美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣
體過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過濾器（qì）WGPM0GGG2，現貨（huò）
美國ENTEGRIS英特（tè）格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
為超純氣體係統過濾提供卓越的微粒（lì）過（guò）濾，是高溫和動態壓力應用的理想選擇。
最先進的（de）外殼組件通過最小化（huà）焊接（jiē）區域（yù）來消除除氣
全金（jīn）屬結構是高溫和動（dòng）態壓力應用的理想（xiǎng）選擇
緊湊的尺（chǐ）寸和靈活的配（pèi）件選擇提（tí）供了最高的設計效率並最大限（xiàn）度（dù）地降低了工程成本（běn）
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體（tǐ）過濾器應（yīng）用
超純氣體管線
高溫應（yīng）用
新（xīn）工廠建（jiàn）設
動壓（yā）應用
惰性和活性氣體
產品規格
材（cái）料 濾芯（xīn） 燒結鎳膜過濾（lǜ）器
住房 電（diàn）拋（pāo）光 VAR316L 不鏽鋼外（wài）殼
下（xià）遊清潔度（dù） 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆（kē）粒/ft 3） >0.01 μm
揮發（fā）物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線（xiàn）氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度（dù）
.特種氣體
特種氣體（tǐ）是指（zhǐ）稀有氣體或超高（gāo）純度（99.995% 以上）的氣體（tǐ）。包括分析、醫藥、電
子及石油化工在內（nèi）的許多行業都會受益於（yú）特種（zhǒng）氣體的獨特性質，它有（yǒu）助於提高產量
、優化性能以及降低成（chéng）本。我們富有經驗的應（yīng）用團隊遍布全（quán）球，可以（yǐ）根據對（duì）您的行
業和應用情況的了解，為您提（tí）供特種氣體供應解決方案（àn），以滿足您的獨特需求。
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金（jīn）屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合（hé）使用（yòng）。
合（hé）身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸（cùn））
行業
半導體 平板（bǎn）顯示器 數據存儲 引領
過（guò）程
散裝氣體（tǐ）輸送 薄膜（mó） 沉積（jī） 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米
（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接（jiē）頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料
蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密（mì）封墊（diàn）圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口（kǒu）/出口，短型 50.8 毫
米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過（guò）濾器
這些在線 PTFE 氣體過（guò）濾器與（yǔ）高純度氣體兼容（róng），並在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和
CDA 應用中提供（gòng）卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應用中（zhōng）表現出色（sè）
專為高流量和低（dī）增量壓力應用而設（shè）計
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
為快速啟動而預先調節（jiē）（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用（yòng）
兼容所有（yǒu）類（lèi）別的半導體工藝氣（qì）體
與一（yī）般氮（dàn）氣和 CDA 應用兼容
產品規格
材料 濾（lǜ）芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子（zǐ） 小（xiǎo）於 0.03 個顆粒/升 (<1 個（gè）顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於（yú） LDL THC（檢測下（xià）限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理（lǐ）內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦（hài）泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒（miǎo）
經（jīng）過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒（miǎo）
運行（háng）條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭（tóu）：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大（dà）反（fǎn）向壓（yā）差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫（wēn）度 120°C (248°F)
流量等（děng）級 參考性能數（shù）據
保修單 青銅 1年（nián）
銀（yín） 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除（chú）所有顆粒（參考最具穿透性（xìng）的顆粒尺寸）
零件（jiàn）號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體（tǐ）過濾（lǜ）器部（bù）件號
