美國英特格過濾器WG2FT1SS2期貨
美國英特格過（guò）濾器WG2FT1SS2期貨
美國英特格過濾器WG2FT1SS2期貨
Wafergard
II F 微（wēi）型在線（xiàn）氣體過濾器（qì）
用於（yú）超純氣體係統（tǒng）過濾的卓越微粒過濾（lǜ）。Wafergard II F 微型在線氣（qì）體過濾器（qì）推薦用於惰性和反應性氣體，與所（suǒ）有類別的（de）半（bàn）導體工藝氣體（tǐ）具有出色的兼容性。
合身尺寸
1/4"
配件類型
密封墊片 對焊管（guǎn）
長度
84.1 毫米（3.31 英寸） 73.7 毫（háo）米（2.90 英寸）
最大工作壓力
207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°)
Wafergard II F 微型在線（xiàn）氣體過濾器
這些氣體過濾器推薦用於惰性氣體（tǐ）和反（fǎn）應性氣體，與所有類別的半（bàn）導體工藝氣體具有出色的兼容性，並且易於安裝在狹窄的氣體麵板和機櫃中（zhōng）。
PTFE 膜提供高效過濾
低壓降降低了（le）在較低蒸氣（qì）壓氣體中冷凝的風險
與所有類別的半導體工藝氣體（tǐ）具有出色的兼容（róng）性
用於惰性和反應性氣（qì）體，包括臭（chòu）氧
應用
Wafergard II F 微（wēi）型在線氣體過濾器應用
生命（mìng）科學應用
臭氧應用（氣體）
氣櫃和麵（miàn）板
超純氣體係統
內部流程工具
產品規格（gé）
材料
濾芯
由模壓 PFA 結構支撐的（de）疏（shū）水 PTFE 膜
住房 電拋光 VAR 316L 不鏽鋼
下遊清潔度 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個（gè）顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 µm
揮發物<10 ppb 水（shuǐ）分
移除等級 ≥0.0015 µm
表麵處（chù）理內（nèi）部 ≤7 µin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 × 10 -10毫升/秒
經過測試 1 × 10 -9毫（háo）升/秒（miǎo）
運行條件 最大入口壓（yā）力 207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向壓（yā）差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向壓（yā）差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度 120°C (248°F)
顆粒保留
大（dà）於 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去除所有（yǒu）顆粒（lì）（參考（kǎo）最具穿透性的顆粒尺寸）
流（liú）量等（děng）級 參考性能數據
零件號
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器部件號（hào）
零件號 接頭尺寸和類型 長度 應用
WG2FT1BW2 1/4" 對焊管 89.9 毫米（3.54 英寸） 半導（dǎo）體
WG2FT1RF2 1/4" 墊（diàn）圈（quān）密封（與 VCR 接（jiē）頭兼容）公入口/母（mǔ）出口 88.9 毫米（3.50 英寸） 半導體（tǐ）
WG2FT1RR2 1/4" 墊片（piàn）密封（與 VCR 接頭兼容（róng））外螺紋入口/出口 84.1 毫（háo）米（3.31 英寸） 半導體
WG2FT1RR2L 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺（luó）紋入（rù）口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 生命科學
WG2FT1SS2 1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸） 半導體
美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在（zài）線氣體過濾器（qì）
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現（xiàn）貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
為超純氣體係統過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動態壓力應用的理想選擇。
最先進的外（wài）殼組件通過最小化焊接區域來消除（chú）除氣
全（quán）金（jīn）屬結構（gòu）是高溫和動態壓力應用的理想（xiǎng）選擇
緊湊（còu）的（de）尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設計效率並最大限度地降低了工程成本（běn）
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣（qì）體過濾器應用（yòng）
超（chāo）純氣體管線
高溫應用
新工廠建設（shè）
動壓應用（yòng）
惰性和活性氣體
產品規格
材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件（jiàn）號
零件（jiàn）號 接頭尺寸和類型 長度
.特種氣（qì）體（tǐ）
特種氣體是指稀有氣體或超（chāo）高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫藥、電子及石油化工在內的許（xǔ）多行業都會受益於特種氣體的獨特性質，它有助（zhù）於提高產量（liàng）、優（yōu）化性能（néng）以及降低成本。我們富有經驗的應用團隊遍布全球，可以根據對您（nín）的行業和（hé）應用情況的了解，為您提供特種氣體供應（yīng）解決（jué）方案，以滿足您的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在（zài）線墊圈過濾器是一種（zhǒng）緊湊型全金屬過濾器（qì），可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用（yòng）。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫（háo）米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行（háng）業
半（bàn）導體 平板顯示器 數據存儲 引（yǐn）領
過程
散裝氣體（tǐ）輸送（sòng） 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光（guāng）刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋（wén）入口/出口 84.1 毫（háo）米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入（rù）口/出口，接（jiē）頭用塑料（liào）蓋代替（tì）金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋（wén）入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，並在 超純氣體應用 以及（jí） 一般氮氣和 CDA 應用中提供（gòng）卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯（xīn）在超純應用中表現出色
專為高流量和低增量壓力應用而設計
用於惰性和反應性（xìng）氣體，包括臭氧
為快速啟動而預先調節（僅限銀色）
應（yīng）用
Wafergard MAX 在線（xiàn） PTFE 氣體（tǐ）過濾器應用
兼（jiān）容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣（qì）和 CDA 應用兼容
產品規格
材料 濾芯 由模壓（yā） PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電（diàn）拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼（ké）
下遊清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆（kē）粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於（yú） LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入（rù）口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青（qīng）銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭（tóu）：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容（róng）接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差（chà） 2.5 巴 (36 psid)
最高（gāo）工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保（bǎo）留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除（chú）所有顆粒（lì）（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾（lǜ）器部件號
零件號 接頭尺寸和（hé）類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出（chū）口 141.2 毫米（mǐ）（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公（gōng） VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸（cùn））
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英（yīng）寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（mǐ）（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對（duì）焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器（qì）
Gasketgard 在（zài）線墊圈（quān）過濾器是一種緊（jǐn）湊（còu）型全金屬過濾器（qì），可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持（chí）器便於對齊
設計用於輕鬆插入標準氣體管線
非（fēi）常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部（bù）件免受顆粒（lì）物損壞
在世界一流的（de） ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過（guò）濾器應用（yòng）
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保（bǎo）護敏感氣體成（chéng）分
適用於高壓和高溫應用（yòng）
產品規（guī）格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒（shāo）結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過（guò） 95%
運行條件（jiàn）： 最（zuì）大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類（lèi）型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸（cùn））
Gasketgard 在線墊片過（guò）濾（lǜ）器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全（quán）金屬過濾器，可與標（biāo）準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸（cùn）
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫（háo）米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英（yīng）寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝（zhuāng）氣體輸送 薄膜 沉（chén）積 幹（gàn）蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替（tì）標準（zhǔn）的 1/4"、3/8" 和（hé） 1/2" VCR 墊（diàn）圈。
保持（chí）器便（biàn）於（yú）對齊
設計用於輕鬆插入標準（zhǔn）氣體管（guǎn）線
非常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓和高溫應用（yòng）
產品規（guī）格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒（lì）保（bǎo）留： 去除所有大於（yú） 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器部件號（hào）
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過（guò）濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
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