美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線（xiàn）氣（qì）體過濾器
WG3NS6SL2
WGMXLPRR6
WG3DBGNRR4
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
WG3D50DR2
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
WGSLNFC1H?
美國ENTEGRIS氣體過（guò）濾器，WDPM0CPSF，數量3個
SV10F20E16 氣體（tǐ）過濾器
SVTV01TQ1 氣體過濾器
WGFG16HP2，氣體過濾器
Entergris 過濾器
型號：TRVT31X942SP
CWAG16KL1? ?3個
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
SI2N0100BRR6,
WGFG16HP2
美國ENTEGRIS英特格，過濾器 WG3NS7SL2
WGMXMBSS4
CBUG050P1
英特格 A2AG200K1?
SVEG01P01
WGMXMBSS4
WGMXMBSS3
YY4110106
YY5032PS1
YY4110104
YY66H0A2A
A2AG200K1
WGMXMPRR4數量10
WGMXMBRR2數量5
為（wéi）超純氣體係統過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動態壓力應用的理想選擇。
最先（xiān）進的外（wài）殼組件通過最小化（huà）焊接區（qū）域來消除除（chú）氣
全金屬結構是高溫和動態壓力應（yīng）用（yòng）的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設計效（xiào）率並最大限度地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用（yòng）
超純氣體管線（xiàn）
高溫應用
新工廠建設
Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器
以（yǐ）高達 30 slpm 的流速可靠（kào）地（dì）去除惰性氣體（tǐ）中的顆粒。
提供高效、低成本、使用點的惰性（xìng）氣體過濾
> 99.9999999% 去除所有直徑大於 0.015 μm 的顆（kē）粒
應用
Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器應用
低進氣過濾器
晶圓輸送係統
清潔幹燥空氣 (CDA)
產品規格
材料 膜（mó）： 疏水性氟聚合物 PTFE
支架、外殼： 粉煤灰
推薦流量 30 升（shēng）/分（fèn）鍾
連接 1/8", 1/4" 壓（yā）縮密封
膜麵積 12 厘米2 (1.9 英寸2 )
顆粒（lì）保留 >99.9999999% 去除所（suǒ）有直徑大於（yú） 0.0015 μm 的顆粒（在最具穿透性的顆粒尺（chǐ）寸下驗證）
運行條件 最大工作（zuò）壓力： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
最大正向壓差： 0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C
最大反向壓差： 0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
最高工作溫度： 50°C (122°F)
方麵 長（zhǎng）度（dù）： 1/8" 密封件：69 mm (2.7")
1/4" 密封件：71.5 mm (2.8")
直（zhí）徑： 21.5 毫米（mǐ）（0.85 英寸（cùn））
GPUS200FEX04R00CA 8個 單價24500 8-10周
GPUS2500FWY08R00CA 4個（gè） 單價62000 3.5-4個月
零件號
Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺（chǐ）寸和類型 長度 選擇選項
WGFG01KP0 1/8" 壓縮（suō）密封 69.0 毫米（2.7 英寸（cùn）） 10 件裝過濾器
WGFG01KP3 1/8" 壓縮密封 69.0 毫（háo）米（2.7 英（yīng）寸） 3 件裝過濾器
WGFG21KP0 1/4" 壓縮密封 71.5 毫米（2.8 英寸（cùn）） 10 件裝過濾器（qì）
WGFG21KP3 1/4" 壓縮密封 71.5 毫米（mǐ）（2.8 英寸） 3 件裝過濾器
ENTEGRIS英特格（gé），Wafergard MAX 在線（xiàn） PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR2現貨
其他商品
動壓應用
惰性和活性氣體
產（chǎn）品（pǐn）規格
WG3NS7SL2
WG3NS3RF2
WG2F02PSI
WGSLSHW1MP-T
WGMXMBSS4
WG3SS1WW2
WG2S01WW2
材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下遊清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型（xíng） 長度
.特種氣體
特種氣體是（shì）指稀有氣體或超高純度（99.995% 以（yǐ）上）的氣體。包括分析、醫藥、電子及石油化工在內的許多行業（yè）都會受益於特種氣體的獨特性（xìng）質，它有助於提高產量、優化性能以及降低成本。我們富有經驗的應用團（tuán）隊遍布（bù）全球，可以根據對您的（de）行業和應（yīng）用情況（kuàng）的了解，為您提供特種氣體供應解決方案，以滿足（zú）您的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊（còu）型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和（hé） 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存（cún）儲 引（yǐn）領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 幹蝕刻 離子注（zhù）入（rù） 光刻
Gasketgard 在線（xiàn）墊片過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGMBRR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
Entegris WG2FT1SS2
Entegris WG2FT1SS2
ENTEGRIS WGMXMSRR4
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2
Entegris WG2FT1RR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS CBUG0S0S1
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPM0GGT4
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG FG 氣體過濾器提供（gòng）卓越的微（wēi）粒過濾（lǜ），以最大限度地提高（gāo）光伏電池和顯示器的生產產量。PTFE 濾芯與高（gāo）純度工藝氣體以及惰性氣體和 CDA 應用兼容。
合身尺寸（cùn）
1/4" 3/8"
配件類型
壓縮密封 密封墊片 不擴散核武器條約
長度（dù）
73.7 毫米（2.90 英（yīng）寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫（háo）米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸（cùn）） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作壓力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過濾器（qì）
Wafergard SG YY 係（xì）列氣體（tǐ）過濾器提供卓越的微粒（lì）過濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器（qì）的生（shēng）產產量。
與高純度氣體（tǐ）、惰性氣體和 CDA 應用具有出（chū）色（sè）的兼容性
卓越的下遊清潔度
應用
Wafergard SG 氣（qì）體過濾器應用
光伏工藝氣體
顯示器製造工藝氣體
煤（méi）氣櫃
閥組箱
氣體麵板
零件（jiàn）號
Wafergard SG 氣體過濾器部件號