零件號 接頭（tóu）尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口（kǒu），1/4" 母（mǔ） VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英（yīng）寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世（shì）偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸（cùn））
WGMXMPRR4 1/2" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無（wú）包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包（bāo）裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全（quán）金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計（jì）用於輕鬆插入標準（zhǔn）氣體管線（xiàn）
非常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的（de） ISO 認證（zhèng）設施（shī）中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用（yòng）於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏（mǐn）感氣（qì）體成分
適用於高壓（yā）和高溫應（yīng）用（yòng）
產品規格
材料（liào）： 焊接（jiē）到 316L 不鏽鋼墊片上的燒（shāo）結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽（xiù）鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運（yùn）行條件： 最大（dà）壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆（zhào）帕 (29 巴, 421 psid)
最（zuì）高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體（tǐ）]
零件號（hào）
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件（jiàn）號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫（háo）米（mǐ）（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫（háo）米（mǐ）（1.16 英（yīng）寸）
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一（yī）種緊湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫（háo）米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器（qì） 數據存儲（chǔ） 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光（guāng）刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊（diàn）圈（quān）。
保持（chí）器便於對齊
設計用於輕鬆插入標（biāo）準（zhǔn）氣體管線
非常適合高壓和高溫應用
保（bǎo）護關鍵（jiàn）部件免受顆粒物損（sǔn）壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製（zhì）造
應用
Gasketgard 在（zài）線墊片過濾器應用（yòng）
用於最高（gāo） 400°C (752°F) 的應用
用（yòng）於保護敏感氣體成分
適用（yòng）於高（gāo）壓和高溫應用
產品規格
材料（liào）： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過（guò）濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒（lì）保留： 去除所有大（dà）於（yú） 0.3 μm 直（zhí）徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度（dù） 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件（jiàn）號（hào） 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸（cùn））
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫（háo）米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器（qì）
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NS8RR2過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器（qì）
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，
CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，
CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，
CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，
CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，
CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，
CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，
CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，
CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006
，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，
CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06
，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，
CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06
，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，
CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，
CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006
，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，
CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06
，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，
CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，
CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06
，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，
CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06
，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，
CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，
CR05M0203，
CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006
，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，
CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006
，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，
CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06
，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，
CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06
，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，
CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006
，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，
CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006
，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，
CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006
，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，
CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006
，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，
CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，
CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，
CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，
CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，
CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，
CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，
CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，
CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
，、
CPUV01P01，CPUV01PLT，CPUV0SP01，CPUZ01P01，CPUZ01PLT，
CPUZ0SP01，CTDAATXTW，CTDGATXLH，CTDGATXST，CTDGATXTH，
CTDGATXTT，CTDGATXTW，CTDVATXLH，CTDVATXST，CTDVATXTH，
CTDVATXTT，CTDZATXLH，CTDZATXST，CTDZATXTH，CTDZATXTT，
CTFA01P01，CTFA01PTF，CTFA01TPE，CTFA02P01，CTFA02TPE，
CTFA0SP01，CTFA0SPSF，CTFA0STPE，CTFG01P01，CTFG01PSF，
CTFG01PT1，CTFG01PTF，CTFG01TC1，CTFG01TK1，CTFG01TPE，
CTFG02P01，CTFG02TPE，CTFG03TPE，CTFG0SP01，CTFG0SPSF，
CTFG0SPTF，CTFG0STPE，CTFH01PTF，CTFH01TPE，CTFH02TPE，
