應特格ENTEGRIS,在線 PTFE 氣體過濾器WGMXMSRR2，現貨4個

應特格ENTEGRIS,在（zài）線 PTFE 氣體過濾器WGMXMSRR2，現貨4個
應特格ENTEGRIS,在線 PTFE 氣體過濾器WGMXMSRR2，現貨4個
應（yīng）特格ENTEGRIS,在線 PTFE 氣體過濾器WGMXMSRR2，現（xiàn）貨4個
應特格ENTEGRIS,在線 PTFE 氣體過濾器WGMXMSRR2，現貨4個
 

Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器

這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純（chún）度氣體（tǐ）兼容，並在 超（chāo）純氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。

PTFE 濾芯在超純應用中表現（xiàn）出色 
專為高流量和低增量壓力應用而設（shè）計 
用於惰性和反應性（xìng）氣體，包括臭氧 
為快速啟動而預先調節（僅限銀色） 
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用
兼（jiān）容所有類別的半導體工藝氣體
與一（yī）般氮氣和 CDA 應用（yòng）兼容
產品規格
材料 濾芯（xīn） 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜（mó）
  住房 電拋光低硫 316L 不鏽（xiù）鋼外殼
下遊清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒（lì）/ft 3 ) 大於 0.01 μm
  揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢（jiǎn）測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
  WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
  經過測（cè）試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
  最大入口壓力
  Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
    青銅 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接（jiē）頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
    Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼（jiān）容（róng）接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
  最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
  最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
  最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青（qīng）銅 1年（nián）
  銀 3年
顆（kē）粒保（bǎo）留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸（cùn）和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公（gōng） VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸（cùn））
WGMXMBSS2 1/4" 世偉（wěi）洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世（shì）偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米（mǐ） (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）

WGMXMSRR4 1/2" 公（gōng） VCR127 毫米（5.00 英寸）

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