美國ENTEGRIS應特格氣體過（guò）濾器，WG2F02RR4，現貨
美國ENTEGRIS應（yīng）特格氣（qì）體過濾器，WG2F02RR4，現貨
美國ENTEGRIS應特格氣體（tǐ）過濾器（qì），WG2F02RR4，現貨
美國ENTEGRIS應特格氣體過濾器，WG2F02RR4，現貨
美國ENTEGRIS應特格氣體過濾器，WG2F02RR4，現貨
美國ENTEGRIS英特格在線氣體過濾器WG2F02RR4，現貨
Wafergard
II F Mini XL 在（zài）線氣體過濾器
在氣體麵（miàn）板、氣體櫃和晶圓加工需要（yào）超純氣體的任何地（dì）方進行卓（zhuó）越的顆粒過（guò）濾。
緊湊的裝置減少了氣（qì）箱的整體占地麵積，節省了寶（bǎo）貴（guì）的（de）設備空間
PTFE 膜提供高效過濾，提高產品產量
低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風險（xiǎn）
與所有類別的半導體工藝氣體具有出（chū）色的兼容性
用於惰性和（hé）反應性氣體，包括臭氧
應用（yòng）
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器應用
臭氧應用（氣體）
煤氣櫃
超純氣體係統
閥組箱
氣體（tǐ）麵板
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光 316L 不鏽鋼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（shēng）（<1 顆粒/ft 3) >0.01µm
揮發物 <10 ppb 水分
移除等級 0.0015 微米
表麵處理內部 ≤10 µin Ra
氦泄漏等（děng）級 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
經過測試 1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃度分辨率 ±0.015 ppm
運行條件 最大入口壓力（lì）： 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅（páng）/平方英寸）@ 23°C (73°F)
最大正向壓差（chà）： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫（wēn）度： 120°C (248°F)
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 在 100 slpm 下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒（lì）尺寸）
流量（liàng）等級 參考性能數據
零件號
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度（dù）
WG2F02JJ2 1/4" 對焊管（guǎn） 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 對焊管 133.4 毫（háo）米（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮（suō）密封（與世偉洛克接頭兼容（róng））外螺紋入口/出口 115.5 毫米（4.55 英寸）
WG2F02RR2 1/4" 墊（diàn）片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口（kǒu）/出（chū）口 127.0 毫（háo）米（mǐ）（5.00 英寸）
WG2F02RR4 1/2" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外（wài）螺紋入口/出口 133.4 毫米（5.25 英（yīng）寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 119.3 毫米（4.70 英寸）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過（guò）濾器
美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣
體（tǐ）過濾器
美國（guó）ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英（yīng）特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
為超純氣體係統過濾（lǜ）提供卓越的微粒過濾，是高溫和動態壓力應用的理想選擇。
最先進的外殼組件通過最小化焊（hàn）接（jiē）區域（yù）來消除除氣
全金屬結構是高溫和動態壓力應用的理（lǐ）想選（xuǎn）擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提（tí）供了最高的設（shè）計效率並最大限度地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾（lǜ）器應用
超（chāo）純氣體管（guǎn）線
高溫應用
新工廠建設
動壓應用
惰性和活性氣體
產品規格
材料（liào） 濾芯 燒結鎳膜過濾器
住房 電拋（pāo）光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（shēng）（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發（fā）物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號
零件（jiàn）號 接頭尺寸和類型 長度
.特種氣體
特種氣體是指稀有氣體或超高純度（dù）（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫藥、電
子及石油化工在（zài）內的許（xǔ）多行業都（dōu）會受益於特種氣體的獨特性（xìng）質，它有助於提高產量
、優化性能以及降低成本。我們富有經驗的應用團隊遍（biàn）布全球（qiú），可以根據對您的行
業和應用情況的了解，為您提（tí）供特種氣體供應解決方案，以滿足您的獨（dú）特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器（qì）
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一（yī）種緊湊型（xíng）全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊（diàn）圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行（háng）業
半導體 平板顯示器（qì） 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜（mó） 沉積（jī） 幹蝕刻 離（lí）子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過（guò）濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口（kǒu）/出口 84.1 毫米
（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與（yǔ） VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用（yòng）塑料
蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密（mì）封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫
米（2.00"）
Wafergard MAX 在線（xiàn） PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾（lǜ）器與（yǔ）高純度氣體兼容，並（bìng）在（zài） 超純氣體應（yīng）用 以及 一（yī）般氮氣和
CDA 應用（yòng）中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應（yīng）用中（zhōng）表現（xiàn）出色
專為高流量和低增量壓力（lì）應（yīng）用而設計
用於惰性和反應性氣（qì）體，包括（kuò）臭氧
為（wéi）快速啟動而預先調節（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體（tǐ）過（guò）濾器應（yīng）用
兼容（róng）所有（yǒu）類別的半導體工藝氣體（tǐ）
與一般氮氣和 CDA 應（yīng）用兼容
產品規格
材料 濾芯 由（yóu）模壓 PFA 結（jié）構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔（jié）度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀（yín）） <10 ppb H 2 O 和（hé） O 2。低於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青（qīng）銅（tóng）加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格（gé）的（de） 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口（kǒu）壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接（jiē）頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差（chà） 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度（dù） 120°C (248°F)