CTFH03TPE，CTFH0STPE，CTFV01P01，CTFV01PSF
，CTFV01PT1，CTFV01PTF，CTFV01TC1，CTFV01TK1，CTFV01TPE，
CTFV02P01，CTFV02TPE，CTFV03TPE，CTFV0SP01，CTFV0SPSF，
CTFV0SPTF，CTFV0STPE，CTFZ01P01，CTFZ01PT1，CTFZ01PTF，
CTFZ01TC1，CTFZ01TK1，CTFZ01TPE，CTFZ02P01，CTFZ02TPE，CTFZ03TPE
，CTFZ0SP01，CTFZ0SPTF，CTFZ0STPE，CTPR01TP1，EGDVHPX0F，
EGDVHPX0S，EGDVHPX2F，EGDVHPX2S，EGDVHPXTH，EGDZHPX0F，
EGDZHPX0S，EGDZHPX2F，EGDZHPX2S，EGDZHPXTH，EPFVHPSST，
EPFVHPXTW，GDCG01P01，GDCG01TK1，GDCG01TPE，GDCG02P01，
GDCG0SP01，GDCG0SPC1，GDCG0SPK1，GDCV01P01，GDCV01TK1，
GDCV01TPE，GDCV02P01，GDCV0SP01，GDCV0SPC1，GDCV0SPK1，
GDCZ01P01，GDCZ01TK1，GDCZ01TPE，GDCZ02P01，GDCZ0SP01，
GDCZ0SPC1，GDCZ0SPK1，GDDGATSST，GDDGATSTH，GDDGATSTT，
GDDGATX0F，GDDGATX1F，GDDGATX2F，GDDGATX4F，GDDGATXST，
GDDGATXTH，GDDGATXTT，GDDGHPX0F，GDDGHPX0S，GDDGHPX2F，
GDDGHPX2S，GDDVATSST，GDDVATSTH，GDDVATSTT，GDDVATX0F，
GDDVATX1F，GDDVATX2F，GDDVATX4F，GDDVATXST，GDDVATXTH，
GDDVATXTT，GDDVDEV0F，GDDVDEV1F，GDDVD GDDVDEV4F，
GDDVHPX0F，GDDVHPX0S，GDDVHPX2F，GDDVHPX2S，GDDZATSST，
GDDZATSTH，GDDZATSTT，GDDZATX0F，GDDZATX1F，GDDZATX2F，
GDDZATX4F，GDDZATXST，GDDZATXTH，GDDZATXTT，GDDZDEV0F，
GDDZDEV1F，GDDZ GDDZDEV4F，GDDZHPX0F，GDDZHPX1S，
GDDZHPX2F，GDDZHPX2S，GHPG01P01，GHPG01PLT，GHPG02P01，
GHPG02PLT，GHPG0SP01，GHPV01P01，GHPV01PLT，GHPV02P01，
GHPV02PLT，GHPV0SP01，GHPZ01P01，GHPZ01PLT，GHPZ02P01，
GHPZ02PLT，GHPZ0SP01，PFFG01P4F，PFFG01P4P，PFFG01P6P，
PFFG03D4S，PFFV01P4F，PFFV01P4P，PFFV01P6P，PFFV03D4S，
PFFZ01P4F，PFFZ01P4P，PFFZ01P6P，PFFZ03D4S，QCCGAT101，
QCCGAT1C1，QCCGAT1K1，QCCGATX01，QCCGPF401，QCCGPF801，
QCCGSTX01，QCCVAT101，QCCVAT1C1，QCCVAT1K1，QCCVATX01，
QCCVATXC1，QCCVATXK1，QCCVPF401，QCCVPF4C1，QCCVPF4K1，
QCCVPF801，QCCVPF8C1，QCCVPF8K1，QCCVSTX01，QCCVSTXC1，
QCCVSTXK1，QCCZAT101，QCCZAT1K1，QCCZATX01，QCCZATXC1，
QCCZATXK1，QCCZPF401，QCCZPF801，QCCZSTX01，QCDG15P3F，
QCDG15P8P，QCDG30P2P，QCDG30P3F，QCDG30P8P，QCDGATX0F，
QCDGATX1F，QCDGATX2F，QCDGATXLH，QCDGATXTF，QCDGATXTH，
QCDGATXTW，QCDGPF40F，QCDGPF41F，QCDGPF42F，QCDGPF80F，
QCDGPF81F，QCDGPF82F，QCDGPF8LH，QCDGPF8TH，QCDGSTX0F，
QCDGSTX1F，QCDGSTX2F，QCDGSTXLH，QCDGSTXTF，QCDGSTXTH，
QCDGSTXTW，QCDV15P3F，QCDV15P8P，QCDV30P2P，QCDV30P3F，
QCDV30P8P，QCDVATX0F，QCDVATX1F，QCDVATX2F，QCDVATXLH，
QCDVATXTF，QCDVATXTH，QCDVATXTW，QCDVPF40F，QCDVPF41F，
QCDVPF42F，QCDVPF80F，QCDVPF81F，QCDVPF82F，QCDVPF8LH，
QCDVPF8TH，QCDVSTX0F，QCDVSTX1F，QCDVSTX2F，QCDVSTXLH，
QCDVSTXTF，QCDVSTXTH，QCDVSTXTW，QCDZ15P3F，QCDZ15P8P，
QCDZ30P2P，QCDZ30P3F，QCDZ30P8P，QCDZATX0F，QCDZATX1F，
QCDZATX2F，QCDZATXLH，QCDZATXTF，QCDZATXTH，QCDZATXTW，
QCDZPF40F，QCDZPF41F，QCDZPF42F，QCDZPF80F，QCDZPF81F，
QCDZPF82F，QCDZPF8LH，QCDZPF8TH，QCDZSTX0F，QCDZSTX1F，
QCDZSTX2F，QCDZSTXLH，QCDZSTXTH，QCDZSTXTW，
RGCG01P01，RGCG01PLT，RGCG02P01，RGCG03P01，RGCG0SP01，
RGCV01P01，RGCV01PLT，RGCV02P01，RGCV03P01，RGCV0SP01，
RGCZ01P01，RGCZ01PLT，RGCZ02P01，RGCZ03P01，RGCZ0SP01，
RGDGHPS0F，RGDGHPX0F，RGDGHPXTH，RGDVHPS0F，RGDVHPX0F，
RGDVHPXTH，RGDZHPS0F，RGDZHPX0F，RGDZHPXTH，TGCGATX01，
TGCGATXC1，TGCGATXK1，TGDGATX0F，TGDGATX1F，TGDGATX2F，
TGDGATXLH，TGDGATXTF，TGDGATXTH，TGDGATXTW，WDFA40W0A，