零件號 產品類別 最大流（liú）量 接頭尺（chǐ）寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過（guò）濾器 120 升/分鍾 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/2" 墊（diàn）圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體（tǐ）過濾器 500 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分（fèn）鍾 1/2" 墊圈密封（VCR 兼（jiān）容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分（fèn）鍾 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（mǐ）（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鍾 3/8" 壓縮（suō）密封（與世偉洛克 兼容（róng）） 117.9 毫米（4.64 英寸（cùn））
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升（shēng）/分鍾 1/2" 壓縮密（mì）封（兼容 Swagelok） 118.7 毫（háo）米（4.67 英寸（cùn））
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鍾 1/4" 墊（diàn）圈密（mì）封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鍾 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸（cùn））
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫（háo）米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鍾 1/4" 壓縮（suō）密（mì）封（兼（jiān）容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸（cùn））
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過（guò）濾器（qì） 120 升/分（fèn）鍾 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫（háo）米（mǐ）（5.00 英（yīng）寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分（fèn）鍾 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸（cùn））
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分（fèn）鍾（zhōng） 3/8" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（mǐ）（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鍾 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG FG 氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高（gāo）光伏電池和顯示器的生產產量。PTFE 濾芯與高純度（dù）工藝氣體以及惰性（xìng）氣體和 CDA 應用兼容（róng）。
合身（shēn）尺寸
1/4" 3/8"
配件類型
壓縮密封 密（mì）封墊片 不擴散核武器條約
長度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫米（4.70 英（yīng）寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作壓力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG YY 係列氣體過濾器提（tí）供卓越的微粒（lì）過濾，以最大限度（dù）地提高光伏電池和顯示器的生產（chǎn）產量。
與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應用具有出色的兼容性
卓越的下遊清潔度
應用
Wafergard SG 氣體過濾器應用
光伏（fú）工藝氣體
顯示器製造工藝氣體
煤氣櫃
閥組箱
氣體麵板
零件號
Wafergard SG 氣體過濾器部件號
零件號 產品類別（bié） 最大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/4" 墊（diàn）圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英（yīng）寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/2" 墊圈（quān）密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾（zhōng） 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克（kè） 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（與（yǔ） VCR 接（jiē）頭兼容）公入口（kǒu）/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升（shēng）/分鍾 1/2" 墊圈密（mì）封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鍾 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鍾 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過（guò）濾器 1000 升/分鍾 1/2" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鍾 1/4" 壓縮（suō）密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體（tǐ）過濾器（qì） 60 升/分（fèn）鍾 1/4" 墊（diàn）圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾（lǜ）器 60 升/分鍾 1/4" 壓縮密封（兼容（róng） Swagelok） 73.7 毫米（mǐ）（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鍾 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鍾 3/8" 墊（diàn）圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（mǐ）（5.26 英（yīng）寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鍾 3/8" 壓縮密封（fēng）（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外（wài）螺紋入（rù）口/出（chū）口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料（liào）蓋代替金（jīn）屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口（kǒu），短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與（yǔ）高純度（dù）氣體兼容，並（bìng）在 超純氣（qì）體（tǐ）應用 以（yǐ）及 一般氮氣和 CDA 應（yīng）用中提供（gòng）卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應（yīng）用中表現出色
專為高流量和低增量（liàng）壓力應用而設計
用於惰性和反應性氣體，包括臭氧
為快（kuài）速啟（qǐ）動而預先調節（jiē）（僅限銀色）
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容（róng）所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品規格（gé）