流量等級 參（cān）考性能數據（jù）
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒（lì）保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除（chú）所有顆粒（參考（kǎo）最具穿透性的顆粒尺（chǐ）寸（cùn））
零件（jiàn）號
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾器（qì）部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口（kǒu） 141.2 毫（háo）米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛（luò）克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉（wěi）洛克（kè）117.9 毫米（mǐ） (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫（háo）米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米（mǐ） (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊（hàn）管 133.4 毫米（5.25 英寸（cùn））
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸（cùn））
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一（yī）種緊湊型全金屬過濾器（qì），可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插入標準氣體管線（xiàn）
非常適合高（gāo）壓和高溫應用
保護關（guān）鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最（zuì）高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓和（hé）高溫（wēn）應（yīng）用
產品（pǐn）規（guī）格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆（kē）粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號（hào） 接頭尺寸（cùn）和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（mǐ）（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在（zài）線墊圈（quān）過濾器（qì）是（shì）一種緊湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用（yòng）。
合身（shēn）尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜（mó） 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過（guò）濾器是一（yī）種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插（chā）入標準氣體管線
非常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞（huài）
在世界一流的 ISO 認（rèn）證設施中製造
應用（yòng）
Gasketgard 在線墊片過濾器（qì）應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓和高溫應用
產品規格
材（cái）料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的（de）燒結 316L 不鏽鋼過（guò）濾介質
保（bǎo）持（chí）器 316 不鏽鋼
顆（kē）粒保留： 去除所有大於（yú） 0.3 μm 直徑的顆（kē）粒超過 95%
運行條件： 最（zuì）大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體（tǐ）]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部（bù）件號
零（líng）件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫（háo）米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶（dài）保持器 25.25 毫（háo）米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包（bāo）裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包（bāo）裝（zhuāng））
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器（qì）
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過（guò）濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，
CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，
CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，
CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，
CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，
CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，
CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，
CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，
CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006
，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，
CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06
，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，
CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06
，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，
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CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，
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CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
，、
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WGFA40HP1，WGFG04HP6，WGFG04TP6，WGFG16CP2，WGFG16D01，
WGFG16D21，
WGFG16HP1，WGFG16HP2，WGFG16HT2，WGFG16TP2，WGFG40D01，
WGFG40H01，WGFG40HP1，WGFG40HT1，WGFG40KP1，WGFG40N01，
WGFG40T01，WGFV04HP6，WGFV16CP2，WGFV16D01，WGFV16D21，
WGFV16HP1，WGFV16HP2，WGFV16HT2，WGFV16KP2，WGFV16NP2，
WGFV40C01，WGFV40D01，WGFV40H01，WGFV40HP1，WGFV40HT1，
WGFV40K01，WGFV40KP1，WGFV40N01，WGFV40T01，WGFZ04HP6，
WGFZ16D01，WGFZ16HP2，WGFZ40H01，WGFZ40HP1，YY5000400，
YY5000410，YY5000421，YY5000425，YY5000426，YY5000427，YY5000430