WDFA40W0F，WDFA40W1F，WDFA40W2F，WDFA80PTF，WDFA80W0A，
WDFA80W0F，WDFA80W2F，WDFG40PSF，WDFG40PTF，WDFG40PTW，
WDFG40W0A，WDFG40W0F，WDFG40W1F，WDFG40W2F，WDFG80PSF，
WDFG80PTF，WDFG80PTW，WDFG80W0A，WDFG80W0F，WDFG80W2F，
WDFGATX0F，WDFV40PSF，WDFV40PTF，WDFV40PTW，WDFV40W0A，
WDFV40W0F，WDFV40W1F，WDFV40W2F，WDFV80PSF，WDFV80PTF，
WDFV80PTW，WDFV80W0A，WDFV80W0F，WDFV80W1F，WDFV80W2F，
WDFVATX0F，WDFVATX2F，WDFZ40PTF，WDFZ40W0A，WDFZ40W0F，
WDFZ40W1F，WDFZ40W2F，WDFZ80PTF，WDFZ80W0F，WDFZ80W1F，
WDFZ80W2F，WDFZATX0F，WDFZATX2F，WDPM0CP0F，WDPM0CP4F，
WDPM0CPSF，WGFA40P01，WGFA80P01，WGFG06D31，WGFG40P01，
WGFG80P01，WGFV40P01，WGFV80P01，WGFZ40P01，WGFZ80P01，
YY361010A，YY361014U，YY3610170，YY3610180，YY3610190，YY3610E0A
，YY3610E4U，YY361210A，YY3612170，YY362210A，YY362214U，
YY3622170，YY3622190，YY36HA20A，YY36HA24U，YY4010102，
YY4010104，YY4010106，YY4010108，YY40101A0，YY4110104，YY4110106
，YY411010A，YY411010B，YY411010L，YY411014B，YY4110160，
YY4110170，YY41101AL，YY411210A，YY411210B，YY411214B，YY4112160
，YY4112170，YY412210A，YY412210B，YY412214B，YY4122160，
YY4122170，YY41HA20A，YY41HB20B，YY41HB20L，YY41HB24B，
YY4510102，YY4510104，YY4510106，YY4510108，YY4510140，YY4510180
，YY4510190，YY45101A0，YY45S01B0，YY4600001，YY4600002，
YY4610102，YY4610108，YY461010A，YY461010B，YY461010F，YY461014B
，YY4610160，YY4610170，YY4610180，YY4610190，YY46101NB，
YY461030A，YY461034T，YY4610U0K，YY461204B，YY461210A，YY461210B
，YY461210F，YY461214B，YY4612160，YY4612170，YY4612180，
YY461230A，YY461234T，YY4612U0K，YY462010B，YY4620180，YY462200B
，YY462204L，YY462210A，YY462210B，YY462210F，YY462214B，
YY4622160，YY4622170，YY4622180，YY4622190，YY4622191，YY462234T
，YY4622U0K，YY46B1F0F，YY46H000B，YY46H1F0F，YY464411F0F，
YY46HA20A，YY46HA30A，YY46HA34T
，YY46HB20B，YY46HB24B，YY46HF20F，YY46N020K，YY46S010A，
YY46S010B，YY46S010F，YY46S014B，YY46S0160，YY46S0170，YY46S0180
，YY46S0U0K，YY50010R3，YY5500001，YY5500004，YY5500005，
YY5500010，YY5500020，YY55P4000，YY55P8000，ABUG0L0M1，
ABUG0LEM1，ABUG0LKM1，ABUG0S0M1，ABUG0SEM1，ABUG0SKM1，
ABUV0L0M1，ABUV0LEM1，ABUV0LKM1，ABUV0S0M1，ABUV0SEM1，
ABUV0SKM1，ABUZ0L0M1，ABUZ0LEM1，ABUZ0LKM1，ABUZ0S0M1，
ABUZ0SEM1，ABUZ0SKM1，AHUV0L0M1，AHUV0LEM1，AHUV0LKM1，
AHUV0S0M1，AHUV0SEM1，AHUV0SKM1，AHUZ0L0M1，AHUZ0LEM1，
AHUZ0LKM1，AHUZ0S0M1，AHUZ0SEM1，AHUZ0SKM1，AMFT222E1，
AMFT222K1，AMFT332E1，AMFT332K1，AMFT442E1，AMFT442K1，
AMFT664E1，AMFT664K1，AMFT884E1，AMFT884K1，CBUG0L0S1，
CBUG0S0F1，CBUG0S0P1，CBUG0S0S1，CBUG16EL1，CBUG16KL1，
CBUG2L0F1，CBUG2L0P1，CBUG3L0F1，CBUG3L0P1，CBUG3L0S1，
CBUG3S0F1，CBUG40EL1，CBUG40KL1，CBUG40TL1，CBUG6S0P1，
CBUG8L0P1，CBUG8S0P1，CBUV0L0F1，CBUV0L0S1，CBUV0S0F1，
CBUV0S0P1，CBUV0S0S1，CBUV16EL1，CBUV16KL1，CBUV2L0F1，
CBUV2L0P1，CBUV3L0F1，CBUV3L0P1，CBUV3L0S1，CBUV40EL1，
CBUV40KL1，CBUV40TL1，CBUV6S0P1，CBUV8L0P1，CBUV8S0P1，
CBUZ0L0F1，CBUZ0L0S1，CBUZ0S0F1，CBUZ0S0P1，CBUZ0S0S1，
CBUZ16EL1，CBUZ16KL1，CBUZ2L0P1，CBUZ3L0P1，CBUZ3L0S1，
CBUZ40EL1，CBUZ40KL1，CBUZ40TL1，CBUZ6S0P1，CBUZ8L0P1，
CBUZ8S0P1，
CHUV0L0S1，CHUV0S0P1，CHUV0S0S1，CHUV16EL1，CHUV16KL1，
CHUV2L0P1，CHUV3L0P1，CHUV3L0S1，CHUV40EL1，CHUV40EM1，
