entegris濾芯CTFG01TPE，英特格濾芯，大量現貨

美（měi）國（guó）ENTEGRIS應特格（gé）氣體過濾器，WG2F02RR4，現貨

美（měi）國ENTEGRIS英特格在線氣體過濾器WG2F02RR4，現貨 

 Wafergard II F Mini XL 在（zài）線氣（qì）體過（guò）濾器

在氣體麵板、氣體櫃和（hé）晶圓加工需要超純氣體的任何地（dì）方進行卓越的顆粒過（guò）濾。

緊湊的裝置減少了氣箱的整體占地麵積，節省了寶貴的設備空間
PTFE 膜提供高效過濾（lǜ），提高產品產量
低壓降降低了低（dī）蒸氣壓氣體冷凝的風險
與所有類（lèi）別的半導體（tǐ）工（gōng）藝氣體具有（yǒu）出色的兼（jiān）容性
用於惰（duò）性和（hé）反應性氣體，包括臭氧
 應用
Wafergard II F Mini XL 在（zài）線氣體過濾器應用
臭氧（yǎng）應（yīng）用（氣體）
煤氣櫃
超純氣體係（xì）統
閥組箱
氣體麵板
產品規格
材料 濾芯 由模（mó）壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光 316L 不鏽鋼
下遊清潔度 粒子（zǐ） <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3) >0.01µm
揮發物 <10 ppb 水分
移除等級 0.0015 微米  
表麵處理內部 ≤10 µin Ra  
氦泄漏等級 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
經過（guò）測試 1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃度分辨（biàn）率（lǜ） ±0.015 ppm
運行條件 最（zuì）大（dà）入口壓力： 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方（fāng）英寸）@ 23°C (73°F)
最大正向壓差： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓（yā）差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度： 120°C (248°F)
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 在 100 slpm 下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等（děng）級 參考性能數據  
 零件號
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器部件（jiàn）號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG2F02JJ2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸（cùn））
WG2F02JJ4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（mǐ）（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口（kǒu）/出口 115.5 毫（háo）米（mǐ）（4.55 英寸）
WG2F02RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸（cùn））
WG2F02RR4 1/2" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克（kè）接頭兼容）外螺紋入口/出（chū）口 119.3 毫米（4.70 英寸（cùn））
  

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WGMXMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器

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ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器（qì）

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器

ENTEGRIS WGMXMPRR4

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ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WGMXMBRR4 過濾器

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ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器

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Entegris WG2FT1SS2 過濾器

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