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美國（guó）ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器
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為超純氣體係統過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動態壓（yā）力應用的理想（xiǎng）選擇。
最先進（jìn）的外（wài）殼組（zǔ）件通（tōng）過最小化焊接區域來（lái）消除除氣（qì）
全金屬結構是高溫和動態壓力應用的理想選（xuǎn）擇
緊湊的尺（chǐ）寸和靈活的配（pèi）件選擇提供了最高的（de）設計效率並最（zuì）大（dà）限度地降低了工程成（chéng）本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫應用
新工廠建設
動壓應用
惰性和活性氣（qì）體
產品規格
材料 濾芯（xīn） 燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外（wài）殼
下遊清（qīng）潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆（kē）粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線（xiàn）氣體過濾（lǜ）器部件號（hào）
零件號 接頭尺寸和類型 長度
.特種氣體
特種氣體（tǐ）是指稀有（yǒu）氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫藥、電子及（jí）石油化（huà）工在（zài）內（nèi）的許多行業都會受益於特（tè）種氣體的獨特性質，它有助於提高（gāo）產量、優化性能以（yǐ）及降低成本。我們富有經驗的應用團隊遍布全球，可以根（gēn）據對您的（de）行業和（hé）應用情況的了解，為您提供特種氣體供應解決方案，以滿足您的（de）獨（dú）特需求。
Gasketgard 在（zài）線（xiàn）墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊（diàn）圈（quān）配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫（háo）米（mǐ）（1.16 英寸）
行業（yè）
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體（tǐ）輸送（sòng） 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈（quān）密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金（jīn）屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾（lǜ）器與高純度氣體兼容（róng），並在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提（tí）供卓越（yuè）的顆粒（lì）過濾。
PTFE 濾芯在超（chāo）純應用中（zhōng）表現出色
專為高流量和低增量（liàng）壓力應用而設計
用（yòng）於惰（duò）性和反應（yīng）性氣體，包括臭氧
為快速啟動而預先（xiān）調節（僅限銀色（sè））
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容（róng）所有類別的半導體工（gōng）藝（yì）氣體
與（yǔ）一般氮（dàn）氣和 CDA 應用兼容
產品規格
材料 濾芯 由（yóu）模（mó）壓 PFA 結構支撐（chēng）的疏水 PTFE 膜
住（zhù）房 電拋（pāo）光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒（lì）子 小於 0.03 個（gè）顆粒/升 (<1 個（gè）顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限為（wéi） 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微（wēi）米
表麵處理內部 WGMX（青（qīng）銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒（miǎo）
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭（tóu）：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反（fǎn）向（xiàng）壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度（dù） 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青（qīng）銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線（xiàn） PTFE 氣體過濾（lǜ）器部件（jiàn）號
零件號 接頭（tóu）尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出（chū）口 141.2 毫米（mǐ）（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛（luò）克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸（cùn））
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫（háo）米（5.25 英（yīng）寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾（lǜ）器是一種緊湊型全金屬過濾器（qì），可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊（diàn）圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插入標準氣體管線
非常（cháng）適（shì）合高（gāo）壓和高溫應用
保護關鍵部件（jiàn）免受顆粒物損壞
在世界一流的（de） ISO 認證（zhèng）設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用（yòng）
用於（yú）最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分（fèn）
適用於高壓和高溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片（piàn）上的燒結 316L 不鏽（xiù）鋼過濾介質
保持器 316 不鏽（xiù）鋼
顆（kē）粒保留： 去除所有大（dà）於 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運行（háng）條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫（wēn）度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型（xíng） 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型（xíng） 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶（dài）保持器 25.25 毫米（mǐ）（0.99 英（yīng）寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型（xíng）帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊（jǐn）湊型全金屬過濾（lǜ）器，可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈（quān）配合（hé）使用。
合身尺（chǐ）寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度（dù）
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（mǐ）（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存（cún）儲 引領
過程
散裝氣體輸（shū）送 薄膜（mó） 沉積（jī） 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾（lǜ）器
Gasketgard 在（zài）線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於（yú）輕鬆插入標準氣體管線（xiàn）
非常適合高壓和高溫應用
保護關（guān）鍵部件免受顆粒物（wù）損壞（huài）
在世界一（yī）流（liú）的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在（zài）線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用（yòng）
用於保護敏感氣體成分
適用於高（gāo）壓和高（gāo）溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不（bú）鏽鋼（gāng）
顆粒（lì）保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的（de）顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性（xìng）氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器（qì）部件（jiàn）號
零件號 接（jiē）頭尺寸和類型 長（zhǎng）度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持（chí）器（qì） 25.25 毫米（0.99 英寸（cùn））
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶（dài）保持器 29.50 毫米（1.16 英（yīng）寸（cùn））
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1SS23.00過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過（guò）濾器（qì）
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包（bāo）裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，CR05M0203，
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