Wafergard SG YY 係（xì）列（liè）氣體過（guò）濾（lǜ）器提供（gòng）卓越（yuè）的微粒過濾功（gōng）能，可最大限度地提高光伏（fú）電池和顯示器製造的產量（liàng）。 

與高純（chún）度氣體、惰性氣體和 CDA 應用具（jù）有出色的相容性
卓越的下遊清潔度
應用
Wafergard SG 氣（qì）體過濾器應用
光伏工（gōng）藝氣（qì）體
顯示製造工藝氣（qì）體
煤氣櫃（guì）
閥組（zǔ）箱
煤氣板（bǎn）
零件號
Wafergard SG 氣體過濾器（qì）部件號
零件號 產品類別 最（zuì）大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體（tǐ）過濾器 120 升/分（fèn） 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫（háo）米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過（guò）濾器 120 升/分 1/4" 壓縮密封（fēng）（與 Swagelok 兼容） 115.5 毫米（mǐ）（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分（fèn） 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 133.5 毫米（mǐ）（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣（qì）體過濾器 120 升/分 3/8" 壓縮密（mì）封（與 Swagelok 兼（jiān）容） 119.3 毫米（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊（diàn）圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密（mì）封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺紋出口 141.2 毫米（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（mǐ）（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 112.7 毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體（tǐ）過濾器 1000 升/分 3/8" 壓縮（suō）密封（與 Swagelok 兼容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過（guò）濾器 1000 升（shēng）/分 1/2" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 118.7 毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾（lǜ）器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分（fèn） 1/4" 墊圈密封（兼（jiān）容 VCR） 84.1 毫（háo）米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（fēng）（與 Swagelok 兼（jiān）容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok compatible) 119.3 mm (4.70")
  

 Wafergard SG YY 係列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾功能，可最（zuì）大限度地提（tí）高光伏電池和顯示器製造的產（chǎn）量。 

與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應用具有出色的相容性
卓越的下遊清（qīng）潔度
應用
Wafergard SG 氣體過（guò）濾器應用
光伏工藝氣體
顯示製造工藝氣體
煤氣櫃
閥組箱
煤氣板
零件號
Wafergard SG 氣體（tǐ）過濾器部件號（hào）
零（líng）件號（hào） 產（chǎn）品類別 最大流量 接頭尺寸和（hé）類型 長度（dù）
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/4" 壓縮密封（fēng）（與 Swagelok 兼容） 115.5 毫米（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器（qì） 120 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 133.5 毫米（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 3/8" 壓縮密封（fēng）（與 Swagelok 兼容） 119.3 毫米（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈密封（fēng）（兼容（róng） VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密（mì）封（與 VCR 接頭兼（jiān）容）外螺紋入口（kǒu）/內螺紋（wén）出口 141.2 毫（háo）米（mǐ）（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣（qì）體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密封（兼（jiān）容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器（qì） 1000 升（shēng）/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 112.7 毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器（qì） 1000 升/分 1/2" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 118.7 毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型（xíng）氣體過濾器 60 升（shēng）/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣（qì）體過濾器（qì） 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過（guò）濾器（qì） 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok compatible) 119.3 mm (4.70")
  

 Wafergard SG YY 係列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾功能，可最大限度（dù）地提高光伏電池和顯示器（qì）製造的產量。 

與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應用具有出色（sè）的相容性
卓越的下遊清潔（jié）度
應用
Wafergard SG 氣體（tǐ）過濾器應用
光伏工（gōng）藝氣體
顯示製造工藝（yì）氣體
煤氣櫃
閥組箱
煤氣板
零件號
Wafergard SG 氣體過（guò）濾器部件號
零件（jiàn）號 產（chǎn）品類（lèi）別 最大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/4" 墊圈密封（兼（jiān）容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過（guò）濾器 120 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼（jiān）容） 115.5 毫米（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊（diàn）圈密封（兼容 VCR） 133.5 毫米（mǐ）（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 119.3 毫米（mǐ）（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈密封（兼（jiān）容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺（luó）紋出口 141.2 毫米（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器（qì） 500 升/分（fèn） 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣（qì）體過濾器 500 升/分 1/4" 壓縮（suō）密封（fēng）（與 Swagelok 兼容） 112.7 毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器（qì） 1000 升（shēng）/分 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分（fèn） 1/2" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 118.7 毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器（qì） 60 升/分 1/4" 墊圈密封（fēng）（兼容（róng） VCR） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓（yā）縮密（mì）封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器（qì） 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（mǐ）（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與（yǔ） Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok compatible) 119.3 mm (4.70")