Wafergard
MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，並在（zài） 超純氣體應用（yòng） 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供（gòng）卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在（zài）超純應用（yòng）中表現出色
專為高流量和低（dī）增量壓力應用而設（shè）計（jì）
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
為快速啟動而預先調節（僅限（xiàn）銀色）
應用
Wafergard MAX 在（zài）線 PTFE 氣體過濾器（qì）應用（yòng）
兼容所有（yǒu）類別的（de）半導體工藝（yì）氣體
與（yǔ）一般氮（dàn）氣和 CDA 應用兼（jiān）容
產品規（guī）格
材料 濾芯 由（yóu）模（mó）壓 PFA 結（jié）構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 小於（yú） 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米（mǐ）
表麵處理內部 WGMX（青銅（tóng））MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏（lòu）等級（jí） 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒（miǎo）
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青（qīng）銅 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大（dà）反（fǎn）向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作（zuò）溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考（kǎo）性能數據
保修單 青銅（tóng） 1年
銀 3年（nián）
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿（chuān）透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部（bù）件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度（dù）
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入（rù）口，1/4" 母（mǔ） VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸（cùn））
WGMXMBSS3 3/8" 世（shì）偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉（wěi）洛克118.7 毫米（4.67 英（yīng）寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫（háo）米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉（wěi）洛克112.7 毫米（mǐ）（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對（duì）焊管（guǎn） 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無（wú）包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器（qì）
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器（qì）
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾（lǜ）器
Entegris WG2FT1RR2 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包（bāo）裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器（qì）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾（lǜ）器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
