美國（guó）英特格過濾器WG2FT1SS2期貨
美國英特格過濾器WG2FT1SS2期貨
美國英特格過濾器WG2FT1SS2期貨
Wafergard
II F 微型在線氣體過濾器（qì）
用於超純氣體係統過濾的卓越微粒過濾。Wafergard II F 微型在線氣體（tǐ）過濾（lǜ）器推薦用於惰性和反應性氣體，與所有類別的半導體工藝氣體具有出（chū）色的兼容性。
合（hé）身尺寸
1/4"
配件類（lèi）型
密封（fēng）墊片 對焊管
長度
84.1 毫米（3.31 英寸） 73.7 毫米（2.90 英寸）
最大工作壓力
207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°)
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器
這些氣體過濾器推薦用（yòng）於惰性氣體和反應性氣體，與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的（de）兼容性，並且易於安裝在狹窄的（de）氣體麵（miàn）板和機櫃中。
PTFE 膜提供高（gāo）效過（guò）濾
低壓降降低（dī）了（le）在較低蒸氣壓氣（qì）體（tǐ）中冷凝的風險
與所有類別的半導體工藝氣體（tǐ）具有出色的兼（jiān）容性（xìng）
用於惰性和反應性氣體（tǐ），包括臭（chòu）氧
應用
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器應（yīng）用
生命科學應用
臭氧應用（氣體）
氣櫃和麵板
超純氣（qì）體係（xì）統
內部流程工（gōng）具
產品規格
材料
濾芯
由模壓 PFA 結構支撐的疏水（shuǐ） PTFE 膜
住房（fáng） 電拋（pāo）光 VAR 316L 不鏽鋼
下（xià）遊清潔度 小（xiǎo）於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆（kē）粒/ft 3 ) 大於 0.01 µm
揮發物<10 ppb 水分
移除等級 ≥0.0015 µm
表麵處理內部 ≤7 µin Ra
氦（hài）泄漏等級 合格的 2 × 10 -10毫升/秒
經過測試 1 × 10 -9毫升/秒
運行（háng）條件 最大入口壓力 207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最（zuì）大（dà）正向壓差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向（xiàng）壓差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作（zuò）溫度 120°C (248°F)
顆粒保留
大（dà）於 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去（qù）除（chú）所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸（cùn））
流量等級 參考性能數據
零件號
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器部（bù）件號
零件號（hào） 接頭尺寸和類型 長度 應用
WG2FT1BW2 1/4" 對（duì）焊管 89.9 毫米（3.54 英寸（cùn）） 半（bàn）導體
WG2FT1RF2 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口 88.9 毫（háo）米（3.50 英寸） 半導體（tǐ）
WG2FT1RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出（chū）口 84.1 毫米（3.31 英寸） 半導（dǎo）體
WG2FT1RR2L 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 生命科學
WG2FT1SS2 1/4" 壓（yā）縮密封（與世偉洛克接頭兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸） 半導體
QCCVATM01K
QCCVATX01
QCCZAT101
QCCZATX01
QCDVATX2F
QCDYATM0F
QCDZATXLH
QCPV15P3F
QCPV15P8P
QCVZATMTS
QCVZATMTH
QCVZATMTS0
QCVZATETH
QCVZATM4H
QCVZATM3S0
QCVZATM4S
QCVZATETS
QCVZATMT3
QCVZATX4S
QCVZATM3S
QCVZATX3S
QCVZATM4S0
QCVZATETW
QCVZATMLH
QCVZATMTW
QCVZATET3
QCVZATELH
QCVZATE4S
QCVZATE4H
QCVZATE3S
QCVZACMTW
QCVZACMTS
QCVZACM4S
QCVZACM3S
QCVZACETS
QCVZACE4S
QCVZACE3S
QCVYATMTW
QCVYATMTS0
QCVYATMTS
QCVYATMTH
QCVYATMT3
QCVYATMLH
QCVYATM4S0
QCVYATM4S
QCVYATM4H
QCVYATM3S0
QCVYATM3S
QCVYATETW
QCVYATETS
QCVYATETH
QCVYATET3
QCVYATELH
QCVYATE4S
QCVYATE4H
QCVYATE3S
QCVYACMTW
QCVYACMTS
QCVYACMTH
QCVYACM4S
QCVYACM3S
QCVYACETS
QCVYACETH
QCVYACE4S
QCVYACE4H
QCVYACE3S
QCVVATX4S
QCVVATX3S
QCVVATMTW
QCVVATMTS0
QCVVATMTS
QCVVATMTH
QCVVATMT3
QCVVATMLH
QCVVATM4S0
QCVVATM4S
QCVVATM4H
QCVVATM3S0
QCVVATM3S
QCVVATETW
QCVVATETS
QCVVATETH
QCVVATET3
QCVVATELH
QCVVATE4S
QCVVATE4H
QCVVATE3S
QCVVACM4S
QCVVACM3S
QCV0000TS
QCV0000TH
QCV00004S
QCV00003S
QCPZ30PWW
QCPZ30P8S
QCPZ30P8P
QCPZ30P3S
QCPZ30P3F
QCPZ30P2S
QCPZ30P2P
QCPZ30C3F
QCPZ30C2S
QCPZ30C2P
QCPZ15P8S
QCPZ15P8P
QCPZ15P3S
QCPZ15P3F
QCPZ15C8S
QCPZ15C3F
QCPY30X3S
QCPY30MWW
QCPY30M8S
QCPY30M8P
QCPY30M3S
QCPY30M3F
QCPY30M2S
QCPY30M2P
QCPY30C3S
QCPY30C3F
QCPY30C2S
QCPY30C2P
QCPY15M8S
QCPY15M8P
QCPY15M3S
QCPY15M3F
QCPY15C8S
QCPY15C3F
QCPV30PWW
QCPV30P8S
QCPV30P8P
QCPV30P3S
QCPV30P3F
QCPV30P2S
美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器
美國（guó）ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨（huò）
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨（huò）
美（měi）國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現（xiàn）貨
為超純氣體係統過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和（hé）動態壓力應用的理想選擇。
最（zuì）先進的外殼（ké）組件通過最小化焊接區域（yù）來消除除氣
全金屬結構是高溫和動態壓（yā）力應（yīng）用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件（jiàn）選擇提供了最高的設計效率並最大限（xiàn）度地降低了工程成本
應（yīng）用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用
超純（chún）氣體管線
高溫應（yīng）用
新工廠（chǎng）建設
動壓應用
惰性和活性氣體
產品規格（gé）
材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒（lì）/升（<1 顆（kē）粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過（guò）濾（lǜ）器部件（jiàn）號
零件號 接頭尺寸和類（lèi）型 長（zhǎng）度
.特種氣體
