美國ENTEGRIS應特（tè）格（gé），WG3NS8RR2現（xiàn）貨，Wafergard® III NF Micro XL 在線氣體過濾器
為超（chāo）純氣體係統過濾提供（gòng）卓越的微粒過濾，是高溫和動態壓力（lì）應用的理想選擇。
最先進的外殼組（zǔ）件通過最小化焊接區域來（lái）消除除氣
全金屬結構是高溫和動態壓力應用的理想選擇
緊湊的尺（chǐ）寸和靈活（huó）的配件選擇提（tí）供了最（zuì）高的（de）設計效率並最大（dà）限度地降低了工程成本
應用
Wafergard
III NF Micro XL 在（zài）線氣體過濾（lǜ）器應用
超純（chún）氣體管線
高溫應用
新工廠建設
動壓應用
惰性和活性氣體
產品規格
材料 濾芯 燒結（jié）鎳膜過（guò）濾器
住房 電拋（pāo）光 VAR316L 不鏽鋼外（wài）殼
下遊清潔度 粒子（zǐ） <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮（huī）發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68ºF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68ºF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號（hào）
零（líng）件號 接頭尺寸和類型 長度
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封（fēng）件（與 VCR 接頭兼（jiān）容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺（luó）紋入（rù）口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾（lǜ）器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純（chún）度氣體兼容，並在 超純氣體應用 以及 一般（bān）氮氣（qì）和 CDA 應用中提供卓越（yuè）的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應用中（zhōng）表現出色
專為高流量和低增（zēng）量（liàng）壓力應用而設計
用於惰性和反應性氣體，包括（kuò）臭氧
為快速啟動而預先調節（僅限銀色）
應用（yòng）
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的（de）半導體工藝氣體（tǐ）
與一般氮氣和（hé） CDA 應（yīng）用兼（jiān）容
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐（chēng）的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不（bú）鏽鋼（gāng）外殼
下遊（yóu）清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢（jiǎn）測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內（nèi）部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加（jiā））MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過（guò）測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件（jiàn）
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容（róng）接頭（tóu）：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容接頭（tóu）：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫（wēn）度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆（kē）粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去（qù）除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒（lì）尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體（tǐ）過（guò）濾器部件號
零件號（hào） 接頭尺寸和類型 長（zhǎng）度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入（rù）口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英（yīng）寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世（shì）偉洛（luò）克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（mǐ）（4.67 英（yīng）寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛（luò）克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英（yīng）寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包（bāo）裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
Entegris WGMXMBRR4 過（guò）濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過（guò）濾（lǜ）器（qì）WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨（huò）
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
特種氣體
特種氣體是指稀有氣體（tǐ）或超高（gāo）純度（99.995% 以上）的氣（qì）體。包括分析、醫藥、電（diàn）子及石油化工在內的許多（duō）行業都會受益於特種（zhǒng）氣體的獨特性質，它有助於提（tí）高產量、優化性（xìng）能以及降低成本。我們（men）富有經驗的應用（yòng）團隊遍布全球，可以根據對您的行業和應用情況的了解，為（wéi）您提供特種氣體供應解決方案，以滿足您的獨特需求。
Gasketgard 在（zài）線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型（xíng）全金屬過濾（lǜ）器，可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配（pèi）合（hé）使用。
合身尺寸
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊（jǐn）湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計（jì）用（yòng）於輕鬆插入標（biāo）準氣體管線
非常適（shì）合（hé）高壓（yā）和高溫應用
保護關鍵部件（jiàn）免受顆粒物損壞
在世（shì）界一流（liú）的 ISO 認證設施中製（zhì）造
應用
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器應用
用於（yú）最高 400°C (752°F) 的應用（yòng）
用於保護敏感氣體成分
適用於（yú）高壓和（hé）高溫應用
產品規格
材料： 焊（hàn）接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 µm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作（zuò）溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器（qì） 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過（guò）濾器，可與標準（zhǔn） 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配（pèi）合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存（cún）儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾（lǜ）器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插入標（biāo）準氣體管線
非常適（shì）合高壓和高溫應用
保護關（guān）鍵部件免受顆粒（lì）物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中製造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應（yīng）用
用（yòng）於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感（gǎn）氣體成分（fèn）
適用於高壓和高溫應（yīng）用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上（shàng）的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質（zhì）
保持器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去（qù）除所有大於 0.3 µm 直徑的顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓（yā）差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零（líng）件號 接頭尺（chǐ）寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持（chí）器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器（qì） 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過（guò）濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過（guò）濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過濾器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾器
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸（cùn）） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過（guò）濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過（guò）濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過（guò）濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過（guò）濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
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過程
散裝氣體（tǐ）輸送 薄膜 沉積 幹（gàn）蝕刻 離（lí）子注入 光刻
Gasketgard 在線墊（diàn）片過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器