美國（guó）ENTEGRIS英特格，過濾器WGFGMBRR4，MRO供應鏈服（fú）務
美（měi）國ENTEGRIS英特格，過濾器WGFGMBRR4，MRO供應鏈服務
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGFGMBRR4，MRO供應鏈服務
美（měi）國ENTEGRIS金屬過濾器，WGFGMBRR4自營大量現貨，應特格
應特格ENTEGRIS,Wafergard® SG 氣體過濾器WGFGMBRR4 現貨
Wafergard
SG YY 係列氣體過（guò）濾器（qì）提供卓越的微粒過濾功能，可最大限度地提（tí）高光伏電池和（hé）顯示器製造的產（chǎn）量。
與（yǔ）高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應用具有出色的相（xiàng）容性
卓越的下遊清潔度
應用（yòng）
Wafergard SG 氣體過濾器應用
光伏工藝（yì）氣體
顯示製造工藝氣（qì）體
煤氣櫃
閥組箱
煤氣板
零（líng）件（jiàn）號
Wafergard SG 氣體過濾器（qì）部件號
零件號 產品類別 最大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/4" 壓縮（suō）密封（與 Swagelok 兼容） 115.5 毫米（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器（qì） 120 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 133.5 毫米（mǐ）（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 3/8" 壓縮密封（與（yǔ） Swagelok 兼容） 119.3 毫米（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈密封（fēng）（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體（tǐ）過濾器 500 升/分（fèn） 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺（luó）紋出口（kǒu） 141.2 毫米（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體（tǐ）過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（mǐ）（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣（qì）體過濾器 500 升/分 1/4" 壓縮密（mì）封（fēng）（與 Swagelok 兼容） 112.7 毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣（qì）體過濾器 1000 升/分 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 118.7 毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容（róng） VCR） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過（guò）濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾（lǜ）器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣（qì）體過濾器 60 升/分 1/4" 壓（yā）縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫（háo）米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok compatible) 119.3 mm (4.70")
Wafergard SG YY 係（xì）列氣體（tǐ）過濾（lǜ）器提（tí）供卓越的微粒過濾功能，可（kě）最大限度地提（tí）高光伏電池和顯示器製造（zào）的產量。
與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應用具有出色的相容性
卓越的（de）下遊清潔度（dù）
應用
Wafergard SG 氣體（tǐ）過濾器（qì）應用（yòng）
光伏工藝氣體
顯示製造工藝（yì）氣體
煤氣櫃
閥組箱
煤氣（qì）板
零件號
Wafergard SG 氣體過濾器部件號（hào）
零件號 產品類（lèi）別 最大流量（liàng） 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/4" 墊圈密封（fēng）（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣（qì）體過濾器 120 升/分（fèn） 1/4" 壓縮密封（與（yǔ） Swagelok 兼容） 115.5 毫米（mǐ）（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器（qì） 120 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 133.5 毫米（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣（qì）體過濾器 120 升/分 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容（róng）） 119.3 毫米（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容（róng））外螺紋入口（kǒu）/內螺紋出口 141.2 毫米（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣（qì）體過（guò）濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過（guò）濾（lǜ）器 1000 升/分（fèn） 1/2" 墊（diàn）圈密（mì）封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 壓（yā）縮密封（與 Swagelok 兼容） 112.7 毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 3/8" 壓縮（suō）密封（與 Swagelok 兼容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 壓（yā）縮密封（與 Swagelok 兼（jiān）容） 118.7 毫米（mǐ）（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼（jiān）容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過（guò）濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升（shēng）/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok compatible) 119.3 mm (4.70")
