美國entegris英特格，過濾器WG2FT1RR2
美國entegris英特格，過濾（lǜ）器WG2FT1RR2
美國entegris英特格，過濾器WG2FT1RR2
美國entegris英特格，過濾器WG2FT1RR2
美國entegris英特格，過濾器WG2FT1RR2
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美國（guó）entegris英特格，過濾器WG2FT1RR2
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美（měi）國ENTEGRIS應特（tè）格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在（zài）線氣體過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美（měi）國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格（gé），過濾器WGPM0GGG2，現貨
為超（chāo）純氣體係（xì）統過濾提供（gòng）卓越的微粒過（guò）濾，是高溫和動態壓力應用的理想選擇。
最先進的外殼（ké）組件（jiàn）通過最小化焊接區域來消除除氣
全金屬結構是高溫和動態壓力應用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件（jiàn）選擇提供了最高的設（shè）計效（xiào）率並最大（dà）限度地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線（xiàn）氣體過濾器應用
超純氣體管（guǎn）線
高溫應（yīng）用
新工廠建設
動壓應用
惰性和活性氣體
產品（pǐn）規格
材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔（jié）度 粒子 <0.03 顆粒（lì）/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發（fā）物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件（jiàn）號（hào）
Wafergard III NF Micro XL 在（zài）線氣體過濾（lǜ）器部件號
零件號 接頭尺寸（cùn）和類型 長度
.特種氣體
特種氣體（tǐ）是指稀有氣（qì）體或超高純度（99.995% 以（yǐ）上）的（de）氣體。包括分析、醫藥、電子及石油化工在（zài）內的許多行業都會受益於特種氣體的獨特性質，它有助於提高（gāo）產量、優化性能以及降低成本。我們富有經驗的應用團隊遍布全球，可以根據對您的行業和應用情況的了解（jiě），為您提供特種（zhǒng）氣體供應解決（jué）方案，以滿足您的獨特（tè）需求。
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型（xíng）全金屬過（guò）濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英（yīng）寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（mǐ）（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容（róng））外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密（mì）封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入（rù）口/出口，短（duǎn）型 50.8 毫米（mǐ）（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過（guò）濾（lǜ）器與高純度氣（qì）體兼容，並在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒（lì）過濾。
PTFE 濾芯在超純應用中表現（xiàn）出色
專為高流（liú）量和低增量壓力應用而設計
用於惰性（xìng）和反應性（xìng）氣體，包括臭氧
為快速啟動而預先調（diào）節（jiē）（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品規格
材料 濾芯 由模（mó）壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住（zhù）房 電拋（pāo）光低（dī）硫 316L 不鏽（xiù）鋼（gāng）外殼
下遊（yóu）清潔度 粒子 小於 0.03 個顆（kē）粒/升（shēng） (<1 個顆粒（lì）/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測（cè）下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青（qīng）銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄（xiè）漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大（dà）入口（kǒu）壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青（qīng）銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容（róng）接頭（tóu）：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼（jiān）容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向（xiàng）壓（yā）差 2.5 巴 (36 psid)
最高（gāo）工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考（kǎo）性能數據
保修單 青銅（tóng） 1年
銀 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去（qù）除所有（yǒu）顆粒（參（cān）考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米（mǐ） (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世（shì）偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米（mǐ） (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世（shì）偉洛克（kè）118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（mǐ）（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器（qì）
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無（wú）包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線墊圈（quān）過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器（qì），可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計（jì）用於輕鬆插入標準氣體管線
非常適合高壓和高（gāo）溫應用
保護關鍵部件免受顆（kē）粒物（wù）損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製（zhì）造
應用
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾（lǜ）器應用
用（yòng）於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感（gǎn）氣體成分
適用於高壓和（hé）高溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的（de）顆粒（lì）超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工（gōng）作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型（xíng）帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片（piàn）過濾器（qì）
Gasketgard 在線墊圈過濾（lǜ）器是一種緊湊型全金屬過濾（lǜ）器，可與標準（zhǔn） 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長（zhǎng）度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（mǐ）（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半（bàn）導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程（chéng）
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹（gàn）蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在（zài）線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊（diàn）圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可（kě）代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計（jì）用於輕鬆插入標準氣體管線
非常適合（hé）高壓和高溫應用
保護關（guān）鍵部件免受顆粒（lì）物損（sǔn）壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊（diàn）片過（guò）濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏（mǐn）感氣體成分
適用於高壓（yā）和高溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結（jié） 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行（háng）條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆（zhào）帕 (29 巴, 421 psid)
最（zuì）高工（gōng）作溫度 400°C (752°F) [惰（duò）性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部（bù）件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持（chí）器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包（bāo）裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過（guò）濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾（lǜ）器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，CR05M0203，
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