美國ENTEGRIS英特格在線氣體過濾器WG2F02RR4，現（xiàn）貨

美國ENTEGRIS英特格在線氣體過濾器WG2F02RR4，現貨 

美國ENTEGRIS英特格在線（xiàn）氣體過濾器WG2F02RR4，現貨 

美國ENTEGRIS英特格在線氣體過濾器WG2F02RR4，現（xiàn）貨 

 Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器

在氣體麵板、氣體櫃和晶圓加工需要超純氣體（tǐ）的任何地方進（jìn）行卓越的顆粒過濾（lǜ）。

緊湊的裝置減少了氣箱的（de）整體占地麵積（jī），節（jiē）省了寶貴的設（shè）備（bèi）空間
PTFE 膜提供高效過濾，提高產品產量
低壓降（jiàng）降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風險
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性
用於惰（duò）性和反應性氣體，包括臭（chòu）氧
 應（yīng）用
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過（guò）濾器應用
臭氧（yǎng）應用（氣體）
煤氣櫃
超純（chún）氣體係統
閥組箱
氣體麵板（bǎn）
產（chǎn）品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的（de）疏水 PTFE 膜
住房 電拋光 316L 不鏽鋼
下遊清潔度 粒（lì）子 <0.03 顆（kē）粒/升（<1 顆粒/ft 3) >0.01µm
揮發物 <10 ppb 水分
移除等級 0.0015 微米  
表麵處理（lǐ）內部（bù） ≤10 µin Ra  
氦泄（xiè）漏等級 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
經過測試 1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃（nóng）度分辨（biàn）率 ±0.015 ppm
運行條件 最大入口壓力： 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平（píng）方英寸）@ 23°C (73°F)
最大正向壓差： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高（gāo）工作溫度： 120°C (248°F)
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 在 100 slpm 下去（qù）除所有顆粒（參考最具穿透性的顆（kē）粒尺寸）
流量等級 參考性能數據  
 零件號
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器部（bù）件號
零件號 接頭尺寸和類型（xíng） 長度（dù）
WG2F02JJ2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮密封（與世偉（wěi）洛克接頭兼容）外（wài）螺紋入口/出口（kǒu） 115.5 毫（háo）米（4.55 英寸）
WG2F02RR2 1/4" 墊片（piàn）密封（與 VCR 接（jiē）頭兼容）外螺紋入（rù）口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG2F02RR4 1/2" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克接（jiē）頭（tóu）兼容（róng））外螺紋入口/出口 119.3 毫米（4.70 英寸）