ENTEGIRS英特格，過濾器YY260102P，YY260103N，YY260103P，YY260103PT，YY260104F，YY260104N，YY260104P
ENTEGIRS英（yīng）特格，過濾（lǜ）器YY260102P，YY260103N，YY260103P，YY260103PT，YY260104F，YY260104N，YY260104P
ENTEGIRS英特格，過（guò）濾器YY260102P，YY260103N，YY260103P，YY260103PT，YY260104F，YY260104N，YY260104P
ProcessGard
PL Half Dove Tail Housing Kit Part Numbers
PART NUMBER INLET/OUTLET FLANGE SIZE LENGTH CONNECTION
YY260051N 3/8" inlet/outlet with NPT fitting 5" Code 0
YY260051P 3/8" inlet/outlet with PT fitting 5" Code 0
YY260052N 1/2" inlet/outlet with NPT fitting 5" Code 0
YY260052P 1/2" inlet/outlet with PT fitting 5" Code 0
YY260053N 3/4" inlet/outlet with NPT fitting 5" Code 0
YY260053P 3/4" inlet/outlet with PT fitting 5" Code 0
YY260054N 1" inlet/outlet with NPT fitting 5" Code 0
YY260054P 1" inlet/outlet with PT fitting 5" Code 0
YY260054PT 1" inlet/outlet with PT fitting 5" Code 0
YY260054S 1" inlet/outlet with compression seal 5" Code 0
YY260101N 3/8" inlet/outlet with NPT fitting 10" Code 0
YY260101P 3/8" inlet/outlet with PT fitting 10" Code 0
YY260102N 1/2" inlet/outlet with NPT fitting 10" Code 0
YY260102P 1/2" inlet/outlet with PT fitting 10" Code 0
YY260103N 3/4" inlet/outlet with NPT fitting 10" Code 0
YY260103P 3/4" inlet/outlet with PT fitting 10" Code 0
YY260103PT 3/4" inlet/outlet with PT fitting 10" Code 0
YY260104F 1" inlet/outlet 10" Code 0
YY260104N 1" inlet/outlet with NPT fitting 10" Code 0
YY260104P 1" inlet/outlet with PT fitting 10" Code 0
YY260104S 1" inlet/outlet with compression seal 10" Code 0
YY260203N 3/4" inlet/outlet with NPT fitting 20" Code 0
YY260203P 3/4" inlet/outlet with PT fitting 20" Code 0
YY260204N 1" inlet/outlet with NPT fitting 20" Code 0
YY260204P 1" inlet/outlet with PT fitting 20" Code 0
YY260204S 1" inlet/outlet with compression seal 20" Code 0
YY260303N 3/4" inlet/outlet with NPT fitting 30" Code 0
YY260303P 3/4" inlet/outlet with PT fitting 30" Code 0
YY260304N 1" inlet/outlet with NPT fitting 30" Code 0
YY260304P 1" inlet/outlet with PT fitting 30" Code 0
YY260304S 1" inlet/outlet with compression seal 30" Code 0
YY26F053N 3/4" inlet/outlet 5" Code F
YY26F053P 3/4" inlet/outlet 30" Code F
YY26F054N 1" inlet/outlet with NPT fitting 5" Code F
YY26F054P 1" inlet/outlet with PT fitting 5" Code F
YY26F054S 1" inlet/outlet with compression seal 5" Code F
YY26F103N 3/4" inlet/outlet with NPT fitting 10" Code F
YY26F103P 3/4" inlet/outlet with PT fitting 10" Code F
YY26F104N 1" inlet/outlet with NPT fitting 10" Code F
YY26F104P 1" inlet/outlet with PT fitting 10" Code F
YY26F104S 1" inlet/outlet with compression seal 10" Code F
YY26F203N 3/4" inlet/outlet with NPT fitting 20" Code F
YY26F203P 3/4" inlet/outlet with PT fitting 20" Code F
YY26F204N 1" inlet/outlet with NPT fitting 20" Code F
YY26F204P 1" inlet/outlet with PT fitting 20" Code F
YY26F204S 1" inlet/outlet with compression seal 20" Code F
YY26F303N 3/4" inlet/outlet with NPT fitting 30" Code F
YY26F303P 3/4" inlet/outlet with PT fitting 30" Code F
YY26F304N 1" inlet/outlet with NPT fitting 30" Code F
YY26F304P 1" inlet/outlet with PT fitting 30" Code F
YY26F304S 1" inlet/outlet with compression seal 30" Code F
美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在（zài）線氣體（tǐ）過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過（guò）濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英（yīng）特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨（huò）
美國ENTEGRIS英（yīng）特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
為（wéi）超純氣體（tǐ）係統過濾提供卓越的微粒（lì）過濾，是高溫和動態壓力應用的理想選擇。
最先進的（de）外（wài）殼組件通過最小化焊接區域來消除除氣
全金屬結構是高（gāo）溫和動態壓力應用的理想（xiǎng）選擇
緊湊（còu）的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設計效率並最大限度（dù）地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器（qì）應用（yòng）
超純氣體管線
高溫應用
新工廠建設（shè）
動壓應用
惰性和活性氣體
產品規格（gé）
材料 濾芯 燒結（jié）鎳膜過濾（lǜ）器
住房 電拋（pāo）光（guāng） VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子（zǐ） <0.03 顆粒/升（<1 顆粒（lì）/ft 3） >0.01 μm
揮發物（wù） Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在（zài）線氣體過濾器（qì）部件號（hào）
零（líng）件號 接（jiē）頭尺寸和類型 長（zhǎng）度
.特種氣體
特種（zhǒng）氣體是指稀有氣體或（huò）超高純度（dù）（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫藥（yào）、電子及石油化工在（zài）內的許多行（háng）業都會受益（yì）於特種氣體的獨（dú）特性質，它有助於提高產量、優化性能以及降低成本。我們富有經驗的（de）應用團隊遍布全球，可以根據對您的行業和應用情況的了解，為您提供（gòng）特種氣體供應解決（jué）方案，以滿足您的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一（yī）種緊湊型（xíng）全（quán）金屬過濾器，可與（yǔ）標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配（pèi）合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫（háo）米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平（píng）板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹（gàn）蝕刻 離子注入 光（guāng）刻
