美國ENTEGRIS英特（tè）格在線式氣體過濾器（qì），WGMXMPSS3現貨4個
Wafergard
MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度（dù）氣體兼容，並在 超純（chún）氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓（zhuó）越的顆粒（lì）過濾。
PTFE 濾芯在超純應（yīng）用中表現出色（sè）
專為高流量和低增量壓力應用而設計
用於惰性和反應性（xìng）氣體，包括臭氧
為快速啟動而預先調節（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導（dǎo）體工藝氣體（tǐ）
與一（yī）般氮氣和 CDA 應（yīng）用兼容
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐（chēng）的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光（guāng）低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度（dù） 粒子 小於 0.03 個（gè）顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低（dī）於 LDL THC（檢測下限（xiàn）為（wéi） 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏（lòu）等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過（guò）測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行（háng）條件
最大入口壓（yā）力（lì）
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅（tóng） 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作（zuò）溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保（bǎo）留 大（dà）於 99.9999999% (9 LRV) 去（qù）除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺（chǐ）寸（cùn））
零件號
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾器部件號
零（líng）件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（mǐ）（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫（háo）米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英（yīng）寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對（duì）焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨（huò），Wafergard? III NF Micro XL 在（zài）線氣
體過（guò）濾器
美國ENTEGRIS英（yīng）特格，過濾（lǜ）器（qì）WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
為超純氣（qì）體係統過（guò）濾提供卓越的（de）微粒過濾，是高溫和動態壓力應用的理想（xiǎng）選（xuǎn）擇（zé）。
最先進的外（wài）殼組件通過最（zuì）小化焊（hàn）接區域來消（xiāo）除除氣
全金屬結構（gòu）是高溫和動（dòng）態壓力應用的理（lǐ）想選擇
緊湊的尺寸和靈活（huó）的配件選擇提供了最高的設計效率（lǜ）並最大限（xiàn）度地降（jiàng）低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過（guò）濾器應用
超純氣體（tǐ）管線
高溫應用
新工廠建設
動壓應用
惰性和（hé）活性氣體
產（chǎn）品規格
材料 濾芯 燒（shāo）結鎳膜過濾器（qì）
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒（lì）/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發（fā）物（wù） Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸（cùn）和類（lèi）型（xíng） 長度
.特種氣體
特種氣體是指（zhǐ）稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫藥、電
子及石油化工在內的許多行業都會受益於特種氣體的獨特性（xìng）質，它有助於（yú）提高產量
、優化性能以及降（jiàng）低成本。我們富有經驗的應用團隊遍布全球（qiú），可以根據對（duì）您的行
業和應用情況的了解（jiě），為您提（tí）供特種氣體供應解決方案，以滿足您的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊（diàn）圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫（háo）米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數（shù）據存儲 引領
過程
散裝氣體輸（shū）送（sòng） 薄膜（mó） 沉積（jī） 幹（gàn）蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭（tóu）兼容）外螺紋入口/出口（kǒu） 84.1 毫米
（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（fēng）（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料
蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入（rù）口/出（chū）口，短型 50.8 毫
米（mǐ）（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣（qì）體過濾（lǜ）器
這些在線 PTFE 氣體過（guò）濾器與高純度氣體兼容（róng），並在 超（chāo）純氣體應用 以及 一（yī）般氮氣和
CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應用中表現出色
專為高流量和低增量壓力應用而設計
用（yòng）於惰性（xìng）和反應性氣體，包括臭氧
為快速啟動而預先調節（僅限銀色（sè））
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導（dǎo）體工藝氣體
與（yǔ）一般氮氣（qì）和（hé） CDA 應用兼容
產品規（guī）格
材料 濾芯 由（yóu）模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房（fáng） 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外（wài）殼
下遊清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和（hé） O 2。低於 LDL THC（檢（jiǎn）測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表（biǎo）麵處理內部 WGMX（青銅（tóng））MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加（jiā））MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試（shì） 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口（kǒu）壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭（tóu）：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和（hé） 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作（zuò）溫度 120°C (248°F)
流量等（děng）級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大（dà）於 99.9999999% (9 LRV) 去（qù）除所有顆粒（參考最具（jù）穿透性的顆粒尺（chǐ）寸）
