美國ENTEGRIS英特格,過濾(lǜ)器WGFGMBRR4現貨(huò)
美國ENTEGRIS英特格,過濾器WGFGMBRR4現貨
美國ENTEGRIS英特格,過濾器WGFGMBRR4現貨
應特格ENTEGRIS,Wafergard® SG 氣體過濾器WGFGMBRR4 現貨(huò)
Wafergard SG YY 係列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾功能,可最大(dà)限度地提高光伏(fú)電池(chí)和顯示器製造的產量。
與高(gāo)純度氣體、惰(duò)性氣(qì)體和 CDA 應用(yòng)具有出色的相容性
卓越的下(xià)遊清潔度
應用
Wafergard SG 氣體過濾器應用
光(guāng)伏工藝氣體
顯示製造工(gōng)藝氣(qì)體
煤氣櫃
閥(fá)組箱
煤(méi)氣板
零件號
Wafergard SG 氣體過濾器部件號
零件號 產品類別 最大流量 接頭尺(chǐ)寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體(tǐ)過濾器 120 升/分 1/4" 墊圈密封(兼容 VCR) 127 毫米(5.00")
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/4" 壓縮密封(與 Swagelok 兼容) 115.5 毫米(4.55")
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈(quān)密封(fēng)(兼容 VCR) 133.5 毫米(5.26")
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣(qì)體過濾器(qì) 120 升/分 3/8" 壓縮密封(與 Swagelok 兼容) 119.3 毫米(4.70")
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈密封(兼容 VCR) 127 毫米(5.00")
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密封(與 VCR 接頭兼容)外螺(luó)紋入(rù)口/內螺紋出口 141.2 毫米(5.6")
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾(lǜ)器 500 升/分 1/4" 墊圈(quān)密封(兼容 VCR) 127 毫米(5.00")
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 墊圈密封(兼容(róng) VCR) 127 毫米(5.00")
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 壓縮密封(與 Swagelok 兼容(róng)) 112.7 毫米(4.44")
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 3/8" 壓縮密封(與 Swagelok 兼容) 117.9 毫米(4.64")
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器(qì) 1000 升/分 1/2" 壓縮密封(與 Swagelok 兼容) 118.7 毫米(4.67")
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微(wēi)型(xíng)氣體過濾器 60 升/分 1/4" 墊(diàn)圈密封(兼容 VCR) 84.1 毫米(3.31")
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器(qì) 60 升/分 1/4" 壓縮密封(與 Swagelok 兼容) 73.7 毫(háo)米(2.90")
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器(qì) 60 升/分 1/4" 墊圈密封(兼容 VCR) 84.1 毫米(3.31")
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封(與 Swagelok 兼容) 73.7 毫米(mǐ)(2.90")
YY5002PR1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR compatible) 127.0 mm (5.00")
美國ENTEGRIS應特(tè)格,WG3NS8RR2現貨,Wafergard? III NF Micro XL 在(zài)線氣
體過濾器
美國ENTEGRIS英特格,過濾器WGPM0GGG2,現貨
美國ENTEGRIS英特格,過濾器WGPM0GGG2,現貨
美國ENTEGRIS英特格,過濾器WGPM0GGG2,現貨
為超純氣體係統過濾提供卓越(yuè)的微粒過濾,是高溫和動(dòng)態壓力(lì)應用的(de)理想選擇。
最先進的(de)外殼組件通過最小化焊接區域來消除除氣
全金(jīn)屬結構是高溫和(hé)動態壓力應用的(de)理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設計效率並(bìng)最大限度地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾(lǜ)器應用
超純氣體管線(xiàn)
高溫應用
新工廠建(jiàn)設
動壓應用
惰(duò)性和活性氣體
產品規格
材料 濾芯 燒結(jié)鎳膜過濾器
住房 電(diàn)拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升(<1 顆粒/ft 3) >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件(jiàn)號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
.特種氣體
特種氣(qì)體(tǐ)是指稀有氣(qì)體或超高(gāo)純度(99.995% 以上)的氣體。包括分析、醫藥(yào)、電(diàn)
子及石油化工在內(nèi)的(de)許多行業都會受益於特種氣(qì)體的獨特性質,它有助於提高產量
、優化性能以及降低(dī)成本。我們富有經驗的應用團隊遍布(bù)全球,可以根據對(duì)您的行
業和應用情況的了解,為您提供(gòng)特種氣體(tǐ)供應解決方案,以(yǐ)滿足您的獨特(tè)需求。
Gasketgard 在線(xiàn)墊片過濾器
Gasketgard 在(zài)線墊圈過濾器(qì)是一種緊湊型全金屬過濾器,可與標準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米(0.98 英寸(cùn)) 25.25 毫米(0.99 英寸) 29.5 毫米(1.16 英寸)
行業
半導體 平(píng)板顯示器 數(shù)據存儲 引領
過程
散(sàn)裝(zhuāng)氣體輸送 薄膜(mó) 沉積 幹(gàn)蝕(shí)刻 離子(zǐ)注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈(quān)密封件(與 VCR 接頭兼容)外螺紋入口/出口 84.1 毫米
(3.31")
