Wafergard
MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在（zài）線 PTFE 氣（qì）體過濾器與（yǔ）高純度氣體兼容，並在 超純氣體（tǐ）應（yīng）用 以及（jí） 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆（kē）粒過濾。
PTFE 濾芯在超（chāo）純應用（yòng）中表現出色（sè）
專為高流量和低增量壓力應用（yòng）而設計
用（yòng）於惰性和反（fǎn）應性氣體，包（bāo）括（kuò）臭（chòu）氧（yǎng）
為快（kuài）速啟動而預先調節（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應（yīng）用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子（zǐ） 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等（děng）級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青（qīng）銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最（zuì）大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容（róng）接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容（róng）接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正（zhèng）向壓差 7 巴 (102 psid)
最大（dà）反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流（liú）量等級（jí） 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大於（yú） 99.9999999% (9 LRV) 去除所（suǒ）有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾（lǜ）器部件號
零件（jiàn）號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫（háo）米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫（háo）米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世（shì）偉洛克（kè）118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊（hàn）管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊（hàn）管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公（gōng） VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
Entegris WGMXMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無（wú）包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
美國（guó）ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過（guò）濾器
美國（guó）ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美（měi）國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
為超純氣體係統過濾提供卓越的微粒過濾（lǜ），是高溫和動態壓力應用的理想選（xuǎn）擇。
最先進的外殼組件通過最小化焊接區域來消除除氣
全金屬結構是高溫和（hé）動態壓力應用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最（zuì）高的設（shè）計效率並最（zuì）大限（xiàn）度地降低了工程成本
應（yīng）用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用（yòng）
超純氣（qì）體管（guǎn）線
高溫應用
新工廠建設
動壓應用（yòng）
惰性和活性氣體
產品規格
材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊（yóu）清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件（jiàn）號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾（lǜ）器部件號
零件號（hào） 接頭（tóu）尺寸和（hé）類型 長度
.特種（zhǒng）氣體
特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫藥、電（diàn）子及石油化工（gōng）在內（nèi）的許多行業都會受（shòu）益（yì）於特種氣體的獨特性（xìng）質，它有助於提高產（chǎn）量、優化性能以及降低成本。我們富有經（jīng）驗的應（yīng）用團隊遍布全球，可以根據對您的行業和應用情（qíng）況的了解，為您提供特種氣體供應解決方案，以滿足您的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊（diàn）圈過濾器是一種緊湊型全（quán）金屬過濾器，可（kě）與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身（shēn）尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝（zhuāng）氣體輸送 薄膜 沉（chén）積（jī） 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊（diàn）片（piàn）過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接（jiē）頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料（liào）蓋代替金（jīn）屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短（duǎn）型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與（yǔ）高純度氣體（tǐ）兼容，並在 超純氣體（tǐ）應用 以及 一般（bān）氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒（lì）過濾。
PTFE 濾芯在超純應用中表現（xiàn）出色
專為高流量和低增（zēng）量壓力應用（yòng）而設（shè）計
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
為快速啟動而預先調節（僅限（xiàn）銀色）
應用
Wafergard MAX 在線（xiàn） PTFE 氣體（tǐ）過（guò）濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應（yīng）用兼容
產品（pǐn）規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結（jié）構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下（xià）遊清潔度 粒（lì）子 小於 0.03 個顆粒/升（shēng） (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於（yú） 0.01 μm
揮發（fā）物（銀） <10 ppb H 2 O 和（hé） O 2。低於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏（lòu）等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口（kǒu）壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭（tóu）：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼（jiān）容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓（yā）差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作（zuò）溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（lì）（參考最具（jù）穿透性（xìng）的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾（lǜ）器部件號
零（líng）件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母（mǔ） VCR 出口 141.2 毫米（mǐ）（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸（cùn））
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（mǐ）（4.67 英寸（cùn））
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（mǐ）（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫（háo）米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英（yīng）寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊（hàn）管 133.4 毫米（mǐ）（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線（xiàn）墊圈過濾器（qì）是一種（zhǒng）緊湊型全（quán）金屬過（guò）濾器，可代替標準（zhǔn）的（de） 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持（chí）器便於對齊
設（shè）計用於輕（qīng）鬆插入（rù）標（biāo）準氣體管線
非常適合高壓（yā）和高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用（yòng）
用於保護敏感氣體成（chéng）分
適（shì）用於高壓和（hé）高溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不（bú）鏽鋼墊片上的燒（shāo）結 316L 不鏽鋼過濾介質
保（bǎo）持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆（kē）粒超過 95%
運行條件： 最（zuì）大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工（gōng）作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸（cùn）和類型 長（zhǎng）度（dù）
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫（háo）米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾器
Gasketgard 在線（xiàn）墊圈過濾器是一種緊湊（còu）型全（quán）金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用（yòng）。
合身尺（chǐ）寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫（háo）米（0.98 英寸（cùn）） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器（qì） 數據存（cún）儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積（jī） 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片（piàn）過濾器
Gasketgard 在（zài）線墊圈過濾器（qì）是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準（zhǔn）的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈（quān）。
保持器便於對齊
設（shè）計用於輕鬆插（chā）入標（biāo）準氣體管線
非常適合高壓和高溫應用
保（bǎo）護關鍵部件（jiàn）免受顆粒物損壞
在世界一流（liú）的（de） ISO 認證設施（shī）中製造
應用
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器應（yīng）用
用（yòng）於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分（fèn）
適用於高壓和高溫應用
產品規格
材料： 焊接到（dào） 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽（xiù）鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有（yǒu）大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行條（tiáo）件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件（jiàn）號
Gasketgard 在線墊片（piàn）過濾器部件號（hào）
零件（jiàn）號（hào） 接頭尺寸（cùn）和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫（háo）米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫（háo）米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
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