Wafergard® III 散裝在線金屬氣體過濾器，SI2N0100B，ENTEGRIS

適用於所有工藝氣體的鎳過濾膜
提供多種配件（jiàn）類型以滿足（zú）客戶的安裝要求 
可（kě）提供 0.0015 µm 過濾技（jì）術，以滿足超潔淨大宗氣體輸送的最苛刻需求
應（yīng）用
Wafergard III 散裝在（zài）線（xiàn）金屬氣體過濾器應（yīng）用
大宗天然氣農場和大（dà）宗特種氣體係統 (BSGS)
超高純氣體（tǐ）管線
高溫應用
新工廠建設和/或升級現有過濾器

規格

產品規（guī）格

材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器

住房 電拋光 VAR 316L 不鏽（xiù）鋼

移除等級 0.0015 微米

表麵處理內飾 <10 微英寸 Ra

下遊清（qīng）潔度 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 µm

氦泄漏等級 1 x 10 -9大氣壓立方厘米/秒

最大操作條件 最大工作壓力： 50 巴（725 磅/平方英（yīng）寸）SI2N0010R、SI2N0025R

31 巴（450 磅/平方英寸）SI2N0050R、SIN0100B、SI2N0200B、SI2N0200R

最大正向（xiàng）/反向壓差： 5.2 巴（75 磅/平方英寸）

在惰性氣體中的最高工作（zuò）溫度： 200°C (392°F)

顆粒保留 大（dà）於 99.9999999% (9 LRV) 在最大額（é）定流量下去除所有顆粒（以最具穿透性的顆粒尺寸為參（cān）考）

  零件號