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封(與 VCR 接頭(tóu)兼容)外螺(luó)紋入口/出口,接頭用塑料
蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米(3.31")
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈(與 VCR 接頭兼容)外螺紋入(rù)口/出口,短型 50.8 毫
米(2.00")
Wafergard MAX 在線(xiàn) PTFE 氣體過濾器
這些(xiē)在(zài)線(xiàn) PTFE 氣體過濾器與高(gāo)純度氣體兼容,並在 超純氣體應用(yòng) 以及 一般(bān)氮氣(qì)和(hé)
CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純(chún)應用中表(biǎo)現出(chū)色
專為(wéi)高流量(liàng)和低(dī)增(zēng)量壓力應用而設計
用於惰性和(hé)反應性氣體,包括臭氧
為快速(sù)啟動而預先(xiān)調節(僅限銀色)
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐(chēng)的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮(huī)發物(銀) <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC(檢測(cè)下限為 5 ppb)
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX(青銅)MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX(銀/青(qīng)銅加)MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏(lòu)等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條(tiáo)件
最大入口壓力
Silver 和(hé) Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭:7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭:6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭:6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
最大正(zhèng)向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量(liàng)等級 參考性能(néng)數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒(lì)保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒(參考最具穿透性的顆粒尺寸)
零(líng)件(jiàn)號
Wafergard MAX 在(zài)線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口,1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米(5.6 英寸(cùn))
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫(háo)米(5.00 英寸)
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米(4.44 英寸)
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米(4.67 英寸)
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫(háo)米(mǐ)(5.00 英寸)
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克(kè)112.7 毫米(4.44 英寸)
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世(shì)偉洛克118.7 毫米(4.67 英寸)
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米(mǐ)(5.25 英寸)
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米(5.25 英寸)
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米(5.25 英寸(cùn))
WGMXMSRR2 1/4" 公(gōng) VCR127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米(5.00 英寸)
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2(無(wú)包裝)
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾(lǜ)器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器(qì)
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器(qì)
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾(lǜ)器
Gasketgard 在線墊(diàn)圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器,可代替(tì)標準的(de) 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用(yòng)於輕(qīng)鬆插入標準氣體管線(xiàn)
非常適合高壓和高(gāo)溫應用(yòng)
保護關鍵部件免受(shòu)顆(kē)粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中(zhōng)製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於(yú)保護敏(mǐn)感氣(qì)體成分
適(shì)用於高壓和高溫應用
產品規格
材料: 焊接(jiē)到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不(bú)鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼(gāng)
顆(kē)粒保留: 去除所有(yǒu)大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件: 最(zuì)大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號(hào)
Gasketgard 在線墊片過濾(lǜ)器部件號