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾器
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭（tóu）兼容（róng））外螺（luó）紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與（yǔ） VCR 接頭兼（jiān）容）外螺紋（wén）入口/出（chū）口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊（diàn）圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器（qì）與高純度氣（qì）體兼容，並在 超（chāo）純氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供（gòng）卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾（lǜ）芯在超純應用（yòng）中表現出色
專為高流量和低增量壓力應用而設計
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
為快速啟動而（ér）預先調節（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣（qì）體過濾器（qì）應用
兼容所有類別的半導（dǎo）體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容（róng）
產品規格
材料（liào） 濾芯 由模壓 PFA 結（jié）構（gòu）支（zhī）撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒（lì）/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和（hé） O 2。低於 LDL THC（檢測下（xià）限為 5 ppb）
移（yí）除等級（jí） ≥0.0015 微米（mǐ）
表麵處理內部 WGMX（青銅（tóng））MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄（xiè）漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件（jiàn）
最大（dà）入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅（tóng） 1?4" 和 1?2" VCR 兼容（róng）接（jiē）頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最（zuì）高工作（zuò）溫度 120°C (248°F)
流量等（děng）級 參考性能數據
保修單 青銅（tóng） 1年
銀 3年
顆粒保留 大於（yú） 99.9999999% (9 LRV) 去除所有（yǒu）顆粒（參考（kǎo）最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件（jiàn）號
零（líng）件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入（rù）口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英（yīng）寸（cùn））
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛（luò）克112.7 毫米（4.44 英寸（cùn））
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克（kè）112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克（kè）117.9 毫米（mǐ） (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊（hàn）管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器（qì）
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊（còu）型全金屬過濾器（qì），可代（dài）替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈（quān）。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插入標（biāo）準氣（qì）體管線
非常適合高壓和高溫應用
保護（hù）關鍵部件免受顆（kē）粒物損壞
在世（shì）界一流的 ISO 認（rèn）證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過（guò）濾器應用
用於（yú）最高 400°C (752°F) 的（de）應用
用於保護敏感氣體成分
適用（yòng）於高壓和高溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽（xiù）鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒超（chāo）過 95%
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴（bā）, 421 psid)
最高（gāo）工（gōng）作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號（hào）
Gasketgard 在線墊片過濾器（qì）部件號
零件（jiàn）號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器（qì） 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾（lǜ）器是一種緊湊型全金屬過濾器，可（kě）與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊（diàn）圈配合（hé）使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸（cùn）） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體（tǐ） 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣（qì）體輸送 薄膜 沉（chén）積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊（jǐn）湊型全金屬（shǔ）過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持（chí）器便於對齊
設計用於輕鬆插入標準氣體管線
非常適合高壓和高溫應（yīng）用
保護關鍵部（bù）件免（miǎn）受顆粒（lì）物損壞
在（zài）世界一（yī）流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於（yú）保護敏感氣體成分
適用於高壓和高溫應（yīng）用
產品規格
材料： 焊接（jiē）到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼（gāng）過（guò）濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑（jìng）的顆（kē）粒超過 95%
運行條件： 最（zuì）大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆（zhào）帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在（zài）線墊片過濾器部件號（hào）
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型（xíng）帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保（bǎo）持（chí）器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1SS2過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器（qì）
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包（bāo）裝（zhuāng））
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過（guò）濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器（qì）
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無（wú）包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過（guò）濾器（qì）
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
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