管(guǎn)線
非常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損(sǔn)壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器應用
用於(yú)最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏(mǐn)感氣體成分
適用於高壓和高溫應(yīng)用
產品規格
材料: 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽(xiù)鋼
顆粒保(bǎo)留: 去除所有大(dà)於(yú) 0.3 μm 直(zhí)徑的顆粒超過 95%
運行條件: 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件(jiàn)號
Gasketgard 在線墊片過濾(lǜ)器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米(0.98 英寸)
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米(0.99 英寸)
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米(mǐ)(1.16 英寸(cùn))
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾(lǜ)器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾(lǜ)器
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包裝)2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾(lǜ)器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器(qì)
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包裝(zhuāng))
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過(guò)濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過(guò)濾(lǜ)器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾(lǜ)器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器(qì)
CN3HF2E06,CN3HF3E06,CN3HF4E06,CN3HM4E06,CN5001E06,
CN5001ES1,CN5001EZ6,CN5001T06,CN5001V06,CN5002E06,
CN5002ES1,CN5003E06,CN5003ES1,CN5003T06,CN5003V06,
CN5051E06,CN5051T06,CN5071E06,CN5071S06,CN5071T06,
CN5072E06,CN5072V06,CN5073E06,CN5073T06,CN5073V06,
CN5074T06,CN5074V06,CN50F1E06,CN50F1ES1,CN50F2E06,
CN50F3E06,CN50F3ES1,CN50F4E06,CN50M4E06,CN50M4S06,
CN50M4T06,CN50M4V06,CN6HF4E06,CR0101006,CR0101E06,
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,CR0103T06,CR0104006,CR0104V06,CR0151006,CR0152006,
CR0153006,CR0153T06,CR0153V06,CR0154006,CR0154T06,CR0154V06
,CR0171006,CR0171E06,CR0171T06,CR0172006,CR0172E06,
CR0172T06,CR0173006,CR0173E06,CR0173T06,CR0174006,CR0174E06
,CR01F1006,CR01F1P06,CR01F2006,CR01F2C06,CR01F2P06,
CR01F3006,CR01F3P06,CR01F3V06,CR01F4006,CR01F4P06,
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,CR03F2006,CR03F2P06,CR03F3006,CR03F3P06,CR03F4006,
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CR0501V06,CR0502006,CR0503006,CR0503V06,CR0504006,CR0504E06
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,CR0574006,CR05F1006,CR05F1P06,CR05F2006,CR05F2P06,
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CR05M0203,
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,CR10F4006,CR10F4P06,CR10M0203,CR2501006,CR2501T06,
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CR5001T06,CR5001V06,CR5002006,CR5003006,CR5071006,CR5072006
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CR50M0203,CR7501006,CR7502006,CR7503006,CR7571006,CR7572006
,CR7573006,CR75F1006,CR75F1P06,CR75F2006,CR75F3006,
CR75F4006,CR75M0203,CR9901006,CR9902006,CR9903006,CR9951006
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CR99M0203,CRA501006,CRA501T06,CRA501V06,CRA502006,
CRA502T06,CRA503006,CRA503T06,CRA504006,CRA551006,
CRA552006,CRA553006,CRA554V06,CRA571006,CRA572006,
CRA573006,CRA573E06,CRA573T06,CRA573V06,CRA574006,
CRA5F1006,CRA5F1C06,CRA5F1P06,CRA5F2006,CRA5F2C06,
CRA5F2P06,CRA5F3006,CRA5F3P06,CRA5F4006,CRA5F4P06,
CRA5M0203,CFDVUPXSF,CFDZUPXSF
,、
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CPUZ0SP01,CTDAATXTW,CTDGATXLH,CTDGATXST,CTDGATXTH,
CTDGATXTT,CTDGATXTW,CTDVATXLH,CTDVATXST,CTDVATXTH,
CTDVATXTT,CTDZATXLH,CTDZATXST,CTDZATXTH,CTDZATXTT,
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,CTFV01PT1,CTFV01PTF,CTFV01TC1,CTFV01TK1,CTFV01TPE,
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,CTFZ0SP01,CTFZ0SPTF,CTFZ0STPE,CTPR01TP1,EGDVHPX0F,
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,YY4112170,YY412210A,YY412210B,YY412214B,YY4122160,