零(líng)件號 接頭尺寸(cùn)和類(lèi)型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米(0.98 英寸)
WGPM0GGT2 1/4" 型帶(dài)保(bǎo)持器(qì) 25.25 毫米(0.99 英寸)
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型(xíng)帶保持器 29.50 毫米(1.16 英寸)
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器,可與(yǔ)標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊(diàn)圈配合使用(yòng)。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米(0.98 英寸) 25.25 毫米(0.99 英寸) 29.5 毫米(1.16 英寸)
行業
半導體 平板顯示器 數據(jù)存儲 引(yǐn)領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子(zǐ)注入 光刻
Gasketgard 在(zài)線墊片(piàn)過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器,可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保(bǎo)持器便於(yú)對(duì)齊
設計用於輕(qīng)鬆插入標準氣體管(guǎn)線
非常適合高壓和高(gāo)溫應用
保護關(guān)鍵部件免(miǎn)受顆粒物損壞
在世(shì)界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊(diàn)片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓和高溫(wēn)應用
產品規格
材料(liào): 焊接到 316L 不(bú)鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過(guò)濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留(liú): 去除所有(yǒu)大於 0.3 μm 直徑的(de)顆粒超過 95%
運行條(tiáo)件: 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最(zuì)高工作溫度 400°C (752°F) [惰性(xìng)氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型(xíng) 25.00 毫米(0.98 英(yīng)寸)
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米(0.99 英寸)
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米(1.16 英寸)
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾(lǜ)器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾(lǜ)器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾(lǜ)器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過(guò)濾器(qì)
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包裝)2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過(guò)濾器(qì)
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器(qì)
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器(qì)
ENTEGRISWG3NS1RR2過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾(lǜ)器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器(qì)
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器(qì)
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器(qì)
EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過(guò)濾器(qì)
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾(lǜ)器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06,CN3HF3E06,CN3HF4E06,CN3HM4E06,CN5001E06,
CN5001ES1,CN5001EZ6,CN5001T06,CN5001V06,CN5002E06,
CN5002ES1,CN5003E06,CN5003ES1,CN5003T06,CN5003V06,
CN5051E06,CN5051T06,CN5071E06,CN5071S06,CN5071T06,
CN5072E06,CN5072V06,CN5073E06,CN5073T06,CN5073V06,
CN5074T06,CN5074V06,CN50F1E06,CN50F1ES1,CN50F2E06,
CN50F3E06,CN50F3ES1,CN50F4E06,CN50M4E06,CN50M4S06,
CN50M4T06,CN50M4V06,CN6HF4E06,CR0101006,CR0101E06,
CR0101T06,CR0101V06,CR0102006,CR0102T06,CR0102V06,CR0103006
,CR0103T06,CR0104006,CR0104V06,CR0151006,CR0152006,
CR0153006,CR0153T06,CR0153V06,CR0154006,CR0154T06,CR0154V06
,CR0171006,CR0171E06,CR0171T06,CR0172006,CR0172E06,
CR0172T06,CR0173006,CR0173E06,CR0173T06,CR0174006,CR0174E06
,CR01F1006,CR01F1P06,CR01F2006,CR01F2C06,CR01F2P06,
CR01F3006,CR01F3P06,CR01F3V06,CR01F4006,CR01F4P06,
CR01M0203,CR0301006,CR0301E06,CR0301T06,CR0302006,CR0303006
,CR0351006,CR0354V06,CR0371006,CR0371E06,CR0372006,
CR0372E06,CR0373006,CR0373T06,CR0374006,CR03F1006,CR03F1P06
,CR03F2006,CR03F2P06,CR03F3006,CR03F3P06,CR03F4006,
