美國ENTEGRIS應特格氣體過濾器，WG2F02RR4，現貨
美國ENTEGRIS英特格在線氣（qì）體（tǐ）過濾器WG2F02RR4，現貨
Wafergard
II F Mini XL 在線氣體過濾器
在氣（qì）體麵板、氣體櫃和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進行卓越的（de）顆粒過濾。
緊湊的裝置減少了氣箱的整體占地麵積，節省了寶貴的設備空間
PTFE 膜提供高（gāo）效過濾，提（tí）高產品產量
低（dī）壓降降低了低蒸氣壓氣體冷（lěng）凝的風（fēng）險
與所有類別的半導體工（gōng）藝氣體具有出色（sè）的兼容性
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
應用
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器應用（yòng）
臭氧（yǎng）應用（氣體）
煤氣櫃
超（chāo）純氣（qì）體係（xì）統
閥組箱（xiāng）
氣體（tǐ）麵（miàn）板
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支（zhī）撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光 316L 不（bú）鏽鋼
下遊清潔度 粒（lì）子 <0.03 顆粒/升（<1 顆（kē）粒/ft 3) >0.01µm
揮發物 <10 ppb 水分
移除等級 0.0015 微米
表麵處理（lǐ）內（nèi）部 ≤10 µin Ra
氦泄（xiè）漏等級 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
經過（guò）測試 1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃度分辨率 ±0.015 ppm
運（yùn）行條件 最（zuì）大入口壓力： 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平（píng）方英寸）@ 23°C (73°F)
最大正向壓差： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度： 120°C (248°F)
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 在 100 slpm 下去除所有顆粒（參考最（zuì）具穿透（tòu）性的顆粒尺寸）
流量等級 參（cān）考性能數（shù）據
零件號
Wafergard II F Mini XL 在線（xiàn）氣體過濾器部件號（hào）
零件號 接頭尺寸和類型（xíng） 長度
WG2F02JJ2 1/4" 對焊管（guǎn） 133.4 毫（háo）米（5.25 英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 對焊（hàn）管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮密封（與世（shì）偉洛克接頭兼容）外螺紋入（rù）口/出口 115.5 毫米（4.55 英寸）
WG2F02RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼（jiān）容（róng））外螺紋（wén）入口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG2F02RR4 1/2" 墊片（piàn）密（mì）封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓縮密（mì）封（與世（shì）偉洛克接頭兼容）外螺紋入口（kǒu）/出口 119.3 毫米（4.70 英寸）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
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ENTEGRIS WGMXMPRR4
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