特種氣體是指稀（xī）有氣體或超高純度（dù）（99.995% 以上）的氣體。包（bāo）括分析、醫藥、電子（zǐ）及石油化工在內的許多行業都會受益於特種氣（qì）體的獨特性質，它有助於提高產量、優化性能以及降低成本。我（wǒ）們富有經驗的應（yīng）用團隊遍布（bù）全球，可以根據對您的行業和應用情況的了（le）解，為您提供特種氣（qì）體供應解決方（fāng）案，以滿足您的獨特（tè）需求。
Gasketgard 在線墊片（piàn）過濾器
Gasketgard 在（zài）線墊圈過濾器是一種緊（jǐn）湊型全（quán）金屬過濾器，可與標（biāo）準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫（háo）米（0.99 英寸（cùn）） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據（jù）存儲 引領
過程
散裝氣體輸（shū）送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密（mì）封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口（kǒu） 84.1 毫（háo）米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈（quān）密封（fēng）（與 VCR 接頭兼（jiān）容）外螺紋入（rù）口（kǒu）/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（quān）（與 VCR 接頭兼容）外螺（luó）紋入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾（lǜ）器與高純度（dù）氣體兼容，並在 超純氣體應用（yòng） 以及 一般氮氣和 CDA 應用（yòng）中提供卓越的顆（kē）粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應（yīng）用中表現出色
專為高流量和低增（zēng）量壓（yā）力應用而設計
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
為（wéi）快速啟動而預先調節（僅限銀色（sè））
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體（tǐ）過濾器應用
兼容所有類（lèi）別的半導體工藝氣體
與（yǔ）一（yī）般氮氣和（hé） CDA 應用兼容
產品規格
材料 濾芯 由模（mó）壓 PFA 結（jié）構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光（guāng）低硫 316L 不（bú）鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大（dà）於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過（guò）測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口（kǒu）壓力
Silver 和（hé） Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼（jiān）容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和（hé） 1?2" VCR 兼容接（jiē）頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最（zuì）大反向壓差 2.5 巴（bā） (36 psid)
最高工作（zuò）溫度 120°C (248°F)
流（liú）量等級 參（cān）考性能數（shù）據（jù）
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除（chú）所有顆粒（參考最具穿透（tòu）性的顆粒尺（chǐ）寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體（tǐ）過濾（lǜ）器部件號
零（líng）件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛（luò）克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉（wěi）洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（mǐ）（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過（guò）濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在（zài）線（xiàn）墊圈過濾（lǜ）器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的（de） 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插入（rù）標準氣體管線
非常適合高壓和高（gāo）溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞（huài）
在（zài）世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓和高溫應（yīng）用
產品規格（gé）
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結（jié） 316L 不鏽（xiù）鋼過濾介質（zhì）
保持器 316 不鏽鋼（gāng）
顆粒保（bǎo）留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件（jiàn）： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰（duò）性（xìng）氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號（hào）
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器
Gasketgard 在（zài）線墊圈過濾器是一（yī）種緊湊型全金屬（shǔ）過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合（hé）使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半（bàn）導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體（tǐ）輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在（zài）線墊片過濾（lǜ）器
Gasketgard 在線墊圈過（guò）濾器是一（yī）種緊（jǐn）湊型全金屬過濾器，可代替標準（zhǔn）的 1/4"、3/8" 和（hé） 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計（jì）用於輕鬆插入標準氣體管線
非常適合高壓（yā）和高溫應用
保護關鍵部件（jiàn）免受顆粒物損壞
在世界（jiè）一流的 ISO 認證（zhèng）設（shè）施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過（guò）濾器應用
用於最高（gāo） 400°C (752°F) 的應用
用於保（bǎo）護敏感氣體成分
適用（yòng）於高（gāo）壓和高溫應用
產品規格（gé）
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒（shāo）結 316L 不鏽鋼過濾介質（zhì）
保持器（qì） 316 不鏽鋼（gāng）
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直（zhí）徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最（zuì）高工作溫度（dù） 400°C (752°F) [惰性（xìng）氣體]
零（líng）件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部（bù）件號
零件號 接（jiē）頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸（cùn））
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保（bǎo）持（chí）器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸（cùn））
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器