CR03F4P06,CR03M0203,CR0501006,CR0501E06,CR0501T06,
CR0501V06,CR0502006,CR0503006,CR0503V06,CR0504006,CR0504E06
,CR0552006,CR0553006,CR0554V06,CR0571006,CR0571E06,
CR0571T06,CR0572006,CR0572T06,CR0573006,CR0573E06,CR0573T06
,CR0574006,CR05F1006,CR05F1P06,CR05F2006,CR05F2P06,
CR05F2V06,CR05F3006,CR05F3P06,CR05F4006,CR05F4P06,
CR05M0203,
CR1001006,CR1001T06,CR1002006,CR1002T06,CR1002V06,CR1003006
,CR1003V06,CR1004006,CR1053006,CR1054V06,CR1071006,
CR1071E06,CR1071T06,CR1072006,CR1072T06,CR1072V06,CR1073006
,CR1073T06,CR1073V06,CR1074006,CR10F1006,CR10F1P06,
CR10F1T06,CR10F2006,CR10F2C06,CR10F2P06,CR10F3006,CR10F3P06
,CR10F4006,CR10F4P06,CR10M0203,CR2501006,CR2501T06,
CR2501V06,CR2502006,CR2503006,CR2553V06,CR2571006,CR2571T06
,CR2572006,CR2572E06,CR2572T06,CR2573006,CR2573V06,
CR2574006,CR25F1006,CR25F1P06,CR25F2006,CR25F2P06,CR25F3006
,CR25F3P06,CR25F4006,CR25F4P06,CR25M0203,CR5001006,
CR5001T06,CR5001V06,CR5002006,CR5003006,CR5071006,CR5072006
,CR5073006,CR50F1006,CR50F2006,CR50F3006,CR50F4006,
CR50M0203,CR7501006,CR7502006,CR7503006,CR7571006,CR7572006
,CR7573006,CR75F1006,CR75F1P06,CR75F2006,CR75F3006,
CR75F4006,CR75M0203,CR9901006,CR9902006,CR9903006,CR9951006
,CR9971006,CR9971T06,CR9971V06,CR9972006,CR9973006,
CR99F1006,CR99F2006,CR99F3006,CR99F3P06,CR99F4006,
CR99M0203,CRA501006,CRA501T06,CRA501V06,CRA502006,
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CRA5M0203,CFDVUPXSF,CFDZUPXSF
,、
CPUV01P01,CPUV01PLT,CPUV0SP01,CPUZ01P01,CPUZ01PLT,
CPUZ0SP01,CTDAATXTW,CTDGATXLH,CTDGATXST,CTDGATXTH,
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,CTFV01PT1,CTFV01PTF,CTFV01TC1,CTFV01TK1,CTFV01TPE,
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,CTFZ0SP01,CTFZ0SPTF,CTFZ0STPE,CTPR01TP1,EGDVHPX0F,
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,YY3610E4U,YY361210A,YY3612170,YY362210A,YY362214U,
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,YY411010A,YY411010B,YY411010L,YY411014B,YY4110160,
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,YY4112170,YY412210A,YY412210B,YY412214B,YY4122160,
YY4122170,YY41HA20A,YY41HB20B,YY41HB20L,YY41HB24B,
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,YY4610160,YY4610170,YY4610180,YY4610190,YY46101NB,
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YY5000410,YY5000421,YY5000425,YY5000426,YY5000427,YY5000430
,YY5000431,YY5000432,YY5000433,YY5000434,YY5000436,
YY5000437,YY5000438,YY5000440,YY5001600,YY500400A,YY50P1600
,YY50P1606,YY50P160S,YY5M1L0K0,YY5M1L0V0,YY5M1LSVA,
YY5M1LSVC,YY5M1U4KA,YY5M1UKV0,YY5M1USVA,YY5M1USVD,
YY5M2L3VA,YY5M2LSPA,YY5M2U0K0,YY5M2U0V0,YY5M2USVA,
YY5S1U1KB,YY5S1U1T0,ENC0M1CN0,ENC0MPH01,ENC0MPH02,
ENC0MPV01,ENC0MPV02,ENC0MSP01,ENC0MSP05,ENC0MTC00,
ENC0MTC01,INGEN1PU0,INGEN1PU1,INGEN1ST0,INGEN2DVC,
INGEN2PS1,INGEN2PU0,INGENSP01,INGENSP02,INGENSP03,
INGENSP04,INGENSP05,INGENSP06,INGENSP07,INGENSP08,
INGENSP09,INGENSP10,INGENSP12,INGENSP13,INGENSP14,
INGN2SP01,INGN2SP02,INGN2SP03,INGN2SP06,INGN2SP07,
INGN2SP08,INGN2SP09,INGN2SP10,INGN2SP11,INGN2SP12,
INGN2SP14,INGN2SP15,INGN2SP19,INGN2SP21,INGN2SP22,
INGN2SP23,INGN2SP24,INTIG2DUV,INTIG2ILN,INTILN2DW,
R2501PH01,R2501PH02,RGEN1SP06,W2501CB08,W2501CB12,
W2501CB16,W2501CB22,W2501CC01,W2501KP01,W2501PC01,
W2501PH01,W2501PH02,W2501RK01,W2501SP01,W2501SP02,
W2501SP03,W2501SP04,W2501SP07,W2501SP08,W2501SP09,