CHUV40KL1，CHUV40KM1，CHUV6S0P1，CHUV8L0P1，CHUV8S0P1，
CHUZ0L0S1，CHUZ0S0P1，CHUZ0S0S1，CHUZ16EL1，CHUZ16KL1，
CHUZ2L0P1，CHUZ3L0P1，CHUZ3L0S1，CHUZ40EL1，CHUZ40EM1，
CHUZ40KL1，CHUZ40KM1，CHUZ6S0P1，CHUZ8L0P1，CHUZ8S0P1，
CW00NU301，CW00NUS01，CW00PT301，CW00PTS01，CW00PTS31，
CWAG0L0S1，CWAG0S0S1，CWAG0S1S3，CWAG160L1，CWAG16EL1，
CWAG16KL1，CWAG3L0S1，CWAG400L1，CWAG40EL1，CWAG40EM1，
CWAG40KL1，CWAG40KM1，CWAG8S1P1，CWAV0L0S1，CWAV0S0S1，
CWAV0S1S3，CWAV160L1，CWAV16EL1，CWAV16KL1，CWAV3L0S1，
CWAV400L1，CWAV40EL1，CWAV40EM1，CWAV40KL1，CWAV8S1P1，
CWAZ0L0S1，CWAZ0S0S1，CWAZ0S1S3，CWAZ160L1，CWAZ16EL1，
CWAZ16KL1，CWAZ3L0S1，CWAZ400L1，CWAZ40EL1，CWAZ40KL1，
CWAZ40TL1，CWAZ8S1P1，CWUG00EL1，CWUG00PL1，CWUG0S0P1，
CWUG0S0S1，CWUG0S0S3，CWUG0S1S3，CWUG160L1，CWUG16EL2，
CWUG16EP2，CWUG16KL2，CWUG16PP2，CWUG2L0P1，CWUG3L0P1，
CWUG3L0S1，CWUG40EL1，CWUG40EM1，CWUG40EP1，CWUG40KL1，
CWUG40KM1，CWUG40TL1，CWUG6S0P1，CWUG8L0P1，CWUG8S0P1，
CWUH16KL2，CWUV00PL1，CWUV0S0P1，CWUV0S0S1，CWUV0S0S3，
CWUV0S1S3，CWUV160L1，CWUV16EL2，CWUV16EP2，CWUV16KL2，
CWUV16PP2，CWUV3L0P1，CWUV3L0S1，CWUV400L1，CWUV40EL1，
CWUV40EM1，CWUV40EP1，CWUV40KL1，CWUV40KM1，CWUV40PP1，
CWUV40TL1，CWUV40TP1，CWUV6S0P1，CWUV8S0P1，CWUZ00PL1，
CWUZ0S0P1，CWUZ0S0S1，CWUZ0S0S3，CWUZ0S1S3，CWUZ160L1，
CWUZ16EL2，CWUZ16KL2，CWUZ3L0P1，CWUZ3L0S1，CWUZ400L1，
CWUZ40EL1，CWUZ40KL1，CWUZ40KM1，CWUZ40TL1，CWUZ6S0P1，
CWUZ8S0P1，DZU004401，DZUM04401，DZUM044C1，DZUMC4401，
DZUPC21K1，DZUV016K2，DZUV040K1，DZUVA4401，DZUZA4401，
PFFG01D8S，PFFV01D4S，PFFV01D8S，PFFV03D4P，PFFV03D6P，
PFFZ01D8S，PFFZ03D4P，WGFA04HP6，WGFA16HP2，WGFA40H01，
WGFA40HP1，WGFG04HP6，WGFG04TP6，WGFG16CP2，WGFG16D01，
WGFG16D21，
WGFG16HP1，WGFG16HP2，WGFG16HT2，WGFG16TP2，WGFG40D01，
WGFG40H01，WGFG40HP1，WGFG40HT1，WGFG40KP1，WGFG40N01，
WGFG40T01，WGFV04HP6，WGFV16CP2，WGFV16D01，WGFV16D21，
WGFV16HP1，WGFV16HP2，WGFV16HT2，WGFV16KP2，WGFV16NP2，
WGFV40C01，WGFV40D01，WGFV40H01，WGFV40HP1，WGFV40HT1，
WGFV40K01，WGFV40KP1，WGFV40N01，WGFV40T01，WGFZ04HP6，
WGFZ16D01，WGFZ16HP2，WGFZ40H01，WGFZ40HP1，YY5000400，
YY5000410，YY5000421，YY5000425，YY5000426，YY5000427，YY5000430
，YY5000431，YY5000432，YY5000433，YY5000434，YY5000436，
YY5000437，YY5000438，YY5000440，YY5001600，YY500400A，YY50P1600
，YY50P1606，YY50P160S，YY5M1L0K0，YY5M1L0V0，YY5M1LSVA，
YY5M1LSVC，YY5M1U4KA，YY5M1UKV0，YY5M1USVA，YY5M1USVD，
YY5M2L3VA，YY5M2LSPA，YY5M2U0K0，YY5M2U0V0，YY5M2USVA，
YY5S1U1KB，YY5S1U1T0，ENC0M1CN0，ENC0MPH01，ENC0MPH02，
ENC0MPV01，ENC0MPV02，ENC0MSP01，ENC0MSP05，ENC0MTC00，
ENC0MTC01，INGEN1PU0，INGEN1PU1，INGEN1ST0，INGEN2DVC，
INGEN2PS1，INGEN2PU0，INGENSP01，INGENSP02，INGENSP03，
INGENSP04，INGENSP05，INGENSP06，INGENSP07，INGENSP08，
INGENSP09，INGENSP10，INGENSP12，INGENSP13，INGENSP14，
INGN2SP01，INGN2SP02，INGN2SP03，INGN2SP06，INGN2SP07，
INGN2SP08，INGN2SP09，INGN2SP10，INGN2SP11，INGN2SP12，
INGN2SP14，INGN2SP15，INGN2SP19，INGN2SP21，INGN2SP22，
INGN2SP23，INGN2SP24，INTIG2DUV，INTIG2ILN，INTILN2DW，
R2501PH01，R2501PH02，RGEN1SP06，W2501CB08，W2501CB12，
W2501CB16，W2501CB22，W2501CC01，W2501KP01，W2501PC01，
W2501PH01，W2501PH02，W2501RK01，W2501SP01，W2501SP02，