Wafergard SG YY 係列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾功能，可最大限度（dù）地提高光伏電（diàn）池和（hé）顯示器製造的（de）產量。
與高純度氣體、惰性氣體和（hé） CDA 應用具（jù）有（yǒu）出色的相容性
卓越的下遊清潔度
應用
Wafergard SG 氣體過（guò）濾器應（yīng）用
光伏工藝氣體
顯示製造工藝氣體
煤氣櫃
閥（fá）組箱
煤氣板
零（líng）件號
Wafergard SG 氣體（tǐ）過（guò）濾器部件號
零件號 產（chǎn）品（pǐn）類別 最（zuì）大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體（tǐ）過濾器 120 升（shēng）/分 1/4" 墊圈（quān）密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體（tǐ）過濾器 120 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 115.5 毫（háo）米（mǐ）（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈（quān）密封（兼（jiān）容 VCR） 133.5 毫米（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 3/8" 壓縮密封（fēng）（與 Swagelok 兼容） 119.3 毫米（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾（lǜ）器 500 升/分（fèn） 1/4" 墊圈（quān）密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺紋出（chū）口 141.2 毫米（mǐ）（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器（qì） 500 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 墊圈（quān）密封（兼容 VCR） 127 毫（háo）米（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 壓縮密封（與（yǔ） Swagelok 兼（jiān）容） 112.7 毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 117.9 毫米（mǐ）（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 118.7 毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升（shēng）/分 1/4" 墊圈密封（兼容（róng） VCR） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
entegris CTFG01TPE 濾芯
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分 1/4" 墊（diàn）圈（quān）密封（fēng）（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容（róng）） 73.7 毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok compatible) 119.3 mm (4.70")
美（měi）國ENTEGRIS應（yīng）特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨（huò）
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
為超純氣體係統過濾（lǜ）提供卓（zhuó）越的微（wēi）粒過濾，是高溫和動態壓力應用的理想選擇。
最先進的外殼組件通過最（zuì）小化焊接（jiē）區域來消除除氣
全金屬結（jié）構是高溫和動態壓（yā）力應用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的（de）配件選擇提供了最高的設計（jì）效率（lǜ）並最大限度地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體（tǐ）過濾器應用
超純氣體（tǐ）管線
高溫應用
新工廠建設
動（dòng）壓應用
惰性和（hé）活性氣（qì）體
產（chǎn）品規格
材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽（xiù）鋼（gāng）外殼
下遊清潔（jié）度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
.特（tè）種（zhǒng）氣體
特種氣（qì）體是指稀有氣體或超（chāo）高純度（99.995% 以上）的氣體。包（bāo）括分析、醫藥、電子及石油化工在內的許多行業都會受益於（yú）特種（zhǒng）氣體的（de）獨特性質，它有助於提高產量、優化（huà）性能以及降低成本。我們富有經驗的應用團隊遍布全（quán）球（qiú），可以根據（jù）對您的（de）行業和應用情況的了解，為（wéi）您提供特種氣體供應（yīng）解決方案，以滿足您的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種（zhǒng）緊湊型全金屬過濾器，可（kě）與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長（zhǎng）度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行（háng）業
半導體 平板顯示器 數（shù）據存儲 引領
過程
散（sàn）裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與（yǔ） VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口（kǒu） 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口（kǒu）/出（chū）口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護（hù） 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出（chū）口（kǒu），短（duǎn）型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾器
這（zhè）些在線 PTFE 氣體（tǐ）過濾器與高純度（dù）氣體兼容，並在 超純氣（qì）體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應用中表現出色
