Honeywell氣體探測主機（jī），MIDAS-T-006G

電子特氣係統在半導體製程擴散工藝中的應用--MIDAS氣體檢（jiǎn）測（cè）器

電子特氣（qì）係統在半導體製程擴散工藝中的應用

▮在半導體製造中，擴散工（gōng）藝是一種常用的生產工藝，是一種摻雜技術，而（ér）電（diàn）子特氣係統是能將擴散工藝所（suǒ）需的元素氣體（tǐ）原材料，在保護氣體純度的同時，安全穩定的供（gòng）應到使用（yòng）設備。

▮什麽是擴散工藝？

擴散工藝是一種摻雜技術，在高溫條件下，利用熱擴散原理將（jiāng）雜質元素按（àn）工藝要求對半導體晶圓進行（háng）摻雜，即將元素磷、硼擴散入矽襯底中，從而改變和控製半導體內雜質的類型、濃度和分布，改變矽材料的電學（xué）特性，以便建立（lì）起不同的電特性區域。

擴散工藝（yì）在（zài）半導體製造中應用主要體現在（zài）對關鍵結構PN結形（xíng）成的作用上。因為單獨（dú）的擴散工藝還有一些缺陷：如高溫擴散時間長、生產周期長、所需溫度高等，這些缺陷（xiàn）會對半導體的產量、質量和成品（pǐn）率等都會造（zào）成影響，所（suǒ）以，在PN結（jié）的製造中（zhōng），擴散工藝（yì）常搭（dā）配離子注入技（jì）術一起使用。

 ▮特氣係統的應用（yòng）：

在半導體製造中，特氣係統將含元素離子氣體作為摻雜氣體注入（rù）到（dào）晶圓表（biǎo）麵，通過擴散原理改（gǎi）變矽材料的（de）電學特性，形成半導體PN結（jié）。

半導體行業對所用（yòng）的氣體，不管是純度還（hái）是氣體性質（zhì）都有著使用要求，被稱為電子特氣，大多（duō）數是易燃（rán）易爆、劇毒、腐蝕性的特（tè）殊氣體，具有很（hěn）大（dà）的危險性。超（chāo）高純電子特氣係統（tǒng），就（jiù）是在保護電子特氣純度、避免外界雜質汙染的同時，保證氣體的使用安（ān）全、壓力穩定和使用設備的精（jīng）準供氣。

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