美國ENTEGRIS英特格在線式氣體過濾（lǜ）器，WGMXMPSS3現貨4個
Wafergard
MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高（gāo）純度氣體兼容，並在 超（chāo）純氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越（yuè）的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應用中表現出色（sè）
專為高流（liú）量和低增量（liàng）壓力應用而設計
用於惰性和反（fǎn）應性氣體，包括臭氧
為快速啟動（dòng）而預先調（diào）節（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應（yīng）用
兼（jiān）容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋（pāo）光低硫 316L 不（bú）鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆（kē）粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅（tóng）加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合（hé）格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒（miǎo）
經過測試（shì） 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行（háng）條件
最大（dà）入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接（jiē）頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1⁄4" 和（hé） 1⁄2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容（róng）接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作（zuò）溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性（xìng）能數據
保修（xiū）單 青（qīng）銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最（zuì）具穿透性的顆粒尺寸）
零件號（hào）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸（cùn））
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（mǐ）（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對（duì）焊管（guǎn） 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無（wú）包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
美國ENTEGRIS英特格過濾器，WGPMOGGT2現貨，可（kě）當天發貨
美國ENTEGRIS英特格過濾器，WGPMOGGT2現貨，可當天發貨
美國ENTEGRIS英特（tè）格過濾器，WGPMOGGT2現貨（huò），可當天發貨
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線（xiàn）墊（diàn）圈過（guò）濾器是一種緊湊型全金屬過濾器（qì），可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插入標準氣（qì）體管（guǎn）線（xiàn）
非常（cháng）適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世（shì）界一流的 ISO 認證設施（shī）中製造
應用
Gasketgard 在（zài）線墊片過濾器應用
用於最（zuì）高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏感氣體成分
適用於高壓和高（gāo）溫應用
產品規格（gé）
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結（jié） 316L 不鏽鋼過濾介質
保持（chí）器 316 不鏽鋼
顆粒保留： 去（qù）除所有（yǒu）大於 0.3 µm 直徑的顆粒超過（guò） 95%
運行條件： 最大壓差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作（zuò）溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型（xíng）帶保持器（qì） 25.25 毫米（mǐ）（0.99 英寸（cùn））
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISXX67000WH過濾器
ENTEGRISWGGB01KAN氣體過濾器
ENTEGRISWGFG01KL0過濾器
EntegrisWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWGFGMBRR4
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器（qì）
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
EntegrisWGFG02PR1過濾器
EntegrisWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動閥
ENTEGRISWGPMOGGT2過（guò）濾器
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
EntegrisWGPM0GGT4過濾器
EntegrisWG2SS8RR2過濾器
EntegrisWG3NS6RR2過濾器
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3閥
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
ENTEGRISXX67000WH過濾器
ENTEGRISWGGB01KAN過濾器
ENTEGRISWGFG01KL0過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3偵測器
EntegrisWG2SS8RR2過濾器
EntegrisWG3NS6RR2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器（qì）
ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISYY260103N過濾器
EntegrisCR4-2C-6F-3氣動閥（fá）
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGFG01DS0（一包十個）濾芯（xīn）
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW濾芯
ENTEGRISDS12-2C-16F-3 13085331氣動閥
ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾（lǜ）器
EntegrisCWFV0S1S3濾芯
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動閥
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISCN2501E6濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWGPM0GGG2過濾器（qì）
entegrisWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWG2SS8RR2過濾器（qì）
ENTEGRISCN2501E6濾芯
EntegrisSVTH01TQ1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器（qì）
ENTEGRISCN2501E06濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器（qì）
ENTEGRISWGFG50PR1過（guò）濾器
ENTEGRISWGFG01DSH過濾器
ENTEGRISPLMV-K12閥
ENTEGRISPLMV-K04閥
ENTEGRISPLMV-K16閥
ENTEGRISPLPV-K04閥
ENTEGRISPLPV-K08閥
ENTEGRISPLPV-K12閥
ENTEGRISPLPV-K16閥
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3氣動閥
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾（lǜ）器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過（guò）濾器
EntegrisYY5032PS1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
entegrisWGFGT1PR1過濾器
EntegrisYY5032PS1
EntegrisWGFG21KP0
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFG01DS0過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4過濾（lǜ）器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過（guò）濾器
EntegrisWGFG21KP0
EntegrisWG2SS8RR2過濾器
