Wafergard
III NF 微型在線（xiàn）氣體過濾器
為超純氣體係統提供卓越的惰性和反應性氣體顆粒（lì）過濾。
可用的最清潔、最高效（xiào）的全金屬過濾器
獲得專利的（de）鎳過濾膜具有卓越的（de）耐腐蝕性和與（yǔ）惰性氣體（tǐ）和反應性氣體的（de）出色兼容性（xìng）*
最先進的外（wài）殼組件通（tōng）過最小化焊接麵積來消除除氣（qì）
全金屬（shǔ）結構是高溫和動態壓力應用的理想選擇
緊湊的尺寸和（hé）靈活的（de）配件選擇可提高（gāo）設計效率並最大限度地降低工程成本
*不建議與 CO、O 3和低含量氫化物摻雜（zá）劑氣體一起（qǐ）使用。
應用
Wafergard III NF 微型在線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高（gāo）溫應用
新工廠建設
動（dòng）壓應用
惰（duò）性和反應性氣體
產品規格
材料（liào） 濾芯 獲得專利的燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR 316L 不（bú）鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子* 小於 0.03 個（gè）顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
易揮發的** H 2 O、O 2和 THC 的揮發性釋氣低於可檢測限（在室溫下通過 RGA 和 FID）
移除等級 ≥0.0015 微米（mǐ）
表麵（miàn）處理內部 ≤5 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2x10 -10 atm cc/秒。
經過測（cè）試 1x10 -9 atm cc/秒。
運行條件 最大允許工作壓力（設計壓力）：207 bar (3000 psi) @ 100°C (212°F)
最大正向（xiàng）/反（fǎn）向壓差：35 bar (500 psid)
最高工作溫度（dù）：惰性氣體 400°C (752°F) @ 35 bar (500 psi)；腐蝕性和反（fǎn）應性氣體：50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
保修單 5年
顆粒保留 大（dà）於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（lì）（參考最具穿透性的顆粒（lì）尺（chǐ）寸）
流量（liàng）等級（jí） 參考性（xìng）能數（shù）據
*顆粒清潔度符合 SEMASPEC 顆粒粉碎測試方法 (#93021511A-STD)
**揮發性清潔度（dù）符合 SEMASPEC THC 貢（gòng）獻測試方法（fǎ） (#90120396B-STD)、水分貢獻 (#90120397B-STD) 和氧氣貢獻 (# 90120398B-STD）。
零件號
Wafergard III NF 微型在線氣體過濾器部（bù）件號
零（líng）件號 接頭尺寸和類型 長（zhǎng）度
WG3L005NS2S1 1/8" Swagelok 壓縮接（jiē）頭 50.8 毫米（2.00 英寸）
WG3NS5RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼（jiān）容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸（cùn））
WG3NSMFF2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容（róng））內（nèi）螺紋入（rù）口/出口 58.4 毫米（2.30 英寸）
WG3NSMFR2 1/4" 極化（huà）墊圈密封（與 VCR 接（jiē）頭兼容）內螺紋入口/外螺紋出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NSMJJ2 1/4" 對接焊入口/出口 28.4 毫（háo）米（1.12 英寸）
WG3NSMRF2 1/4" 極化墊（diàn）片密封件（與 VCR 接（jiē）頭兼容）外螺紋（wén）入口/內螺（luó）紋（wén）出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NSMSL2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口（kǒu） 50.8 毫米（2.00 英寸（cùn））
美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨（huò），Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美（měi）國ENTEGRIS英特格，過濾（lǜ）器WGPM0GGG2，現貨（huò）
為超純氣體係統過濾（lǜ）提供卓越的微粒過濾，是（shì）高溫和動態壓力應用（yòng）的理想選擇。
最先進的外殼組件通過最小化焊接（jiē）區域來消除除氣
全金屬結構是（shì）高溫和動態壓力應用的理（lǐ）想選擇
緊湊的尺寸和靈活（huó）的配件選擇提供了最高的設計效率並最大（dà）限度地降低了工程（chéng）成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫應用
新工廠建設
動壓應用
惰（duò）性和（hé）活性氣體
產品規格
材料 濾芯 燒結（jié）鎳膜過濾（lǜ）器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下（xià）遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒（lì）/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接（jiē）頭尺寸和類型 長度
.特種氣體
特種氣體是指稀有氣體（tǐ）或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫藥、電子及石油化工在內的許多行業都會受益於（yú）特種氣體的獨特性（xìng）質，它有助於提高產量、優化性能以及降低成本。我們（men）富有經驗的應用團隊遍布全球，可以根據對您（nín）的行業和應用情況的了解，為您提供特種氣體供應解決方案（àn），以滿足您的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據（jù）存儲 引領（lǐng）
過程
散裝氣體輸送（sòng） 薄膜 沉（chén）積 幹（gàn）蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片（piàn）過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保（bǎo）護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封（fēng）墊圈（quān）（與 VCR 接頭兼（jiān）容（róng））外螺紋入口/出口（kǒu），短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器（qì）
這些在線 PTFE 氣（qì）體過濾器與高純度（dù）氣體兼容，並在 超純氣體應（yīng）用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提（tí）供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超（chāo）純應用中（zhōng）表現出色（sè）
