美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣
體過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過濾（lǜ）器WGPM0GGG2，現（xiàn）貨（huò）
美國（guó）ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特（tè）格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
為超純氣體係統過濾提供卓越的微粒過濾，是（shì）高溫（wēn）和動態壓力應用的理（lǐ）想（xiǎng）選擇。
最先進的（de）外殼組件通過最小化焊接區域來消除除氣
全（quán）金屬結構是高溫（wēn）和動態壓力應用的理（lǐ）想選擇
緊湊的尺寸（cùn）和靈活的配件選擇提供了最（zuì）高（gāo）的設計效率並最大（dà）限度（dù）地（dì）降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在（zài）線氣體過濾（lǜ）器應用（yòng）
超純（chún）氣體（tǐ）管線
高溫應用
新工廠建設
動壓應用
惰性和活性氣體
產品規格
材料 濾芯（xīn） 燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼（ké）
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒（lì）/升（shēng）（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類（lèi）型 長度
.特種（zhǒng）氣體
特種氣體是（shì）指稀有（yǒu）氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫（yī）藥、電（diàn）
子（zǐ）及石油化工在（zài）內（nèi）的許多行業都會受益於特種氣體的獨特性質，它有助（zhù）於提高產量
、優化（huà）性能以及降低成本。我們富有經驗的應用團隊遍布全球（qiú），可（kě）以根據對您的行
業和（hé）應（yīng）用情況的了解，為您提供特種氣體供應解決方案，以滿足您的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器（qì）
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種（zhǒng）緊湊型全金屬（shǔ）過濾器，可與標（biāo）準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業（yè）
半導（dǎo）體 平板顯示器 數據存儲（chǔ） 引領
過（guò）程
散裝氣體輸（shū）送（sòng） 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子（zǐ）注入（rù） 光刻（kè）
Gasketgard 在線（xiàn）墊片（piàn）過濾（lǜ）器（qì）
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與（yǔ） VCR 接頭兼容）外螺紋入（rù）口/出口（kǒu） 84.1 毫米
（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭（tóu）用塑料
蓋代替金屬（shǔ）蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋（wén）入口/出口，短型 50.8 毫
米（2.00"）
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過（guò）濾器
這些在（zài）線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，並在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和
CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超（chāo）純應用中表現（xiàn）出色
專為高流量和低增量（liàng）壓力應用而（ér）設計
用於惰性和反應性氣體，包括臭（chòu）氧
為快（kuài）速啟動而預先調節（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣（qì）和 CDA 應（yīng）用兼容
產品規格（gé）
材料（liào） 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水（shuǐ） PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個（gè）顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發（fā）物（銀（yín）） <10 ppb H 2 O 和（hé） O 2。低於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青（qīng）銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容（róng）接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
最大正向（xiàng）壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最（zuì）高工作溫度（dù） 120°C (248°F)
流量（liàng）等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大（dà）於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最（zuì）具（jù）穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸（cùn）和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口（kǒu） 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克（kè）117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對（duì）焊管 133.4 毫米（mǐ）（5.25 英（yīng）寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於輕（qīng）鬆插入標準氣體管（guǎn）線
非常（cháng）適合（hé）高壓和高溫應用
保護（hù）關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流（liú）的 ISO 認證（zhèng）設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過（guò）濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保（bǎo）護敏感氣體成（chéng）分
適（shì）用於高壓和（hé）高溫應用
產品規格
材（cái）料： 焊接到 316L 不（bú）鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼（gāng）過濾介質
保持器 316 不鏽鋼（gāng）
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差（chà） 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴（bā）, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號（hào）
Gasketgard 在線墊片過濾（lǜ）器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫（háo）米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在（zài）線墊片過（guò）濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使（shǐ）用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度（dù）
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（mǐ）（0.99 英寸（cùn）） 29.5 毫米（mǐ）（1.16 英寸）
行業
半（bàn）導體 平（píng）板顯示器 數（shù）據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送（sòng） 薄膜 沉積（jī） 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊（diàn）圈過濾器是一（yī）種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於輕（qīng）鬆插入標準氣體管線
非常適合高壓（yā）和（hé）高溫應用
保護（hù）關鍵部件免受顆粒物損（sǔn）壞
在世界一流的 ISO 認證（zhèng）設施（shī）中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應（yīng）用
用於保（bǎo）護敏（mǐn）感（gǎn）氣體成分
適用於高壓和高溫應用
產（chǎn）品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上（shàng）的燒結 316L 不鏽鋼過（guò）濾介質（zhì）
保持器（qì） 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運（yùn）行條件： 最（zuì）大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆（zhào）帕 (29 巴（bā）, 421 psid)
最高工作（zuò）溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在（zài）線墊（diàn）片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸（cùn）和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型（xíng）帶保（bǎo）持器 25.25 毫（háo）米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾（lǜ）器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGT4過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，
CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，
CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，
CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，
CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，
CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，
CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，
CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，
CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006
，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，
CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06
，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，
CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06
，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，
CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，
CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006
，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，
CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06
，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，
CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，
CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06
，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，
CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06
，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，
CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，
CR05M0203，
CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006
，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，
CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006
，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，
CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06
，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，
CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06
，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，
CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006
，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，
CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006
，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，
CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006
，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，
CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006
，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，
CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，
CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，
CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，
CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，
CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，
CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，
CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，
CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
，、
CPUV01P01，CPUV01PLT，CPUV0SP01，CPUZ01P01，CPUZ01PLT，
CPUZ0SP01，CTDAATXTW，CTDGATXLH，CTDGATXST，CTDGATXTH，
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，CTFV01PT1，CTFV01PTF，CTFV01TC1，CTFV01TK1，CTFV01TPE，
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，CTFZ0SP01，CTFZ0SPTF，CTFZ0STPE，CTPR01TP1，EGDVHPX0F，
EGDVHPX0S，EGDVHPX2F，EGDVHPX2S，EGDVHPXTH，EGDZHPX0F，
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GHPZ02PLT，GHPZ0SP01，PFFG01P4F，PFFG01P4P，PFFG01P6P，
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QCCVSTXK1，QCCZAT101，QCCZAT1K1，QCCZATX01，QCCZATXC1，
QCCZATXK1，QCCZPF401，QCCZPF801，QCCZSTX01，QCDG15P3F，
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ENC0MPV01，ENC0MPV02，ENC0MSP01，ENC0MSP05，ENC0MTC00，
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INGEN2PS1，INGEN2PU0，INGENSP01，INGENSP02，INGENSP03，
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INGN2SP01，INGN2SP02，INGN2SP03，INGN2SP06，INGN2SP07，
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WCDS118ED，WCDS12510，WCDS15010，WCDS158E0，WCDS1SP01，
WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，
WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，
WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，
WCDS2S006，WCDS2S007，WCDS2S008，WCDS2S009，WCDS2S010，
WCDS2S012，WCDS2S021，WCDS2S022，WCDS2S023，WCDS2S031，
WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，
WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，
WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，
WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，
WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，
WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，
WGEN2S002，WGEN2S003，WGEN2S004，WGEN2S005，WGEN2S006，
WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，
WGEN2S012，WGEN2S013，
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過（guò）濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGFGMBRR2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包
裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過
濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
美國ENTEGRIS英特格Optimizer® DI 過（guò）濾（lǜ）
器,CBUG0S0S1
專為使用點 (PoU) 光刻工藝中的去離子水應用而設計的液體（tǐ）光化學
過濾器（qì）。小膠囊（náng）形狀係數和幹淨的膜/支撐/殼材料在 > 28 nm 節點應用中提（tí）供高純
度汙染物去除性能。
應用
Optimizer DI 過濾器（qì）應用
行業（yè）：半導體（光刻）
化學：光
化學、溶劑（jì）
安裝點：工具點
產品規格
材料 膜： UPE*
支撐、核心、套筒（tǒng）： 高密度聚
乙烯
住房： 聚丙烯
膜（mó）麵積 DI 1800 平方厘（lí）米（1.94 平方英尺）
DI-L 3600 平方厘
米（3.88 平（píng）方英尺）
DI-L (20 納米) 2100 平方厘米（2.26 平方英尺（chǐ））
保留評級
DI, DI-L 0.2、0.1、0.05 微米、20 納米
配件 提供範圍廣泛的接頭，包
括 Super Type Pillar 接（jiē）頭、壓縮密封件（與 Swagelok 兼容的接頭）和 Flaretek
接頭。
運行條件（jiàn） 最大入口壓力 0.345 兆（zhào）帕（3.45 巴（bā），50 磅/平（píng）方英寸，3.52 千克/
平方厘米）@ 25°C (77°F)
最大正向/反（fǎn）向壓差 0.345 兆帕（pà）（3.45 巴，50 磅/平方
英寸（cùn），3.52 千克/平方厘米）@ 25°C (77°F)
0.28 MPa（2.8 bar，40 psi，
2.8 kg/cm²）@ 25°C（77°F）
工作溫度 60°C (140°F)
*表（biǎo）麵改性（xìng）UPE
Entegris 建
議客戶至少每年更（gèng）換一次過濾器以確保最（zuì）佳過濾性（xìng）能。例行的年度更換也（yě）將減少（shǎo）因
過度使（shǐ）用而導致化學品泄（xiè）漏的可（kě）能性（xìng）。
我們的標（biāo）準保修期為 1 年（自 Entegris 發貨
之日起）。
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾（lǜ）
器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器（qì）
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過（guò）濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4
過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMPRR4