零件（jiàn）號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸（cùn）和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫（háo）米（mǐ）（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉（wěi）洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸（cùn））
WGMXMPSS3 3/8" 世偉（wěi）洛克（kè）117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英（yīng）寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸（cùn））
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾（lǜ）器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊（còu）型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持（chí）器便於對齊
設計用於輕鬆插入標準氣體管（guǎn）線
非常適合（hé）高壓和高溫應（yīng）用
保（bǎo）護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾器應用
用於最（zuì）高 400°C (752°F) 的應用（yòng）
用於保護敏感氣體成（chéng）分
適用於高壓和高溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆（kē）粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆（zhào）帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長（zhǎng）度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英（yīng）寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持（chí）器 25.25 毫米（0.99 英寸（cùn））
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持（chí）器（qì） 29.50 毫米（1.16 英（yīng）寸）
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器（qì）
Gasketgard 在線墊（diàn）圈過濾（lǜ）器是（shì）一種緊湊型（xíng）全金（jīn）屬過濾（lǜ）器，可與標準 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（mǐ）（0.98 英（yīng）寸） 25.25 毫米（0.99 英寸（cùn）） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平（píng）板顯示器 數據存儲 引領
過（guò）程
散裝氣（qì）體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全（quán）金屬過濾（lǜ）器，可代（dài）替標準的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊（diàn）圈。
保持器便於對齊
設計用於（yú）輕鬆插入標準氣體管線
非常適合高壓和高溫應用
保護關（guān）鍵部件免受顆粒物損（sǔn）壞
在世（shì）界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓（yā）和高溫應用
產品（pǐn）規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片（piàn）上的燒結（jié） 316L 不鏽鋼過濾介質
保持（chí）器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所（suǒ）有大（dà）於 0.3 μm 直（zhí）徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓（yā）差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零（líng）件號
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾器部件（jiàn）號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（mǐ）（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保（bǎo）持（chí）器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包（bāo）裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，
CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，
CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，
CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，
CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，
CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，
CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，
CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，
CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006
，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，
CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06
，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，
CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06
，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，
CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，
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，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，
CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06
，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，
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，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，
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，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，
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，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，
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，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，
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，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，
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CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，
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CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
，、
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WGFZ16D01，WGFZ16HP2，WGFZ40H01，WGFZ40HP1，YY5000400，