專（zhuān）為高流量和低增量壓力應用而設計
用於惰性和反應性氣體，包（bāo）括臭氧
為快速（sù）啟動（dòng）而預先調節（僅限銀（yín）色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器（qì）應用
兼容所有類（lèi）別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容（róng）
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水（shuǐ） PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（wù）（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測（cè）試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件（jiàn）
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作（zuò）溫度 120°C (248°F)
流量等（děng）級 參（cān）考性能數據
保修單 青（qīng）銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考（kǎo）最具穿（chuān）透性的顆（kē）粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接（jiē）頭尺寸（cùn）和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英（yīng）寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸（cùn））
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫（háo）米（mǐ）（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛（luò）克117.9 毫米（mǐ） (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛（luò）克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（mǐ）（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克（kè）117.9 毫（háo）米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世（shì）偉洛克118.7 毫米（4.67 英（yīng）寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（mǐ）（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英（yīng）寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過（guò）濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包（bāo）裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在（zài）線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於（yú）對齊
設計用於輕鬆插入（rù）標準氣體管線
非常適合高壓和高溫應用
保護（hù）關（guān）鍵部件免受顆粒物損壞（huài）
在世界一流的 ISO 認證（zhèng）設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用（yòng）於最高（gāo） 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用（yòng）於高壓和高溫（wēn）應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼（gāng）過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工（gōng）作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體（tǐ）]
零件號
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾器部件號
零件號 接頭尺（chǐ）寸（cùn）和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器（qì） 25.25 毫米（0.99 英（yīng）寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片過濾器（qì）
Gasketgard 在線墊圈（quān）過濾器（qì）是一（yī）種緊湊型全金屬過濾器，可與標（biāo）準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長（zhǎng）度
25 毫米（0.98 英（yīng）寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平（píng）板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過（guò）濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊（jǐn）湊型（xíng）全金屬（shǔ）過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和（hé） 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用（yòng）於輕鬆插入（rù）標準氣體管線
非（fēi）常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件免受顆（kē）粒物損壞（huài）
在世界一流的 ISO 認證設施（shī）中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏（mǐn）感氣體成（chéng）分
適用於（yú）高壓和高（gāo）溫應用
產（chǎn）品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的（de）燒結 316L 不鏽鋼過濾介質（zhì）
保持器 316 不鏽鋼
顆粒（lì）保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑（jìng）的顆（kē）粒超（chāo）過 95%
運行條件： 最大壓（yā）差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆（zhào）帕 (29 巴, 421 psid)
