美國ENTEGRIS應特格過濾器，WGMXLBRR4，現貨供應
美國ENTEGRIS應特格過濾器，WGMXLBRR4，現貨供應
美國ENTEGRIS應特格過濾器，WGMXLBRR4，現貨供應
美國（guó）ENTEGRIS應特格過濾器，WGMXLBRR4，現貨供應
美國ENTEGRIS應特格過濾器，WGMXLBRR4
美國ENTEGRIS應特格過濾器，WGMXLBRR4
美國ENTEGRIS應特格過濾器，WGMXLBRR4
PART NUMBER FITTING SIZE & TYPE LENGTH
WGMXLBRR4 1/2" gasket seal (VCR
compatible),
male inlet/outlet
127.0 mm (5.0")
WGMXLBSS4 1/2" compression seal (Swagelok
compatible), male inlet/outlet
118.7 mm (4.67")
WGMXLPRR6 3/4" gasket seal (compatible with
VCR fitting), male inlet/outlet
158.8 mm (6.25")
SPECIFICATIONS
Membrane Hydrophobic PTFE membrane supported by
molded PFA structures
Housing 316L stainless steel
Materials
O-ring Encapsulated fluoroelastomer (E-FKM)
Surface finish interior ≤25 µin Ra (RR4, SS4), ≤7 µin Ra (RR6)
Removal rating ≥99.9999999% removal of ≥0.0015 µm particles in gas
Downstream cleanliness <0.03 particlester (<1 particle/ft3) >0.01 µm
Maximum inlet pressure 37 bar (538 psig)
Maximum forward differential
pressure
3.9 bar (57 psig)
Maximum reverse differential
pressure
2.5 bar (36 psid)/RR4, SS4 0.5 bar (7 psid)/RR6
Maximum operating
conditions
Maximum operating
temperature
120°C (248°F)
Helium leak rating 1 × 10-10 Pa.m3c
Warranty 1 year
美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
為（wéi）超純氣體係統過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫（wēn）和動態壓力（lì）應用的理（lǐ）想選擇。
最先進的外殼組件通過最小化焊接區域來消除除氣
全金屬結構是高（gāo）溫和動態壓力應用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最（zuì）高的設計效率並最大限度地（dì）降（jiàng）低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫（wēn）應用
新（xīn）工廠建設
動（dòng）壓應用
惰性和活性氣體
產品規格
材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器
住房（fáng） 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度（dù） 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物（wù） Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣（qì）體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸（cùn）和類型 長度
.特種氣體
特種氣體（tǐ）是指稀（xī）有氣體或超高（gāo）純度（99.995% 以上）的氣體。包（bāo）括分析、醫藥、電子及石（shí）油化工（gōng）在內的許多行（háng）業都會受益於特種氣體的獨（dú）特（tè）性質，它有助於提高產量、優化性能以（yǐ）及降低成本。我們富有經驗的（de）應用團隊遍布全球，可以（yǐ）根據對您的行業和應用（yòng）情況的了解，為您提供特種氣體供應（yīng）解決方案，以滿足您的（de）獨特需求。
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金（jīn）屬過（guò）濾器，可（kě）與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英（yīng）寸）
行業
半導體 平板顯（xiǎn）示器 數據存儲 引領（lǐng）
過程
散裝氣體輸送 薄（báo）膜 沉（chén）積 幹蝕刻 離子注（zhù）入（rù） 光刻
Gasketgard 在線墊片（piàn）過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容（róng））外螺紋（wén）入口（kǒu）/出口，接頭用塑料蓋（gài）代替（tì）金屬蓋（gài）保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線（xiàn） PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，並在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯（xīn）在超純應用中表現出（chū）色
專為（wéi）高流量和低增量（liàng）壓力應用而設計
用於惰性和反應（yīng）性氣體，包（bāo）括臭氧
為快速啟動而預先調節（僅（jǐn）限（xiàn）銀（yín）色）
應用
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應（yīng）用兼容
產品規格
材料（liào） 濾（lǜ）芯 由模壓 PFA 結構（gòu）支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子（zǐ） 小於 0.03 個顆粒（lì）/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除（chú）等級 ≥0.0015 微米
表麵處（chù）理內部（bù） WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試（shì） 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口（kǒu）壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容（róng）接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和（hé） 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大（dà）正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最（zuì）高工作溫度 120°C (248°F)
流（liú）量等級 參考性能數（shù）據
保修單 青銅 1年
銀（yín） 3年
顆粒保留 大（dà）於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆（kē）粒（參考最具穿（chuān）透性的顆（kē）粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線（xiàn） PTFE 氣（qì）體過濾器部件號
零件號 接頭尺（chǐ）寸和類型（xíng） 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（mǐ）（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉（wěi）洛克117.9 毫米（mǐ） (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克（kè）112.7 毫（háo）米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克（kè）117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊（hàn）管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（mǐ）（5.25 英（yīng）寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全（quán）金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器（qì）便（biàn）於對齊
設計用於輕鬆插入（rù）標準氣體管線
非常適合高（gāo）壓和（hé）高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一（yī）流的 ISO 認證設施（shī）中製造
應（yīng）用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用（yòng）於保護敏（mǐn）感氣體（tǐ）成分
適用於高壓和高溫應用
產品規格（gé）
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊（diàn）片上的燒結 316L 不（bú）鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於（yú） 0.3 μm 直（zhí）徑的顆粒超過 95%
運行條件（jiàn）： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶（dài）保持器 25.25 毫米（0.99 英（yīng）寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾（lǜ）器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與（yǔ）標準（zhǔn） 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過（guò）程
散裝氣體（tǐ）輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器（qì）
Gasketgard 在線墊圈（quān）過濾器是一（yī）種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持（chí）器便於對齊
設計用於輕鬆插入標準氣體管線
非常適合高壓（yā）和高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物（wù）損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用（yòng）
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓和高溫應用（yòng）
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上（shàng）的燒結 316L 不鏽鋼（gāng）過（guò）濾介質
保（bǎo）持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超過（guò） 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸（cùn））
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過（guò）濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器（qì）
EntegrisWG2FT1SS2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，CR05M0203，
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