專為高流量和低增量壓力應用而設計
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
為快速啟動而預（yù）先調節（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品規格
材料（liào） 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏（shū）水 PTFE 膜
住房 電拋光（guāng）低（dī）硫 316L 不（bú）鏽鋼外殼
下遊清潔度（dù） 粒（lì）子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀（yín）） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除（chú）等級 ≥0.0015 微米
表麵處（chù）理內部 WGMX（青（qīng）銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格（gé）的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過（guò）測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口（kǒu）壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼（jiān）容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴（bā） (102 psid)
最（zuì）大反向（xiàng）壓（yā）差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流（liú）量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒（lì）保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透（tòu）性的顆粒尺寸）
零件（jiàn）號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部（bù）件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口（kǒu） 141.2 毫米（5.6 英寸（cùn））
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世（shì）偉洛克112.7 毫米（4.44 英（yīng）寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英（yīng）寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉（wěi）洛克（kè）112.7 毫米（4.44 英（yīng）寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊（hàn）管 133.4 毫米（5.25 英寸（cùn））
WGMXMSBW3 3/8" 對（duì）焊管 133.4 毫米（5.25 英（yīng）寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一（yī）種緊湊型全金（jīn）屬過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆（sōng）插入標準氣體管線
非常（cháng）適（shì）合高壓和高溫應用
保護關鍵部（bù）件免受顆粒（lì）物損（sǔn）壞
在（zài）世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應（yīng）用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓和高溫應用（yòng）
產品（pǐn）規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼（gāng）墊片上的燒（shāo）結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒（lì）保留： 去除所（suǒ）有大於 0.3 μm 直（zhí）徑的顆粒超過（guò） 95%
運（yùn）行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作（zuò）溫度（dù） 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部（bù）件號（hào）
零件號 接頭尺寸和（hé）類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫（háo）米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器（qì） 29.50 毫米（mǐ）（1.16 英寸）
Gasketgard 在（zài）線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是（shì）一種緊湊型全金屬過（guò）濾器，可與標（biāo）準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸（cùn）
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業（yè）
半導體 平板顯（xiǎn）示器 數（shù）據存儲 引領（lǐng）
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準（zhǔn）的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插（chā）入標準氣體管線
非常適合高壓和高溫應用（yòng）
保（bǎo）護關（guān）鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保（bǎo）護敏感氣體成分
適用（yòng）於高壓和高溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾（lǜ）介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除（chú）所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性（xìng）氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件（jiàn）號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾（lǜ）器（qì）
EntegrisWG2FT1SS23.00過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過（guò）濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器（qì）
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
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