Boron Trifluoride BF3 0-8 ppm MIDAS-E-HFX

Midas  氣體偵測器
為（wéi）半導體加工和工業製造的氣體偵測方麵帶來全新的能見度、可（kě）靠性和簡（jiǎn）易操作（zuò）。
產品特色與效益
可在全程零失誤的（de）情況下偵測超過35 種氣（qì）體
改（gǎi）善能見度和（hé）簡易操作
易於安裝

產品規格一覽
Flow Rate: 500 mL/min
Transport Time: 2 to 30 seconds maximum
Sample Line Tubing: 0.125 in ID x 0.25 in OD
產品概述
Midas 氣體偵測器使用可靠的感測（cè）器技術來偵測工（gōng）廠中許多（duō）主要的有毒、周圍和易燃氣體。裝置監控點最遠可達100 英呎(30 公（gōng）尺) 遠，還能使用專利技術來控管流量率並確保氣（qì）體偵測零失誤。由於Honeywell 使用了先進的機器人，Midas 氣體偵（zhēn）測（cè）器得以（yǐ）提（tí）供無懈可擊的品質和可靠性：

改善能見（jiàn）度和簡易（yì）操作。Midas 氣體偵測器配有明亮的LED 光（guāng）以及直覺式互動介麵，可提供氣體讀（dú）取的即時警報或是警報等級（jí）。該介麵也有受（shòu）密碼保護的選（xuǎn）單，適用（yòng）於配置、測試和校正。
易於安裝。由於外型精巧又配有操作（zuò）簡便（biàn）的金屬底（dǐ）盤（pán），Midas 氣體偵測（cè）器易於安裝。在空間就（jiù）是一切的情（qíng）況下，此（cǐ）特性在擁擠、複雜的加工環境中就顯得特別重要。
多樣應（yīng）用。透過多（duō）樣又好用的功能，Midas 氣體偵測器適用於許多工業（yè）應用，包括半導體加工、輕工業製造、大學實驗（yàn）室、航太、廢水等用途。
其他產品特色與效益：

可供35 種氣體使用，並延長2 年保固*
具備「線上校正」憑證（zhèng）的智慧型感測器卡（kǎ）匣（xiá）
警報1、2 和故障適用的三種內建繼電器(C 機型)
乙太網路供電(PoE) 通訊
鍵盤介麵和遠端（duān）網頁瀏覽（lǎn）器介麵
可連至任一Midas 氣體偵測器的Midas 選用熱解器模組
受密碼保（bǎo）護的選單等級，可（kě）用於保護係統的完（wán）整性
明亮的LED 以及直覺式圖示（shì）的大型多色彩背光LCD 顯（xiǎn）示器（qì）
原廠校正感測器可減（jiǎn）少頻繁進行氣體測試的需（xū）求
具備故障（zhàng）和事件報告功能的隔離式0-22 mA 類比輸出（chū）
Modbus/TCP 乙太網路可輕鬆連至所有控製和警報係統連接埠，有助於控製連（lián）線（xiàn）和服務互動
功能強大的（de）提取（qǔ）式泵係統(2 年使用壽命) 可取（qǔ）樣高達100 英呎
取得歐盟認證(CE)，享有無線電（diàn）頻率幹擾的完整豁（huō）免權
Reflex  感測器健全狀況檢（jiǎn）查，安全獲得改善
可酌情采用TempraSureTM 溫度（dù）補償技術
用於檢閱感（gǎn）測器曆史記錄的事件（jiàn）記錄功能
 

Transmitter Dimension
Gas Name Chemical Formula Range Sensor Part Number
Ammonia NH3 0-100 ppm MIDAS-E-NH3
Arsine AsH3 0-200 ppb MIDAS-E-ASH
Boron Trichloride BCl3 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
Boron Trifluoride BF3 0-8 ppm MIDAS-E-HFX
Boron Trifluoride (Low Level) BF3 0-2 ppm MIDAS-E-HFL
Bromine Br2 0-0.4 ppm MIDAS-E-BR2
Butane n-C4H10 0~100 %LEL MIDAS-E-LEB
Carbon Dioxide CO2 0-2.0% MIDAS-E-CO2
Carbon Monoxide CO 0-100 ppm MIDAS-E-COX
Carbon Monoxide (Low H2 interference) CO 0-100 ppm MIDAS-E-COH
Chlorine Cl2 0-2 ppm MIDAS-E-HAL
Chlorine Dioxide ClO2 0-0.4 ppm MIDAS-E-BR2
Diborane B2H6 0-400 ppb MIDAS-E-B2H
Dichlorosilane H2Cl2Si 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
Difluoromethane** CH2F2 0-240 ppm MIDAS-E-XCF
Disilane Si2H6 0-20 ppm MIDAS-E-SHX
Ethylene C2H4 0~100 %LEL MIDAS-E-LEL
Fluorine F2 0-4 ppm MIDAS-E-HAL
Germane GeH4 0-800 ppb MIDAS-E-ASH
Hexafluorobutadiene** C4F6 0-40 ppm MIDAS-E-CFX
Hydrogen (%LEL) H2 0~100 %LEL MIDAS-E-LEL*
Hydrogen (ppm) H2 0-1000 ppm MIDAS-E-H2X
Hydrogen Bromide HBr 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
Hydrogen Chloride HCl 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
Hydrogen Cyanide HCN 0-20 ppm MIDAS-E-HCN
Hydrogen Fluoride HF 0-12 ppm MIDAS-E-HFX
Hydrogen Fluoride (Low Level) HFL 0-2 ppm MIDAS-E-HFL
Hydrogen Sulfide H2S 0-40 ppm MIDAS-E-H2S
Methane (%LEL) CH4 0~100 %LEL MIDAS-E-LEL*
Methyl Fluoride** CH3F 0-120 ppm MIDAS-E-XHF
Nitric Oxide NO 0-100 ppm MIDAS-E-NOX
Nitrogen Dioxide NO2 0-12 ppm MIDAS-E-NO2
Nitrogen Trifluoride** NF3 0-40 ppm MIDAS-E-HFX for 00P, XHF for NP1
Octane n-C8H18 0~100 %LEL MIDAS-E-LEO
Octofluorocyclopentene** C5F8 0-40 ppm MIDAS-E-XCF
Oxygen O2 0~25% v  MIDAS-E-O2X
Ozone O3 0-0.7 ppm MIDAS-E-O3H
Ozone (Low Level) O3 0-0.4 ppm MIDAS-E-O3X
Phosphine PH3 0-1200 ppb MIDAS-E-PH3
Propane C3H8 0~100 %LEL MIDAS-E-LEX
Propylene C3H6 0~100 %LEL MIDAS-E-LEL
R134a C2H2F4 0-1000 ppm MIDAS-E-XCF
Silane SiH4 0-20 ppm MIDAS-E-SHX
Silane (Low Level) SiH4 0-2 ppm MIDAS-E-SHL
Sulfur Dioxide SO2 0-8 ppm MIDAS-E-SO2
Tetra Ethyl Ortho Silicate TEOS 0-40 ppm MIDAS-E-TEO
Tungsten Hexafluoride WF6 0-12 ppm MIDAS-E-HFX
Tungsten Hexafluoride (Low Level) WF6 0-2 ppm MIDAS-E-HFL