美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣
體過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨（huò）
為超（chāo）純氣體係（xì）統過濾提供卓越的微粒過濾，是高（gāo）溫和動態（tài）壓力應用的理（lǐ）想（xiǎng）選（xuǎn）擇。
最先進（jìn）的（de）外殼組件（jiàn）通過（guò）最小（xiǎo）化焊接區域來消除除氣
全金屬結構是高溫和動（dòng）態壓力應用（yòng）的理想選擇
緊（jǐn）湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設（shè）計效率並最大限度地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過（guò）濾器應用
超純氣體管線
高（gāo）溫應用
新工廠建設
動壓應（yīng）用
惰性和活性（xìng）氣（qì）體
產品規格
材料 濾芯 燒結（jié）鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆（kē）粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器（qì）部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
.特種氣體
特種（zhǒng）氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫藥、電
子及石油化工在內的許多行業都會受益於特種氣體的獨特性質，它有助於提（tí）高產量
、優化性能以及降低成本。我們富有經驗的應用團隊遍布全球，可以根據對您的行
業和（hé）應用情（qíng）況的了解，為您提供（gòng）特種氣（qì）體供（gòng）應解決方案，以滿足您的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片（piàn）過濾器
Gasketgard 在線墊圈（quān）過濾器是一種緊（jǐn）湊型全（quán）金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合（hé）使（shǐ）用。
合身（shēn）尺寸（cùn）
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英（yīng）寸（cùn））
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體（tǐ）輸送 薄膜（mó） 沉（chén）積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過（guò）濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封（fēng）件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米
（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（fēng）（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑（sù）料
蓋代替（tì）金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫
米（2.00"）
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，並在 超（chāo）純氣體應用 以及 一般氮氣和
CDA 應用中提供（gòng）卓（zhuó）越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應用（yòng）中（zhōng）表（biǎo）現出色（sè）
專為高流量和低增量壓（yā）力應用而設計
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧（yǎng）
為快速啟動而預先調節（jiē）（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾（lǜ）器應用
兼容所有類別的（de）半導體工藝（yì）氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房（fáng） 電拋光低硫 316L 不鏽（xiù）鋼外殼
下遊清潔度 粒（lì）子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限（xiàn）為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼（jiān）容接頭（tóu）：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭（tóu）：6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
最大正（zhèng）向壓差 7 巴 (102 psid)
最（zuì）大（dà）反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參（cān）考性（xìng）能數（shù）據
保修單 青銅 1年
銀 3年（nián）
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿（chuān）透（tòu）性的（de）顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口（kǒu），1/4" 母 VCR 出口（kǒu） 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛（luò）克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克（kè）117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫（háo）米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（mǐ）（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸（cùn））
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸（cùn））
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫（háo）米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插入標準氣體管線
非常適（shì）合高壓和（hé）高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物（wù）損壞
在世界一流的（de） ISO 認證設（shè）施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用於（yú）高壓和高溫應用
產品規格（gé）
材料： 焊（hàn）接到 316L 不鏽鋼墊（diàn）片（piàn）上的燒結 316L 不鏽鋼過濾（lǜ）介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒（lì）超過 95%
運行條（tiáo）件（jiàn）： 最大壓（yā）差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零（líng）件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件（jiàn）號
零件（jiàn）號（hào） 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸（cùn））
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（mǐ）（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片過（guò）濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜（mó） 沉積 幹蝕刻 離（lí）子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線（xiàn）墊圈過濾器是一種（zhǒng）緊湊型全金屬（shǔ）過濾器，可代替標準的 1/4"、
3/8" 和（hé） 1/2" VCR 墊圈。
保持器便（biàn）於對齊
設計用於輕鬆插入（rù）標準氣體管線
非常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證（zhèng）設施中製造
應用
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏（mǐn）感氣體成分
適用於高壓和高溫應用（yòng）
產（chǎn）品（pǐn）規格（gé）
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性（xìng）氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型（xíng）帶保持（chí）器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸（cùn））
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器（qì）
EntegrisWG2FT1RR2過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR2（無（wú）包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NS8RR2過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFGMBRR4過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過（guò）濾器（qì）
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，
CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，
CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，
CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，
CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，
CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，
CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，
CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，
CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006
，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，
CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06
，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，
CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06
，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，
CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，
CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006
，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，
CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06
，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，
CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，
CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06
，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，
CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06
，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，
CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，
CR05M0203，
CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006
，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，
CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006
，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，
CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06
，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，
CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06
，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，
CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006
，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，
CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006
，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，
CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006
，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，
CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006