，YY5000431，YY5000432，YY5000433，YY5000434，YY5000436，
YY5000437，YY5000438，YY5000440，YY5001600，YY500400A，YY50P1600
，YY50P1606，YY50P160S，YY5M1L0K0，YY5M1L0V0，YY5M1LSVA，
YY5M1LSVC，YY5M1U4KA，YY5M1UKV0，YY5M1USVA，YY5M1USVD，
YY5M2L3VA，YY5M2LSPA，YY5M2U0K0，YY5M2U0V0，YY5M2USVA，
YY5S1U1KB，YY5S1U1T0，ENC0M1CN0，ENC0MPH01，ENC0MPH02，
ENC0MPV01，ENC0MPV02，ENC0MSP01，ENC0MSP05，ENC0MTC00，
ENC0MTC01，INGEN1PU0，INGEN1PU1，INGEN1ST0，INGEN2DVC，
INGEN2PS1，INGEN2PU0，INGENSP01，INGENSP02，INGENSP03，
INGENSP04，INGENSP05，INGENSP06，INGENSP07，INGENSP08，
INGENSP09，INGENSP10，INGENSP12，INGENSP13，INGENSP14，
INGN2SP01，INGN2SP02，INGN2SP03，INGN2SP06，INGN2SP07，
INGN2SP08，INGN2SP09，INGN2SP10，INGN2SP11，INGN2SP12，
INGN2SP14，INGN2SP15，INGN2SP19，INGN2SP21，INGN2SP22，
INGN2SP23，INGN2SP24，INTIG2DUV，INTIG2ILN，INTILN2DW，
R2501PH01，R2501PH02，RGEN1SP06，W2501CB08，W2501CB12，
W2501CB16，W2501CB22，W2501CC01，W2501KP01，W2501PC01，
W2501PH01，W2501PH02，W2501RK01，W2501SP01，W2501SP02，
W2501SP03，W2501SP04，W2501SP07，W2501SP08，W2501SP09，
W2501SP10，W2501SP11，W2501SP12，W2501SP13，W2501SP14，
W2501SP15，W2501SP16，W2501SP17，W2501SP18，W2501SP19，
W2501SP20，W2501SP21，W2501TC01，W2501TC02，W2501TC03，
W2501TC04，W2501TC05，
W2501TC06，W2501TC07，W2501VC01，W2501VK01，W2501VS01，
WCDI00010，WCDI00020，WCDI00030，WCDI00040，WCDI00060，
WCDI0UB00，WCDI0UC00，WCDP000H1，WCDP025H1，WCDP025L1，
WCDP050H1，WCDP050L1，WCDP100H1，WCDP100L1，WCDPC25T4，
WCDPP05TD，WCDPP28ED，WCDPP90E0，WCDS00000，WCDS000B1，
WCDS000F2，WCDS000F3，WCDS000F4，WCDS000P1，WCDS000P3，
WCDS008K3，WCDS010ED，WCDS020K3，WCDS021ED，WCDS024ED，
WCDS025ED，WCDS039K1，WCDS042E0，WCDS049E0，WCDS10010，
WCDS118ED，WCDS12510，WCDS15010，WCDS158E0，WCDS1SP01，
WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，
WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，
WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，
WCDS2S006，WCDS2S007，WCDS2S008，WCDS2S009，WCDS2S010，
WCDS2S012，WCDS2S021，WCDS2S022，WCDS2S023，WCDS2S031，
WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，
WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，
WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，
WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，
WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，
WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，
WGEN2S002，WGEN2S003，WGEN2S004，WGEN2S005，WGEN2S006，
WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，
WGEN2S012，WGEN2S013，
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過濾器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包（bāo）裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包（bāo）裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包（bāo）裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGFGMBRR2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包
裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過
濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
美國ENTEGRIS英特格Optimizer® DI 過濾
器,CBUG0S0S1
專為使用點 (PoU) 光刻工藝中的去離子水應用而設計的液（yè）體（tǐ）光化學
過濾器。小膠囊形狀係數和（hé）幹淨的膜/支撐/殼材料在 > 28 nm 節點應用中提供高純
度汙染物去除性能。
應用
Optimizer DI 過濾器（qì）應用
行業：半（bàn）導體（光刻）
化（huà）學：光
化學、溶劑
安裝點：工具點
產品規格
材料 膜： UPE*
支撐、核心、套筒： 高密度聚
乙（yǐ）烯
住房： 聚丙烯（xī）
膜麵積 DI 1800 平方（fāng）厘米（1.94 平方英尺）
DI-L 3600 平方厘
米（3.88 平方英尺）
DI-L (20 納米) 2100 平方厘米（mǐ）（2.26 平（píng）方英尺）
保留評級
DI, DI-L 0.2、0.1、0.05 微（wēi）米、20 納米
配件 提供範圍廣泛的接頭，包
括 Super Type Pillar 接頭、壓（yā）縮（suō）密封件（與 Swagelok 兼容（róng）的接頭）和 Flaretek
接頭。
運行條件 最大入口壓力 0.345 兆帕（3.45 巴，50 磅/平方英寸，3.52 千克/
平方厘米（mǐ））@ 25°C (77°F)
最大正向/反向壓差 0.345 兆帕（3.45 巴，50 磅（páng）/平方
英寸，3.52 千克/平方厘米）@ 25°C (77°F)
0.28 MPa（2.8 bar，40 psi，
2.8 kg/cm²）@ 25°C（77°F）
工作溫（wēn）度 60°C (140°F)
*表麵（miàn）改性UPE
Entegris 建
議客戶至少每年更換一次過濾器以（yǐ）確保最佳過濾性能。例行的年度更換（huàn）也將減少（shǎo）因
過度使用而導致（zhì）化學品泄漏的可能性。
我們（men）的標準保修期為 1 年（自 Entegris 發貨
之日起）。
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無（wú）包裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過（guò）濾
器
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾器（qì）
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器（qì）
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ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4
過濾器
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ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
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ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
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