英特格ENTEGRIS過濾器，SVTG02TQ1

薩瓦那®

在

筒式過（guò）濾器

全氟聚合物（wù）過濾

積極的化學物質

Savana®AT濾芯（xīn）采用（yòng）全氟（fú）聚合物設（shè）計

施工持（chí）續（xù）清除顆粒從大範圍

酸（suān），堿和其他（tā）加工化學品。理想的中，高（gāo）流量應用，Savana濾筒過濾器提供低

擁有成（chéng）本(COO)。

優（yōu）化的（de）過（guò）濾麵積最大限度地減少了壓降

該過濾器不影響增強顆粒（lì）去除

設計特點。含（hán）氟高分子材料

和設備結構使較低的可提取（qǔ）和其他（tā）

可能對加工過程有害的汙染物，而

在清潔，耐用的過濾器中提供高保留（liú）性能（néng）

ENTEGRIS英特格過濾器，Savana® AT Filter，SVTG02TQ1自（zì）營現貨（huò）

 Cost effective filtration for non-outgassing chemistries and solvents at moderate temperatures in applications where metal control is not critical.
APPLICATIONS
Savana AT Filter Applications
Aggressive acid and base, point-of-tool filtration
Bulk chemical delivery and wet etch and clean semiconductor applications
Purification life sciences applications
Bulk chemical flat panel display applications
Substrate - Ni-P plating and magnetic head - wet etch and clean data storage applications
LED applications