美國ENTEGRIS應特格氣體過濾器，WG2F02RR4，現貨
美國ENTEGRIS英特格在線氣體過濾器WG2F02RR4，現貨
Wafergard
II F Mini XL 在（zài）線氣體過濾器
在氣體麵板、氣體櫃和晶圓加（jiā）工需（xū）要超純氣體的任何地方（fāng）進行卓越的顆粒過濾。
緊湊的裝置減少了氣箱的整體占地麵積，節（jiē）省了（le）寶貴的設備空間
PTFE 膜提供高效過濾，提高產品產量
低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風險
與所有類別的半導（dǎo）體工藝氣體具有出色的兼容（róng）性
用於惰（duò）性和反應性氣體（tǐ），包括臭氧
應用
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾器（qì）應用
臭氧應用（氣體）
煤氣（qì）櫃
超純氣體係統
閥組箱
氣體麵板
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結（jié）構（gòu）支撐的疏水 PTFE 膜
住（zhù）房 電拋光 316L 不鏽鋼
下遊清潔度（dù） 粒子 <0.03 顆粒（lì）/升（<1 顆粒（lì）/ft 3) >0.01µm
揮發物 <10 ppb 水分
移除等級 0.0015 微米
表麵處理內部 ≤10 µin Ra
氦泄（xiè）漏等級（jí） 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
經過（guò）測試 1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃度（dù）分辨率 ±0.015 ppm
運（yùn）行條（tiáo）件 最大入口壓力： 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F)
最大正向壓差： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最（zuì）大壓差（chà）： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度： 120°C (248°F)
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 在 100 slpm 下去除所有顆粒（參考最具穿（chuān）透性的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能數據
零件號
Wafergard II F Mini XL 在線氣體過濾（lǜ）器部件號（hào）
零件號 接頭尺寸和類（lèi）型 長度（dù）
WG2F02JJ2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸（cùn））
WG2F02JJ4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮密封（與世偉洛克（kè）接頭兼（jiān）容）外螺紋入口/出口 115.5 毫米（4.55 英寸（cùn））
WG2F02RR2 1/4" 墊（diàn）片密封（與 VCR 接（jiē）頭兼容）外螺紋入口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG2F02RR4 1/2" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.4 毫米（5.25 英（yīng）寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓縮密封（fēng）（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 119.3 毫米（4.70 英寸）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無（wú）包（bāo）裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
