Wafergard
III NF 微（wēi）型在線氣體過濾器
為超純氣體係統提供卓越的惰性和反應（yīng）性氣體顆粒過濾。
可用的最清潔、最高效的全金（jīn）屬過濾（lǜ）器
獲得專利的鎳過濾膜具有卓越的（de）耐腐蝕性和與惰性氣體和（hé）反應性氣體的出（chū）色兼容性*
最先進的外殼組件通過最小化焊接麵積來消除除氣
全金屬結構是高溫和動態壓力應（yīng）用的（de）理想選擇
緊湊（còu）的尺寸和靈活的（de）配件選擇可提高設計效（xiào）率並最大限度地降低工程成本
*不建議與 CO、O 3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用。
應（yīng）用
Wafergard III NF 微型在線氣體過濾器應用
超純氣體管線（xiàn）
高溫應用
新工廠建設
動壓應用
惰（duò）性和反應性（xìng）氣體
產品規格
材料 濾芯 獲得專利的（de）燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR 316L 不鏽鋼外殼
下（xià）遊清潔度 粒子* 小（xiǎo）於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大（dà）於 0.01 μm
易（yì）揮發的** H 2 O、O 2和（hé） THC 的揮發性釋氣低於可檢測限（在室溫下通過 RGA 和 FID）
移除等級 ≥0.0015 微米
表（biǎo）麵處理內部（bù） ≤5 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2x10 -10 atm cc/秒。
經過測試 1x10 -9 atm cc/秒。
運行條件 最大允許工（gōng）作（zuò）壓力（設計壓力）：207 bar (3000 psi) @ 100°C (212°F)
最大正向/反向壓差：35 bar (500 psid)
最高工作溫度：惰性氣體 400°C (752°F) @ 35 bar (500 psi)；腐蝕性和反應性（xìng）氣體：50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
保修單 5年
顆粒（lì）保留 大（dà）於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參（cān）考最具穿透性的顆粒尺寸（cùn））
流量等級 參考性能數（shù）據
*顆粒清潔度符合 SEMASPEC 顆粒粉碎（suì）測試（shì）方法 (#93021511A-STD)
**揮發性（xìng）清潔度（dù）符合 SEMASPEC THC 貢獻（xiàn）測試方法 (#90120396B-STD)、水（shuǐ）分貢獻 (#90120397B-STD) 和氧氣貢獻 (# 90120398B-STD）。
零（líng）件號
Wafergard III NF 微型在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG3L005NS2S1 1/8" Swagelok 壓縮接頭 50.8 毫（háo）米（2.00 英寸）
WG3NS5RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口（kǒu） 84.1 毫米（mǐ）（3.31 英寸）
WG3NSMFF2 1/4" 墊片密封（與（yǔ） VCR 接頭兼容）內螺紋入口/出口（kǒu） 58.4 毫米（2.30 英寸）
WG3NSMFR2 1/4" 極化墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）內螺（luó）紋入口/外螺紋出口 71.1 毫（háo）米（mǐ）（2.80 英寸）
WG3NSMJJ2 1/4" 對接焊入口/出口 28.4 毫（háo）米（1.12 英寸）
WG3NSMRF2 1/4" 極化墊片密（mì）封件（jiàn）（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺紋出口 71.1 毫（háo）米（2.80 英寸）
WG3NSMSL2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 50.8 毫米（2.00 英寸）
美（měi）國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣（qì）體（tǐ）過（guò）濾器
美（měi）國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾（lǜ）器WGPM0GGG2，現貨
美（měi）國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
為超純（chún）氣體係（xì）統過濾提供卓越的微粒過濾（lǜ），是高溫和（hé）動態（tài）壓力應用的理想選擇。
最先進的外（wài）殼組件通過（guò）最小化焊接（jiē）區域（yù）來消除（chú）除氣
全（quán）金（jīn）屬結構是高溫和動態壓力應（yīng）用的理想（xiǎng）選擇（zé）
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供（gòng）了最高（gāo）的設計效率並最大（dà）限度地降（jiàng）低了工（gōng）程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線（xiàn）氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫應用
新工廠建（jiàn）設（shè）
動壓應用
惰性和活性氣體
產品規格
材料 濾（lǜ）芯 燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼（gāng）外殼（ké）
下遊清（qīng）潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號（hào）
零件號 接（jiē）頭尺寸和類型 長度
.特種氣體
特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫（yī）藥、電子及石油化工在內的許多（duō）行業都會受益於特種氣（qì）體（tǐ）的獨特性（xìng）質，它有助於提高產量、優化性能以及（jí）降低成本。我們富有經驗的（de）應用（yòng）團隊遍布全球，可以根據對您的行業和應用情況的了解，為您提供（gòng）特種氣體供應解決方案，以滿足您的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾（lǜ）器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與（yǔ）標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈（quān）配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英（yīng）寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫（háo）米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器（qì） 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離（lí）子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片（piàn）過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口（kǒu），接頭用塑（sù）料（liào）蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口（kǒu），短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣（qì）體過濾器與高純度氣體兼容，並在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供（gòng）卓越的顆粒（lì）過濾。
PTFE 濾芯在超純應用中表現出色