，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，
CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，
CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，
CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，
CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，
CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，
CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，
CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，
CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
，、
CPUV01P01，CPUV01PLT，CPUV0SP01，CPUZ01P01，CPUZ01PLT，
CPUZ0SP01，CTDAATXTW，CTDGATXLH，CTDGATXST，CTDGATXTH，
CTDGATXTT，CTDGATXTW，CTDVATXLH，CTDVATXST，CTDVATXTH，
CTDVATXTT，CTDZATXLH，CTDZATXST，CTDZATXTH，CTDZATXTT，
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，CTFV01PT1，CTFV01PTF，CTFV01TC1，CTFV01TK1，CTFV01TPE，
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，CTFZ0SP01，CTFZ0SPTF，CTFZ0STPE，CTPR01TP1，EGDVHPX0F，
EGDVHPX0S，EGDVHPX2F，EGDVHPX2S，EGDVHPXTH，EGDZHPX0F，
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INGEN2PS1，INGEN2PU0，INGENSP01，INGENSP02，INGENSP03，
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WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，
WCDS2S006，WCDS2S007，WCDS2S008，WCDS2S009，WCDS2S010，
WCDS2S012，WCDS2S021，WCDS2S022，WCDS2S023，WCDS2S031，
WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，
WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，
WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，
WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，
WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，
WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，
WGEN2S002，WGEN2S003，WGEN2S004，WGEN2S005，WGEN2S006，
WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，
WGEN2S012，WGEN2S013，
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過（guò）濾器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無（wú）包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
最先進的外（wài）殼組件通過（guò）最小化焊接麵積來消除除氣
全金屬結構（gòu）非常適合高（gāo）溫和動態壓力應用
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了極高的設計效率並最大（dà）限度地降（jiàng）低了（le）工程成本
應用
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器應用
超（chāo）純氣體管線
高溫和動壓（yā）應用
惰性和反應性氣體
氣櫃（guì）和麵板
閥組箱
掛鉤
注意：不建（jiàn）議與 CO、O 3和低含量氫化物（wù）摻（chān）雜劑氣體一起使用
產品規格
材料 濾膜 鎳
外殼（ké），端（duān）蓋 低硫316L不鏽鋼
初始（shǐ）下遊清潔度 ≤0.03 個顆粒/升（≤1 個顆粒/ft 3） ≥0.01 μm
移除等級 ≥0.0015 微米
顆粒保留 Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 60 slm
(Mini) and 120 slm (Mini XL): referenced at the most penetrating particle size
Surface finish interior ≤ 5 μin Ra
Helium leak rating Tested 9 × 10-10 Pa m3c (9 × 10-9 atm ccc)
Maximum conditions Maximum operating pressure: 16.2 MPa (162 bar, 2346
psid) at 20°C (68°F)
Maximum forward/reverse differential pressure: 3.3 MPa (33 bar, 485 psid)
@RT
Maximum design temperature: Inert gases: 400°C (725°F)
Flow rating Refer to performance data
零件號（hào）
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在線（xiàn）氣體過濾器部件號
零件號 接（jiē）頭尺寸和類型（xíng） 長度
WG3NS1RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼（jiān）容（róng））外（wài）螺紋（wén）入口（kǒu）/出口 84.1 毫米
（3.31 英寸）
WG3NS2RR2 1/4" 墊片密封（與（yǔ） VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出（chū）口 127.0 毫米
（5.00 英寸）
WG3NS2RR4 1/2" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋（wén）入口/出口 133.3 毫米
（5.25 英寸）
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾（lǜ）殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器（qì）
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾（lǜ）器（qì）
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGFGMBRR4 12026
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動閥
Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥（fá）
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥
entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測（cè）器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥
ENTEGRIS YY260103N 17526 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 濾芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動（dòng）閥
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣（qì）動閥
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris WGFG02PR1 15957 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
Entegris YY5032PS1 20649 過濾器
Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾（lǜ）器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
ENTEGRIS WGFG01DS0（一（yī）包十個） 17994 濾芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾（lǜ）芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器（qì）
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器（qì）
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WGFGMBRR4 12026
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣（qì）動閥
Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥（fá）
entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵（zhēn）測器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥（fá）
ENTEGRIS YY260103N 17526 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 濾（lǜ）芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動閥
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過（guò）濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣動閥
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器
Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris WGFG02PR1 15957 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
Entegris YY5032PS1 20649 過濾器
Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過（guò）濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器（qì）
ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器（qì）
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十個） 17994 濾芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGFGMBRR2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包（bāo）
裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過（guò）濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過
濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
美國ENTEGRIS英特格Optimizer® DI 過濾
器,CBUG0S0S1
專為使用點 (PoU) 光刻（kè）工藝中的去離子水（shuǐ）應用而設計的（de）液體光化學
過濾器。小膠囊形狀係數（shù）和幹淨的（de）膜/支撐（chēng）/殼材料在 > 28 nm 節點應用中提供高（gāo）純
度（dù）汙染物去除性能。
應用
Optimizer DI 過濾器（qì）應用
行業：半導體（光刻）
化（huà）學：光
化（huà）學、溶（róng）劑
安裝點：工具點
產品（pǐn）規（guī）格
材料 膜： UPE*
支撐、核心、套筒： 高密度聚
乙烯
住房： 聚丙烯（xī）
膜麵積 DI 1800 平方厘米（1.94 平方英尺）
DI-L 3600 平方厘
米（3.88 平方（fāng）英尺）
DI-L (20 納米) 2100 平方厘（lí）米（2.26 平方英尺）
保留評級
DI, DI-L 0.2、0.1、0.05 微米、20 納米
配件 提供範圍廣泛的接頭，包
括 Super Type Pillar 接頭、壓縮密（mì）封件（與 Swagelok 兼容的接頭）和 Flaretek
接頭。
運行條件 最大入口壓力（lì） 0.345 兆帕（3.45 巴，50 磅/平（píng）方英寸，3.52 千克/
平方厘米（mǐ））@ 25°C (77°F)
最大（dà）正向/反向壓差 0.345 兆帕（3.45 巴，50 磅/平方
英寸，3.52 千克/平（píng）方厘米）@ 25°C (77°F)
0.28 MPa（2.8 bar，40 psi，
2.8 kg/cm²）@ 25°C（77°F）
工作溫度 60°C (140°F)
*表麵改性UPE
Entegris 建
議客戶至（zhì）少每年更換一次過（guò）濾器以確保（bǎo）最佳過濾性能。例（lì）行的（de）年度更換也（yě）將減少因
過度使用而導致化學品泄漏的可能性。
我們的標準保修期為 1 年（自 Entegris 發貨
之日起）。
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過（guò）濾器（qì）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾
器（qì）
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4
過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMPRR4
