美國ENTEGRIS應特格氣體過濾器，WG2F02RR4，現貨
美國ENTEGRIS英特格在線氣體過濾（lǜ）器WG2F02RR4，現（xiàn）貨
Wafergard
II F Mini XL 在線氣體過（guò）濾（lǜ）器
在氣體麵板、氣體（tǐ）櫃和晶圓（yuán）加工需要超純氣體的任何地方進行卓越的顆粒過濾。
緊湊的裝置減少了氣箱的整體占地麵積，節省了寶貴的設備空間
PTFE 膜提（tí）供高效過濾，提高產品產量
低壓降降低了低蒸氣壓氣體（tǐ）冷凝的風險
與所有類別的半導體工藝氣體（tǐ）具有出色的兼容性
用於惰性和反應性氣體（tǐ），包括臭氧
應用
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器應用
臭氧（yǎng）應用（yòng）（氣體）
煤氣櫃
超純氣體係統
閥組箱
氣體麵板
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋（pāo）光 316L 不鏽鋼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆（kē）粒/升（<1 顆粒/ft 3) >0.01µm
揮發（fā）物 <10 ppb 水分
移除（chú）等級 0.0015 微（wēi）米
表麵處理內部 ≤10 µin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
經過測試（shì） 1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃度分（fèn）辨率 ±0.015 ppm
運行條件 最大入口（kǒu）壓力： 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F)
最（zuì）大正向壓差： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度： 120°C (248°F)
顆粒保（bǎo）留 大於 99.9999999% (9 LRV) 在（zài） 100 slpm 下去（qù）除所有顆粒（參考最具穿透（tòu）性（xìng）的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能（néng）數據
零件號
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭（tóu）尺寸和類型 長度（dù）
WG2F02JJ2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸（cùn））
WG2F02JJ4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 115.5 毫米（4.55 英寸）
WG2F02RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭（tóu）兼容（róng））外螺紋入口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG2F02RR4 1/2" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺（luó）紋（wén）入口/出口（kǒu） 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓縮密封（與世偉洛（luò）克接頭（tóu）兼容（róng））外螺紋入口/出口 119.3 毫米（4.70 英寸）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
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Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
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ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過（guò）濾器
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ENTEGRIS WG3NSMSL2
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Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
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