美國ENTEGRIS應特格,WG3NS8RR2現貨,Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器
美國ENTEGRIS英特格,過(guò)濾(lǜ)器WGPM0GGG2,現貨
美國ENTEGRIS英特格,過濾器WGPM0GGG2,現貨
美國ENTEGRIS英特格,過濾器WGPM0GGG2,現(xiàn)貨
為超(chāo)純氣體係統過濾提供卓(zhuó)越(yuè)的微粒過濾,是高溫和動態壓力應用(yòng)的理想(xiǎng)選擇。
最先進的外殼組件通過最小化焊接區(qū)域來消除除氣(qì)
全金屬(shǔ)結(jié)構是高溫和動態壓力應用的(de)理想選擇
緊(jǐn)湊的尺寸和靈活的配件選擇提供(gòng)了最高的(de)設計效率並最大限度地(dì)降(jiàng)低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫應用
新工廠建設
動壓(yā)應用
惰性和活性氣體
產品規格
材料 濾芯 燒結(jié)鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽(xiù)鋼外殼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒(lì)/升(<1 顆粒/ft 3) >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣(qì)體過濾器(qì)部件號
零件號 接頭尺寸和(hé)類型 長度
.特種氣(qì)體
特種氣體是指稀有氣體或(huò)超高純度(99.995% 以上)的氣體。包括分(fèn)析、醫藥、電子及石油化工在內的許多行業都會受益於特種氣體的獨特性質,它有助(zhù)於提高產量、優(yōu)化性能以及降低(dī)成本。我們富(fù)有(yǒu)經驗的應用(yòng)團隊遍布全球,可以根(gēn)據(jù)對您的行業和應用情(qíng)況的了解,為您提供(gòng)特種氣體供應解決(jué)方案,以滿足(zú)您的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種(zhǒng)緊湊(còu)型(xíng)全(quán)金屬過(guò)濾(lǜ)器(qì),可與(yǔ)標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米(0.98 英寸) 25.25 毫米(0.99 英寸) 29.5 毫(háo)米(1.16 英寸)
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引(yǐn)領(lǐng)
過程(chéng)
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在(zài)線墊片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件(與(yǔ) VCR 接頭(tóu)兼容)外螺紋入口/出口 84.1 毫米(3.31")
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封(與(yǔ) VCR 接頭兼容)外螺紋入口/出口(kǒu),接頭用塑料蓋代替金屬(shǔ)蓋保護 84.1 毫米(3.31")
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈(與 VCR 接(jiē)頭兼容)外螺(luó)紋入口/出口,短型 50.8 毫米(2.00")
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高(gāo)純度氣體(tǐ)兼容,並在 超純氣體應用 以及 一般氮(dàn)氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾(lǜ)芯在(zài)超純(chún)應用中表現出色
專為高(gāo)流量和低增量壓力應用而設計(jì)
用於(yú)惰性(xìng)和(hé)反(fǎn)應性氣(qì)體,包括臭氧
為快速啟動而預先調節(jiē)(僅限銀色)
應用
Wafergard MAX 在線(xiàn) PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工(gōng)藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品(pǐn)規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光(guāng)低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒(lì)子 小於 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發(fā)物(wù)(銀(yín)) <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC(檢測下限為 5 ppb)
移(yí)除等級 ≥0.0015 微米
表麵處(chù)理內部 WGMX(青銅)MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX(銀/青銅加)MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過(guò)測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大(dà)入口(kǒu)壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭:7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭:6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭(tóu):6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最(zuì)大正向(xiàng)壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴(bā) (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保(bǎo)留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒(參(cān)考最具穿透性的(de)顆粒尺寸)
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公(gōng) VCR 入口,1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米(5.6 英寸)
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫(háo)米(5.00 英寸)
WGMXMBSS2 1/4" 世偉(wěi)洛克112.7 毫米(4.44 英寸)
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫(háo)米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉(wěi)洛克118.7 毫米(4.67 英寸)
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米(mǐ)(5.00 英寸)
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米(4.44 英寸)
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛(luò)克(kè)118.7 毫米(4.67 英寸)
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米(5.25 英寸)
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管(guǎn) 133.4 毫米(5.25 英寸)
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米(5.25 英寸)
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米(5.00 英寸)
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2(無包裝(zhuāng))
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾(lǜ)器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾(lǜ)器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器(qì)
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾(lǜ)器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器(qì)
Gasketgard 在線墊圈過濾(lǜ)器是一種(zhǒng)緊湊型全金屬過濾器,可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於(yú)對齊
