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ENTEGRIS應特格在線氣（qì）體過濾器，WG3NS6RR2，MRO現（xiàn）貨自營

ENTEGRIS應特格在線氣體過濾器，WG3NS6RR2，MRO現貨自營

ENTEGRIS應特格在線氣體過濾器，WG3NS6RR2，MRO現貨自營

 Wafergard III NF-30 在線氣體過濾器
為超（chāo）純氣體（tǐ）係統過濾（lǜ）提供卓（zhuó）越的微粒過濾。

全金屬結構提供最清潔、最高效的全金屬過濾器（qì）
獲得專利的鎳過濾膜具有出色的耐腐蝕性和出色的（de）化學相容（róng）性
創新的外殼設計有助於消除排氣並減少幹燥時間
高溫和動態壓力應用的（de）理想選（xuǎn）擇
通常用於高達 30 slpm 的流量
應用
Wafergard III NF-30 在線氣體（tǐ）過濾器應用
大宗氣體輸送
光刻
沉積
幹法蝕刻
離子注入
注意：不建議與（yǔ） CO、O 3和低含量氫（qīng）化物摻（chān）雜劑氣體一起使用。
產品規格
材料 濾膜 獲得專利的燒結鎳
住房 電拋光 F20 不鏽鋼
下（xià）遊清潔度 粒子* <0.03 個顆粒/升 (<1 個（gè）顆粒/ft 3 ) >0.01 µm
揮發物** H 2 O、O 2和 THC 的揮（huī）發性釋氣低於可檢測限（在室（shì）溫下通（tōng）過 RGA 和 FID）
移（yí）除等（děng）級 ≥0.0015 µm
表麵處理內部 ≤5 µin Ra
氦泄（xiè）漏率 合格的 2x10 -10  atm cc/秒
經（jīng）過測試 1x10 -9  atm cc/秒
最大工（gōng）作條件 最大入口壓力： 70 bar (1000 psi) @ 100°C (212°F)
最大正向/反向壓差： 10 巴 (150 psid)
最高工作溫度 惰性氣體 35 bar (500 psi) 時 400°C (752°F)
腐蝕（shí）性和反應性氣體 50°C (122°F) 在 70 bar (1000 psi)
保（bǎo）修單 5年
顆粒（lì）保留 在 30 slpm 時（shí）所有顆粒的去除率大於 99.9999999% (9 LRV)
在 75 slpm 時所（suǒ）有顆（kē）粒的去除率大於 99.9999%（參考最具穿（chuān）透性的（de）顆粒尺（chǐ）寸）
流量 參考流量曲線
*顆粒清潔度符合 SEMASPEC 顆粒脫落測試方法 (#93021511A-STD)
**揮發性清潔度符合 SEMASPEC 測試方法：THC 貢獻 (#90120396B-STD)、水分貢獻 (#90120397B-STD)、氧（yǎng）氣（qì）貢獻（xiàn） (# 90120398B-STD)
零件號（hào）
Wafergard III NF-30 在線氣體過（guò）濾器部件號
零（líng）件號 接頭（tóu）尺寸和類（lèi）型 長度
WG3NS3FF2 1/4" 墊片密封（與（yǔ） VCR 接頭（tóu）兼容）內（nèi）螺紋入口/出口 58.4 毫米（2.30 英寸）
WG3NS3FR2 1/4" 極化墊圈密封（fēng）（與（yǔ） VCR 接頭兼容）內螺紋入口/外（wài）螺紋（wén）出口（kǒu） 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NS3JJ2 1/4" 對焊管 28.4 毫米（1.12 英寸）
WG3NS3RF2 1/4" 極化（huà）墊（diàn）片密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺紋出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NS6RR2 1/4" 墊片密封（fēng）（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）

WG3NS6SL2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭（tóu）兼容）外螺紋入口/出口，短版 58.7 毫米（2.31 英寸（cùn））