最高（gāo）工作（zuò）溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號（hào）
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（mǐ）（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫（háo）米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1SS23.00過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NS1RR2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，CR05M0203，
CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
，、
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，CTFV01PT1，CTFV01PTF，CTFV01TC1，CTFV01TK1，CTFV01TPE，CTFV02P01，CTFV02TPE，CTFV03TPE，CTFV0SP01，CTFV0SPSF，CTFV0SPTF，CTFV0STPE，CTFZ01P01，CTFZ01PT1，CTFZ01PTF，CTFZ01TC1，CTFZ01TK1，CTFZ01TPE，CTFZ02P01，CTFZ02TPE，CTFZ03TPE，CTFZ0SP01，CTFZ0SPTF，CTFZ0STPE，CTPR01TP1，EGDVHPX0F，EGDVHPX0S，EGDVHPX2F，EGDVHPX2S，EGDVHPXTH，EGDZHPX0F，EGDZHPX0S，EGDZHPX2F，EGDZHPX2S，EGDZHPXTH，EPFVHPSST，EPFVHPXTW，GDCG01P01，GDCG01TK1，GDCG01TPE，GDCG02P01，GDCG0SP01，GDCG0SPC1，GDCG0SPK1，GDCV01P01，GDCV01TK1，GDCV01TPE，GDCV02P01，GDCV0SP01，GDCV0SPC1，GDCV0SPK1，GDCZ01P01，GDCZ01TK1，GDCZ01TPE，GDCZ02P01，GDCZ0SP01，GDCZ0SPC1，GDCZ0SPK1，GDDGATSST，GDDGATSTH，GDDGATSTT，GDDGATX0F，GDDGATX1F，GDDGATX2F，GDDGATX4F，GDDGATXST，GDDGATXTH，GDDGATXTT，GDDGHPX0F，GDDGHPX0S，GDDGHPX2F，GDDGHPX2S，GDDVATSST，GDDVATSTH，GDDVATSTT，GDDVATX0F，GDDVATX1F，GDDVATX2F，GDDVATX4F，GDDVATXST，GDDVATXTH，GDDVATXTT，GDDVDEV0F，GDDVDEV1F，GDDVD GDDVDEV4F，GDDVHPX0F，GDDVHPX0S，GDDVHPX2F，GDDVHPX2S，GDDZATSST，GDDZATSTH，GDDZATSTT，GDDZATX0F，GDDZATX1F，GDDZATX2F，GDDZATX4F，GDDZATXST，GDDZATXTH，GDDZATXTT，GDDZDEV0F，GDDZDEV1F，GDDZ GDDZDEV4F，GDDZHPX0F，GDDZHPX1S，GDDZHPX2F，GDDZHPX2S，GHPG01P01，GHPG01PLT，GHPG02P01，GHPG02PLT，GHPG0SP01，GHPV01P01，GHPV01PLT，GHPV02P01，GHPV02PLT，GHPV0SP01，GHPZ01P01，GHPZ01PLT，GHPZ02P01，GHPZ02PLT，GHPZ0SP01，PFFG01P4F，PFFG01P4P，PFFG01P6P，PFFG03D4S，PFFV01P4F，PFFV01P4P，PFFV01P6P，PFFV03D4S，PFFZ01P4F，PFFZ01P4P，PFFZ01P6P，PFFZ03D4S，QCCGAT101，QCCGAT1C1，QCCGAT1K1，QCCGATX01，QCCGPF401，QCCGPF801，QCCGSTX01，QCCVAT101，QCCVAT1C1，QCCVAT1K1，QCCVATX01，QCCVATXC1，QCCVATXK1，QCCVPF401，QCCVPF4C1，QCCVPF4K1，QCCVPF801，QCCVPF8C1，QCCVPF8K1，QCCVSTX01，QCCVSTXC1，QCCVSTXK1，QCCZAT101，QCCZAT1K1，QCCZATX01，QCCZATXC1，QCCZATXK1，QCCZPF401，QCCZPF801，QCCZSTX01，QCDG15P3F，QCDG15P8P，QCDG30P2P，QCDG30P3F，QCDG30P8P，QCDGATX0F，QCDGATX1F，QCDGATX2F，QCDGATXLH，QCDGATXTF，QCDGATXTH，QCDGATXTW，QCDGPF40F，QCDGPF41F，QCDGPF42F，QCDGPF80F，QCDGPF81F，QCDGPF82F，QCDGPF8LH，QCDGPF8TH，QCDGSTX0F，QCDGSTX1F，QCDGSTX2F，QCDGSTXLH，QCDGSTXTF，QCDGSTXTH，QCDGSTXTW，QCDV15P3F，QCDV15P8P，QCDV30P2P，QCDV30P3F，QCDV30P8P，QCDVATX0F，QCDVATX1F，QCDVATX2F，QCDVATXLH，QCDVATXTF，QCDVATXTH，QCDVATXTW，QCDVPF40F，QCDVPF41F，QCDVPF42F，QCDVPF80F，QCDVPF81F，QCDVPF82F，QCDVPF8LH，QCDVPF8TH，QCDVSTX0F，QCDVSTX1F，QCDVSTX2F，QCDVSTXLH，QCDVSTXTF，QCDVSTXTH，QCDVSTXTW，QCDZ15P3F，QCDZ15P8P，QCDZ30P2P，QCDZ30P3F，QCDZ30P8P，QCDZATX0F，QCDZATX1F，QCDZATX2F，QCDZATXLH，QCDZATXTF，QCDZATXTH，QCDZATXTW，QCDZPF40F，QCDZPF41F，QCDZPF42F，QCDZPF80F，QCDZPF81F，QCDZPF82F，QCDZPF8LH，QCDZPF8TH，QCDZSTX0F，QCDZSTX1F，QCDZSTX2F，QCDZSTXLH，QCDZSTXTH，QCDZSTXTW，
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ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
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Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGFGMBRR2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
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