設計(jì)用於(yú)輕鬆插入(rù)標(biāo)準氣體管(guǎn)線
非(fēi)常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件免受顆(kē)粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中(zhōng)製(zhì)造(zào)
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器(qì)應(yīng)用
用於最(zuì)高 400°C (752°F) 的(de)應用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓和高溫應用
產品規(guī)格
材料: 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器(qì) 316 不鏽鋼
顆粒保留: 去除所有大(dà)於 0.3 μm 直(zhí)徑的顆粒超過 95%
運行條件(jiàn): 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕(pà) (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體(tǐ)]
零件號
Gasketgard 在線(xiàn)墊片(piàn)過濾器部件號
零(líng)件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米(0.98 英寸)
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫(háo)米(0.99 英寸)
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫(háo)米(mǐ)(1.16 英寸)
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器,可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配(pèi)合使用。
合(hé)身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫(háo)米(0.98 英寸) 25.25 毫米(0.99 英寸) 29.5 毫米(1.16 英寸)
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉(chén)積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾(lǜ)器
Gasketgard 在線墊圈(quān)過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器,可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊(diàn)圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆(sōng)插入標準氣體管線
非常適合高壓和高(gāo)溫(wēn)應(yīng)用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流(liú)的 ISO 認證設施中製造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適(shì)用於高壓和高溫應(yīng)用
產品規格
材料: 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不鏽鋼過濾介(jiè)質
保持器 316 不鏽(xiù)鋼
顆粒保留: 去除所有大於 0.3 μm 直徑(jìng)的顆粒超過 95%
運行條件: 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性(xìng)氣體(tǐ)]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米(0.98 英寸(cùn))
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米(0.99 英寸)
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米(mǐ)(1.16 英寸)
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包(bāo)裝)2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器(qì)
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器(qì)
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包裝(zhuāng))
ENTEGRISWG3NSMSL2過(guò)濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾(lǜ)器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器(qì)
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾(lǜ)器(qì)
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾(lǜ)器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器(qì)
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾(lǜ)器(qì)
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過(guò)濾(lǜ)器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器(qì)
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器(qì)
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾(lǜ)器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06,CN3HF3E06,CN3HF4E06,CN3HM4E06,CN5001E06,CN5001ES1,CN5001EZ6,CN5001T06,CN5001V06,CN5002E06,CN5002ES1,CN5003E06,CN5003ES1,CN5003T06,CN5003V06,CN5051E06,CN5051T06,CN5071E06,CN5071S06,CN5071T06,CN5072E06,CN5072V06,CN5073E06,CN5073T06,CN5073V06,CN5074T06,CN5074V06,CN50F1E06,CN50F1ES1,CN50F2E06,CN50F3E06,CN50F3ES1,CN50F4E06,CN50M4E06,CN50M4S06,CN50M4T06,CN50M4V06,CN6HF4E06,CR0101006,CR0101E06,CR0101T06,CR0101V06,CR0102006,CR0102T06,CR0102V06,CR0103006,CR0103T06,CR0104006,CR0104V06,CR0151006,CR0152006,CR0153006,CR0153T06,CR0153V06,CR0154006,CR0154T06,CR0154V06,CR0171006,CR0171E06,CR0171T06,CR0172006,CR0172E06,CR0172T06,CR0173006,CR0173E06,CR0173T06,CR0174006,CR0174E06,CR01F1006,CR01F1P06,CR01F2006,CR01F2C06,CR01F2P06,CR01F3006,CR01F3P06,CR01F3V06,CR01F4006,CR01F4P06,CR01M0203,CR0301006,CR0301E06,CR0301T06,CR0302006,CR0303006,CR0351006,CR0354V06,CR0371006,CR0371E06,CR0372006,CR0372E06,CR0373006,CR0373T06,CR0374006,CR03F1006,CR03F1P06,CR03F2006,CR03F2P06,CR03F3006,CR03F3P06,CR03F4006,CR03F4P06,CR03M0203,CR0501006,CR0501E06,CR0501T06,CR0501V06,CR0502006,CR0503006,CR0503V06,CR0504006,CR0504E06,CR0552006,CR0553006,CR0554V06,CR0571006,CR0571E06,CR0571T06,CR0572006,CR0572T06,CR0573006,CR0573E06,CR0573T06,CR0574006,CR05F1006,CR05F1P06,CR05F2006,CR05F2P06,CR05F2V06,CR05F3006,CR05F3P06,CR05F4006,CR05F4P06,CR05M0203,
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