W2501SP03，W2501SP04，W2501SP07，W2501SP08，W2501SP09，
W2501SP10，W2501SP11，W2501SP12，W2501SP13，W2501SP14，
W2501SP15，W2501SP16，W2501SP17，W2501SP18，W2501SP19，
W2501SP20，W2501SP21，W2501TC01，W2501TC02，W2501TC03，
W2501TC04，W2501TC05，
W2501TC06，W2501TC07，W2501VC01，W2501VK01，W2501VS01，
WCDI00010，WCDI00020，WCDI00030，WCDI00040，WCDI00060，
WCDI0UB00，WCDI0UC00，WCDP000H1，WCDP025H1，WCDP025L1，
WCDP050H1，WCDP050L1，WCDP100H1，WCDP100L1，WCDPC25T4，
WCDPP05TD，WCDPP28ED，WCDPP90E0，WCDS00000，WCDS000B1，
WCDS000F2，WCDS000F3，WCDS000F4，WCDS000P1，WCDS000P3，
WCDS008K3，WCDS010ED，WCDS020K3，WCDS021ED，WCDS024ED，
WCDS025ED，WCDS039K1，WCDS042E0，WCDS049E0，WCDS10010，
WCDS118ED，WCDS12510，WCDS15010，WCDS158E0，WCDS1SP01，
WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，
WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，
WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，
WCDS2S006，WCDS2S007，WCDS2S008，WCDS2S009，WCDS2S010，
WCDS2S012，WCDS2S021，WCDS2S022，WCDS2S023，WCDS2S031，
WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，
WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，
WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，
WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，
WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，
WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，
WGEN2S002，WGEN2S003，WGEN2S004，WGEN2S005，WGEN2S006，
WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，
WGEN2S012，WGEN2S013，
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過濾器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGFGMBRR2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包
裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過（guò）濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過
濾器（qì）
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
美國ENTEGRIS英特格Optimizer® DI 過濾
器,CBUG0S0S1
專為使用點 (PoU) 光刻工藝中的去離（lí）子水應用而設計的液體光化學（xué）
過濾器。小膠囊形狀係數和幹淨（jìng）的（de）膜/支撐/殼材料在 > 28 nm 節點（diǎn）應用中提供高純
度汙染物去除（chú）性能。
應用
Optimizer DI 過濾器應用
行業：半導（dǎo）體（光（guāng）刻）
化學：光（guāng）
化學、溶劑
安裝點（diǎn）：工具點
產品規格
材料 膜： UPE*
支撐、核心、套筒： 高密度聚
乙烯
住房： 聚（jù）丙烯
膜麵積 DI 1800 平方厘米（mǐ）（1.94 平方（fāng）英尺）
DI-L 3600 平方厘
米（3.88 平方英（yīng）尺）
DI-L (20 納米) 2100 平方厘米（2.26 平方英（yīng）尺）
保留評級
DI, DI-L 0.2、0.1、0.05 微米（mǐ）、20 納（nà）米
配件 提（tí）供範圍廣泛的接頭，包
括 Super Type Pillar 接頭、壓縮密封件（jiàn）（與 Swagelok 兼容的接頭）和 Flaretek
接（jiē）頭。
運行條件 最大入口壓力 0.345 兆帕（3.45 巴（bā），50 磅/平方英寸，3.52 千克/
平方厘米）@ 25°C (77°F)
最大正向/反向壓差 0.345 兆帕（3.45 巴，50 磅/平（píng）方
英寸，3.52 千克/平（píng）方厘米）@ 25°C (77°F)
0.28 MPa（2.8 bar，40 psi，
2.8 kg/cm²）@ 25°C（77°F）
工作溫度 60°C (140°F)
*表（biǎo）麵改（gǎi）性UPE
Entegris 建
議客戶至少每年更換一次過濾器以確保（bǎo）最佳過濾性能。例行的年度更換也將減少因（yīn）
過度使用而導致化學品泄漏的可能性。
我們的標準保修期為 1 年（自 Entegris 發（fā）貨
之日起）。
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾
器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGG2過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4
過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