YY5000410，YY5000421，YY5000425，YY5000426，YY5000427，YY5000430
，YY5000431，YY5000432，YY5000433，YY5000434，YY5000436，
YY5000437，YY5000438，YY5000440，YY5001600，YY500400A，YY50P1600
，YY50P1606，YY50P160S，YY5M1L0K0，YY5M1L0V0，YY5M1LSVA，
YY5M1LSVC，YY5M1U4KA，YY5M1UKV0，YY5M1USVA，YY5M1USVD，
YY5M2L3VA，YY5M2LSPA，YY5M2U0K0，YY5M2U0V0，YY5M2USVA，
YY5S1U1KB，YY5S1U1T0，ENC0M1CN0，ENC0MPH01，ENC0MPH02，
ENC0MPV01，ENC0MPV02，ENC0MSP01，ENC0MSP05，ENC0MTC00，
ENC0MTC01，INGEN1PU0，INGEN1PU1，INGEN1ST0，INGEN2DVC，
INGEN2PS1，INGEN2PU0，INGENSP01，INGENSP02，INGENSP03，
INGENSP04，INGENSP05，INGENSP06，INGENSP07，INGENSP08，
INGENSP09，INGENSP10，INGENSP12，INGENSP13，INGENSP14，
INGN2SP01，INGN2SP02，INGN2SP03，INGN2SP06，INGN2SP07，
INGN2SP08，INGN2SP09，INGN2SP10，INGN2SP11，INGN2SP12，
INGN2SP14，INGN2SP15，INGN2SP19，INGN2SP21，INGN2SP22，
INGN2SP23，INGN2SP24，INTIG2DUV，INTIG2ILN，INTILN2DW，
R2501PH01，R2501PH02，RGEN1SP06，W2501CB08，W2501CB12，
W2501CB16，W2501CB22，W2501CC01，W2501KP01，W2501PC01，
W2501PH01，W2501PH02，W2501RK01，W2501SP01，W2501SP02，
W2501SP03，W2501SP04，W2501SP07，W2501SP08，W2501SP09，
W2501SP10，W2501SP11，W2501SP12，W2501SP13，W2501SP14，
W2501SP15，W2501SP16，W2501SP17，W2501SP18，W2501SP19，
W2501SP20，W2501SP21，W2501TC01，W2501TC02，W2501TC03，
W2501TC04，W2501TC05，
W2501TC06，W2501TC07，W2501VC01，W2501VK01，W2501VS01，
WCDI00010，WCDI00020，WCDI00030，WCDI00040，WCDI00060，
WCDI0UB00，WCDI0UC00，WCDP000H1，WCDP025H1，WCDP025L1，
WCDP050H1，WCDP050L1，WCDP100H1，WCDP100L1，WCDPC25T4，
WCDPP05TD，WCDPP28ED，WCDPP90E0，WCDS00000，WCDS000B1，
WCDS000F2，WCDS000F3，WCDS000F4，WCDS000P1，WCDS000P3，
WCDS008K3，WCDS010ED，WCDS020K3，WCDS021ED，WCDS024ED，
WCDS025ED，WCDS039K1，WCDS042E0，WCDS049E0，WCDS10010，
WCDS118ED，WCDS12510，WCDS15010，WCDS158E0，WCDS1SP01，
WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，
WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，
WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，
WCDS2S006，WCDS2S007，WCDS2S008，WCDS2S009，WCDS2S010，
WCDS2S012，WCDS2S021，WCDS2S022，WCDS2S023，WCDS2S031，
WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，
WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，
WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，
WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，
WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，
WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，
WGEN2S002，WGEN2S003，WGEN2S004，WGEN2S005，WGEN2S006，
WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，
WGEN2S012，WGEN2S013，
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過（guò）濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過濾器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過（guò）濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
Entegris WGMXMBRR4 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGFGMBRR2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包
裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾（lǜ）器（qì）
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過（guò）濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過（guò）
濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
美國ENTEGRIS英特格Optimizer® DI 過濾
器,CBUG0S0S1
專（zhuān）為使（shǐ）用點（diǎn） (PoU) 光刻工藝中的去（qù）離子水應（yīng）用而設計的液體光化學
過濾器。小膠囊形狀係數（shù）和幹淨（jìng）的膜/支撐/殼材料在 > 28 nm 節點應用中提供高純
度（dù）汙（wū）染物去除性能。
應用（yòng）
Optimizer DI 過濾器應用
行業：半導（dǎo）體（光刻）
化（huà）學：光（guāng）
化學（xué）、溶劑
安裝點：工具點
產品規格
材料 膜（mó）： UPE*
支撐、核（hé）心、套筒： 高密度聚（jù）
乙（yǐ）烯
住房： 聚丙（bǐng）烯
膜麵積 DI 1800 平方厘米（1.94 平方英尺）
DI-L 3600 平方厘
米（3.88 平方英尺）
DI-L (20 納米) 2100 平方厘米（2.26 平方英尺）
保留評級
DI, DI-L 0.2、0.1、0.05 微米、20 納米
配件 提供範圍（wéi）廣泛的接（jiē）頭，包
括 Super Type Pillar 接（jiē）頭、壓縮密（mì）封（fēng）件（與 Swagelok 兼容的接頭）和 Flaretek
接頭。
運行條件 最大（dà）入口壓力 0.345 兆帕（3.45 巴，50 磅/平方英（yīng）寸，3.52 千克/
平方厘米）@ 25°C (77°F)
最大正向/反向壓差 0.345 兆帕（3.45 巴，50 磅/平方
英寸，3.52 千克/平（píng）方厘（lí）米）@ 25°C (77°F)
0.28 MPa（2.8 bar，40 psi，
2.8 kg/cm²）@ 25°C（77°F）
工作溫度 60°C (140°F)
*表麵改性UPE
Entegris 建
議客（kè）戶至少每年更換一次過濾器（qì）以確保（bǎo）最佳過濾性能。例行的年度更換也將減少因
過度使用而導致化學品泄漏的可能（néng）性。
我們的標準保修期為 1 年（自 Entegris 發貨
之日起）。
ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾
器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器（qì）
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4
過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMPRR4
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
