Wafergard III NF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器（qì），WG3NS2RR4自（zì）營現貨10個

最先進的（de）外殼組件通過最小化焊接麵積來消除除氣
全金屬結構（gòu）非常適合高溫和動態壓力應用
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了（le）極高（gāo）的設計（jì）效率（lǜ）並最（zuì）大限（xiàn）度地降低了（le）工程成（chéng）本
應用
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在（zài）線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高（gāo）溫和動壓應用
惰性和（hé）反應性氣體
氣櫃和麵板
閥組箱
掛鉤
注意：不建議與 CO、O 3和低含量（liàng）氫化物摻雜劑（jì）氣體一起使（shǐ）用
產品規格
材料 濾膜 鎳
  外殼，端蓋（gài） 低硫（liú）316L不鏽鋼
初始下遊清潔度 ≤0.03 個顆粒/升（≤1 個顆粒/ft 3） ≥0.01 μm
移除等級 ≥0.0015 微米
顆粒保留 Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 60 slm (Mini) and 120 slm (Mini XL): referenced at the most penetrating particle size
Surface finish interior ≤ 5 μin Ra
Helium leak rating Tested 9 × 10-10 Pa m3c (9 × 10-9 atm ccc)
Maximum conditions Maximum operating pressure: 16.2 MPa (162 bar, 2346 psid) at 20°C (68°F)
  Maximum forward/reverse differential pressure: 3.3 MPa (33 bar, 485 psid) @RT
  Maximum design temperature: Inert gases: 400°C (725°F)
Flow rating Refer to performance data
 零件號
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接（jiē）頭尺寸和（hé）類型 長度
WG3NS1RR2 1/4" 墊（diàn）片密封（fēng）（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）
WG3NS2RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋（wén）入口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG3NS2RR4 1/2" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋（wén）入（rù）口（kǒu）/出口 133.3 毫米（5.25 英寸） 

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯（xīn）

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯（xīn）

Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器（qì）

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器

Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器

Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器

Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器（qì）

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器（qì）

Entegris WGFGMBRR4 12026

Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動閥

Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器

Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器

ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過濾器

ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器

ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥

ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥

ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥

ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥（fá）

ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥

ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥

ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥

entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器

ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過（guò）濾器

ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器

ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測器（qì）

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥

ENTEGRIS YY260103N 17526 過濾器

ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器

ENTEGRIS  CTFV01P01KPW 18139 濾芯

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動閥

ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器

ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器

ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣動閥

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

entegris WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器（qì）

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器

Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器

Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器（qì）

Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾器

Entegris WGFG02PR1 15957 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾器

ENTEGRIS WG2F02RR2 20483

Entegris YY5032PS1 20649 過濾器

Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器

Entegris YY5032PS1 20649

Entegris WGFG21KP0 20840

Entegris WGFG21KP0 20840

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過（guò）濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器

Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG  WG3NS6RR2 21440 過濾器（qì）

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器（qì）

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過（guò）濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器

ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯（xīn）

Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器

ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯

ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器

ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）

ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器

ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過（guò）濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過（guò）濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥

ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616

ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十個） 17994 濾芯

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯

Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器（qì）

ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器（qì）

Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器

Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器

Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器

Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器

ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

Entegris WGFGMBRR4 12026

Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動閥

Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器

Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器

ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器

ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥

ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥

ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥

ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥

ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥

ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥

ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥

entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器

ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器

ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過濾器

ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器

ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測器

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥

ENTEGRIS YY260103N 17526 過濾器

ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器

ENTEGRIS  CTFV01P01KPW 18139 濾芯

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動閥

ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器（qì）

ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器（qì）

ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣（qì）動閥

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾（lǜ）器

entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾（lǜ）器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過（guò）濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器（qì）

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過（guò）濾器

Entegris CWFV0S1S3 19143 濾（lǜ）芯

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器

Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器

Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾器

Entegris WGFG02PR1 15957 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WG2F02RR2 20483

Entegris YY5032PS1 20649 過濾器

Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器

Entegris YY5032PS1 20649

Entegris WGFG21KP0 20840

Entegris WGFG21KP0 20840

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器（qì）

ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過（guò）濾器

ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器

Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG  WG3NS6RR2 21440 過（guò）濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器（qì）

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過（guò）濾器

ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯

Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器

ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯

ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器

ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器

ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動閥

ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616

ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十個） 17994 濾芯（xīn）

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