W2501SP10,W2501SP11,W2501SP12,W2501SP13,W2501SP14,
W2501SP15,W2501SP16,W2501SP17,W2501SP18,W2501SP19,
W2501SP20,W2501SP21,W2501TC01,W2501TC02,W2501TC03,
W2501TC04,W2501TC05,
W2501TC06,W2501TC07,W2501VC01,W2501VK01,W2501VS01,
WCDI00010,WCDI00020,WCDI00030,WCDI00040,WCDI00060,
WCDI0UB00,WCDI0UC00,WCDP000H1,WCDP025H1,WCDP025L1,
WCDP050H1,WCDP050L1,WCDP100H1,WCDP100L1,WCDPC25T4,
WCDPP05TD,WCDPP28ED,WCDPP90E0,WCDS00000,WCDS000B1,
WCDS000F2,WCDS000F3,WCDS000F4,WCDS000P1,WCDS000P3,
WCDS008K3,WCDS010ED,WCDS020K3,WCDS021ED,WCDS024ED,
WCDS025ED,WCDS039K1,WCDS042E0,WCDS049E0,WCDS10010,
WCDS118ED,WCDS12510,WCDS15010,WCDS158E0,WCDS1SP01,
WCDS1SP01,WCDS1SP02,WCDS1SP03,WCDS1SP03,WCDS1SP04,
WCDS1SP04,WCDS204L1,WCDS216L1,WCDS216NF,WCDS240L1,
WCDS2S001,WCDS2S002,WCDS2S003,WCDS2S004,WCDS2S005,
WCDS2S006,WCDS2S007,WCDS2S008,WCDS2S009,WCDS2S010,
WCDS2S012,WCDS2S021,WCDS2S022,WCDS2S023,WCDS2S031,
WCDS2S032,WCDS2S033,WCDSA13T0,WCDSA25T0,WCDSB13F0,
WCDSE25T5,WCDSF04L1,WCDSF16L1,WCDSF40L1,WCDSG70E0,
WCDSJ13F0,WGEN02KP1,WGEN02PH1,WGEN02PS2,WGEN21CB0,
WGEN21CB1,WGEN21CB3,WGEN21CB4,WGEN21CB5,WGEN21CB6,
WGEN21CB7,WGEN21CN1,WGEN21CN3,WGEN21CN4,WGEN21CN5,
WGEN21CN6,WGEN21CN7,WGEN22CN0,WGEN22S01,WGEN2S001,
WGEN2S002,WGEN2S003,WGEN2S004,WGEN2S005,WGEN2S006,
WGEN2S007,WGEN2S008,WGEN2S009,WGEN2S010,WGEN2S011,
WGEN2S012,WGEN2S013,
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過濾器(qì)
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾(lǜ)器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2(無(wú)包裝)
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器(qì)
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器(qì)
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器(qì)
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGFGMBRR2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包
裝)
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾(lǜ)器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器(qì)
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過
濾(lǜ)器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
美國ENTEGRIS英特格Optimizer® DI 過濾
器,CBUG0S0S1
專為使用(yòng)點 (PoU) 光刻工藝中(zhōng)的去離(lí)子水應用而設計的液體光化學
過(guò)濾器。小膠囊形狀係數和幹淨的膜/支(zhī)撐/殼材料在 > 28 nm 節點應用中提供高純
度汙染物去除性能。
應用
Optimizer DI 過濾器應用
行業:半導(dǎo)體(光刻)
化(huà)學:光
化學、溶劑
安裝點:工具點
產品規格
材料 膜: UPE*
支撐、核心、套(tào)筒: 高密度聚
乙烯
住房: 聚丙烯
膜麵積 DI 1800 平方厘米(1.94 平方(fāng)英尺)
DI-L 3600 平(píng)方厘(lí)
米(3.88 平方英尺)
DI-L (20 納米) 2100 平方厘米(2.26 平方英尺(chǐ))
保留(liú)評級
DI, DI-L 0.2、0.1、0.05 微米、20 納米
配件 提供範圍廣泛的接頭,包
括 Super Type Pillar 接頭、壓縮密(mì)封件(與(yǔ) Swagelok 兼容的接(jiē)頭)和 Flaretek
接頭。
運行(háng)條件 最(zuì)大入口壓力(lì) 0.345 兆(zhào)帕(3.45 巴(bā),50 磅/平(píng)方英寸,3.52 千克(kè)/
平方厘米)@ 25°C (77°F)
最大(dà)正向/反向壓差 0.345 兆帕(3.45 巴,50 磅/平方(fāng)
英寸,3.52 千克/平方厘米)@ 25°C (77°F)
0.28 MPa(2.8 bar,40 psi,
2.8 kg/cm²)@ 25°C(77°F)
工作溫度 60°C (140°F)
*表麵改性UPE
Entegris 建
議客(kè)戶至少每年更換一次過濾器以確保最佳過濾性能。例行的年度更換也將減(jiǎn)少因
過度使用而導致化學品泄漏的可能性。
我們的標準保修期為(wéi) 1 年(自 Entegris 發貨
之日起)。
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾
器
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過(guò)濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾(lǜ)器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器(qì)
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4
過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
YY5002PS1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok compatible) 119.3 mm (4.70")