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WCDS1SP04,WCDS204L1,WCDS216L1,WCDS216NF,WCDS240L1,
WCDS2S001,WCDS2S002,WCDS2S003,WCDS2S004,WCDS2S005,
WCDS2S006,WCDS2S007,WCDS2S008,WCDS2S009,WCDS2S010,
WCDS2S012,WCDS2S021,WCDS2S022,WCDS2S023,WCDS2S031,
WCDS2S032,WCDS2S033,WCDSA13T0,WCDSA25T0,WCDSB13F0,
WCDSE25T5,WCDSF04L1,WCDSF16L1,WCDSF40L1,WCDSG70E0,
WCDSJ13F0,WGEN02KP1,WGEN02PH1,WGEN02PS2,WGEN21CB0,
WGEN21CB1,WGEN21CB3,WGEN21CB4,WGEN21CB5,WGEN21CB6,
WGEN21CB7,WGEN21CN1,WGEN21CN3,WGEN21CN4,WGEN21CN5,
WGEN21CN6,WGEN21CN7,WGEN22CN0,WGEN22S01,WGEN2S001,
WGEN2S002,WGEN2S003,WGEN2S004,WGEN2S005,WGEN2S006,
WGEN2S007,WGEN2S008,WGEN2S009,WGEN2S010,WGEN2S011,
WGEN2S012,WGEN2S013,
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過濾器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾器(qì)
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器(qì)
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾(lǜ)器
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾(lǜ)器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器(qì)
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器(qì)
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器(qì)
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2(無包(bāo)裝)
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器(qì)
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾(lǜ)器(qì)
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
最先進的外殼組件通過(guò)最小(xiǎo)化焊接(jiē)麵積來消除除氣
全金屬結構非(fēi)常適合高溫和動態壓力應用(yòng)
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了極高(gāo)的(de)設(shè)計效率(lǜ)並最大限度地降低(dī)了工(gōng)程成本
應用
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在線氣體過濾(lǜ)器應用
超純氣體管線
高溫和動壓應用
惰性和反(fǎn)應性氣體
氣櫃(guì)和麵板
閥組箱
掛鉤
注意:不建議與 CO、O 3和低含量氫化物摻(chān)雜劑氣體一起使用
產(chǎn)品規格
材料 濾膜 鎳
外殼,端蓋 低硫(liú)316L不鏽(xiù)鋼
初始下遊清潔度 ≤0.03 個(gè)顆粒/升(≤1 個(gè)顆粒/ft 3) ≥0.01 μm
移除等級 ≥0.0015 微米
顆粒保留 Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 60 slm
(Mini) and 120 slm (Mini XL): referenced at the most penetrating particle size
Surface finish interior ≤ 5 μin Ra
Helium leak rating Tested 9 × 10-10 Pa m3c (9 × 10-9 atm ccc)
Maximum conditions Maximum operating pressure: 16.2 MPa (162 bar, 2346
psid) at 20°C (68°F)
Maximum forward/reverse differential pressure: 3.3 MPa (33 bar, 485 psid)
@RT
Maximum design temperature: Inert gases: 400°C (725°F)
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在(zài)線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸(cùn)和類型(xíng) 長度
WG3NS1RR2 1/4" 墊片密封(與 VCR 接頭兼容)外螺紋入口/出口 84.1 毫米
(3.31 英寸)
WG3NS2RR2 1/4" 墊(diàn)片密封(與 VCR 接頭兼容)外螺紋入口/出口 127.0 毫米
(5.00 英寸)
WG3NS2RR4 1/2" 墊片密封(與 VCR 接頭兼容)外螺紋入口/出口 133.3 毫米
(5.25 英寸)
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾(lǜ)芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾(lǜ)器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過(guò)濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器(qì)
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGFGMBRR4 12026
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣(qì)動閥
Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 17868 過(guò)濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥
entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測器(qì)
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動(dòng)閥
ENTEGRIS YY260103N 17526 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 濾芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動閥
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣(qì)動閥
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
entegris WGFGT1PR1 12027 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器(qì)
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾(lǜ)器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾(lǜ)器
Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris WGFG02PR1 15957 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
Entegris YY5032PS1 20649 過濾器
Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾(lǜ)器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾(lǜ)芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動(dòng)閥
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
ENTEGRIS WGFG01DS0(一包十個) 17994 濾(lǜ)芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器(qì)
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾(lǜ)器(qì)
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器(qì)
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾(lǜ)芯(xīn)
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器(qì)
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾(lǜ)器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾(lǜ)器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器(qì)
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器(qì)
Entegris WGFGMBRR4 12026
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動閥
Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥
entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥
ENTEGRIS YY260103N 17526 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 濾芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動閥
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣(qì)動閥(fá)
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾(lǜ)器(qì)
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器(qì)
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris WGFG02PR1 15957 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
Entegris YY5032PS1 20649 過濾器
Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾(lǜ)芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器(qì)
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器(qì)
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
ENTEGRIS WGFG01DS0(一包十個(gè)) 17994 濾芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器(qì)
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼(ké)
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGFGMBRR2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包
裝)
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過
濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器(qì)
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾(lǜ)器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾(lǜ)器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
美(měi)國ENTEGRIS英特格Optimizer® DI 過濾
器,CBUG0S0S1
專(zhuān)為使用點(diǎn) (PoU) 光刻(kè)工藝中的去離子水應用而設計的液體光化(huà)學
過(guò)濾器。小膠囊形狀係數和幹淨的膜/支撐/殼材料在 > 28 nm 節點應用中提供高純(chún)
度汙(wū)染物去除性能(néng)。
應用
Optimizer DI 過濾器應用(yòng)
行業:半導體(光刻)
化學(xué):光
化學、溶劑
安裝點:工具點
產品規格
材料 膜: UPE*
支撐、核心、套筒: 高密度聚
乙烯
住房: 聚丙烯
膜麵積 DI 1800 平方厘米(1.94 平方英尺)
DI-L 3600 平方厘(lí)
米(3.88 平方英尺)
DI-L (20 納米) 2100 平方厘米(2.26 平方英尺)
保留評級
DI, DI-L 0.2、0.1、0.05 微(wēi)米、20 納(nà)米
配件 提供範圍廣泛的接(jiē)頭,包
括 Super Type Pillar 接頭、壓縮密封件(與 Swagelok 兼容(róng)的接頭(tóu))和 Flaretek
接頭。
運(yùn)行條件 最大入(rù)口壓力 0.345 兆帕(3.45 巴(bā),50 磅/平方英寸,3.52 千(qiān)克/
平方厘(lí)米)@ 25°C (77°F)
最大正向/反向壓差 0.345 兆(zhào)帕(3.45 巴(bā),50 磅/平方
英寸,3.52 千克/平方厘米)@ 25°C (77°F)
0.28 MPa(2.8 bar,40 psi,
2.8 kg/cm²)@ 25°C(77°F)
工作溫度 60°C (140°F)
*表麵改性UPE
Entegris 建
議客戶(hù)至少每年更換一次過濾器以確(què)保最佳過濾性能。例行的年度更(gèng)換也將減少因
過度使用而導致化學(xué)品(pǐn)泄漏的可能性。
我們的標(biāo)準保修期為 1 年(自 Entegris 發貨
之日起)。
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2(無(wú)包裝)
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾
器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾(lǜ)器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器(qì)
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器(qì)
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4
過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4