專為高流量和低增量壓力應用而設（shè）計
用於（yú）惰性（xìng）和反應性氣體，包括臭氧
為快速啟動而（ér）預先調節（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線（xiàn） PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品（pǐn）規格
材料 濾芯 由模（mó）壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住（zhù）房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子（zǐ） 小於 0.03 個（gè）顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於（yú） 0.01 μm
揮發物（wù）（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限（xiàn）為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒（miǎo）
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青（qīng）銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接（jiē）頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和（hé） Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大（dà）正向壓（yā）差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓（yā）差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考（kǎo）性能（néng）數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒（lì）保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆（kē）粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉（wěi）洛克（kè）112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世（shì）偉（wěi）洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世（shì）偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸（cùn））
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克（kè）118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸（cùn））
WGMXMSBW3 3/8" 對焊（hàn）管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對（duì）焊管 133.4 毫（háo）米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過（guò）濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器（qì）是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準（zhǔn）的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊（diàn）圈。
保（bǎo）持器便於對（duì）齊
設計用於輕鬆插入標準氣體管線
非常適合高壓和高（gāo）溫應用
保護（hù）關（guān）鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的（de） ISO 認證設施（shī）中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的（de）應用
用於保護敏感氣體成分
適用（yòng）於高壓和高溫應用
產品規格
材料： 焊接（jiē）到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不（bú）鏽鋼過濾介（jiè）質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去（qù）除所有大於 0.3 μm 直徑的（de）顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆（zhào）帕 (29 巴, 421 psid)
最高工（gōng）作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型（xíng） 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持（chí）器（qì） 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型（xíng）帶保持器（qì） 29.50 毫米（mǐ）（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器（qì）是一種緊湊型全金（jīn）屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使（shǐ）用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度（dù）
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平（píng）板顯示器 數據存（cún）儲 引領
過程（chéng）
散裝氣體輸送（sòng） 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在（zài）線墊圈過濾器是一種緊湊型全（quán）金屬過濾（lǜ）器，可代替標準（zhǔn）的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊（qí）
設計用於（yú）輕鬆插入標準（zhǔn）氣體管線
非常適合（hé）高壓和（hé）高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損（sǔn）壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器應（yīng）用
用於最高 400°C (752°F) 的應用（yòng）
用於保護敏感氣體成（chéng）分
適用於高壓和（hé）高溫應用
產（chǎn）品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過（guò）濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除（chú）所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部（bù）件號
零件號 接頭尺寸和類（lèi）型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型（xíng）帶（dài）保持器（qì） 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器（qì） 29.50 毫米（1.16 英（yīng）寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過（guò）濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器（qì）
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過（guò）濾器
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