材料（liào） 濾芯（xīn） 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不鏽（xiù）鋼外殼
下遊清潔度 粒子 小於 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大於 0.01 μm
揮（huī）發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低於 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除（chú）等級（jí） ≥0.0015 微米
表（biǎo）麵處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀（yín）/青銅加（jiā））MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格（gé）的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒（miǎo）
運行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭（tóu）：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最（zuì）大正向壓（yā）差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫（wēn）度 120°C (248°F)
流量等（děng）級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大於 99.9999999% (9 LRV) 去除所有（yǒu）顆（kē）粒（參考最（zuì）具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件（jiàn）號
零件（jiàn）號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入（rù）口，1/4" 母 VCR 出（chū）口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫（háo）米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫（háo）米（mǐ） (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛（luò）克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英（yīng）寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（mǐ）（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGFGT1PR1 WGFGMBRR4 YY5032PR1 WGMXLPRR6 YY56HF20F WG2F02RR4 WGMXMBRR4 WGMXMSRR2 WG2FT1RR2 WG2F15HJJ6 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 SVTG01TQ1 SVTG01TQ1KPW SVTH01TQ1 CTFG0STPE SVTV01TQ1KPW SVTZ01TQ1KPW GPUS2500FIX04R00CA 等常（cháng）規型（xíng）號均有現貨
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過（guò）濾器（qì）
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過（guò）濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過（guò）濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
WGFGMBRR4 WGFGT1PR1 WGMXLPRR6 LGMXFPRR4 LGMXFPSS3 WG2F02RR2 WG2F02RR4 WG2F15HJJ6 WG2FT1RR2 WG3NS8RR2 WGFA21KP0 WGFG01DS0 WGFG01DSH WGMXMBRR4 WGMXMPRR4 WGMXMSRR2 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 YY5032PR1 YY5032PS1 SI2N0100B
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈（quān）。
保持器便（biàn）於對齊
設計用於輕鬆插入標準氣體管（guǎn）線
非常適合高壓和高溫應用
保（bǎo）護關鍵（jiàn）部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施（shī）中（zhōng）製造
應用
Gasketgard 在（zài）線墊片過濾器應（yīng）用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
用於保護敏（mǐn）感氣（qì）體成分
適用於高壓和（hé）高溫應用
產品規格
材料： 焊接到 316L 不鏽鋼墊片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保（bǎo）持器 316 不鏽鋼
顆粒保（bǎo）留： 去（qù）除所有大於 0.3 μm 直徑的顆粒（lì）超過 95%
運行條（tiáo）件： 最（zuì）大（dà）壓（yā）差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F15HJJ6
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1SS2
WG2SS8RR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3JJ2
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
WG3NS8RR2
WG3SS1WW2
WG3SS2WW2
WGFA21KP0
WGFG01DS0
WGFG01DSH
WGFG01KP0
WGFG01KP3
WGFG01RH2
WGFG02PR1
WGFG21KP0
WGFG21KP3
WGFG32PRU
WGFG50PR1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PS1
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGSLNFC1L
WGMXMBRR4 WGMXMBRR2 WGFGMBRR2 過濾器 應特格
WGFG01KP3 WGFG01DSH WGFG01DS0 WGFA21KP0
WGSLSFC1M
YY5001HR1
LGMXFPRR4 過濾器 entegris 應特格
SI2R15E05 SI2N0100B SI2N0200B 過濾器
YY5032PR1
YY5032PS1
YY50600VT
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
YY5032PS1 YY5032PR1 卡套 3/8
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英（yīng）寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標（biāo）準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈（quān）配合使用。
合身尺寸（cùn）
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行（háng）業
半導體 平板顯示器 數據（jù）存儲 引領
過程（chéng）
散裝氣體輸送 薄膜 沉（chén）積 幹蝕刻 離子注入 光刻（kè）
Gasketgard 在線墊片過濾（lǜ）器（qì）
Gasketgard 在線墊（diàn）圈（quān）過濾器是一種（zhǒng）緊湊型全金（jīn）屬過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便於對齊
設計用於輕鬆插入標準氣體管線
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4WSP20-2C-20KK
WSP20-2M-20KK
CG2NDD050R2
LGMXFPRR4
LGMXFPSS3
SI2MSNFE05
SI2N0025R
SI2N0050R
SI2N0100B
SI2N0100BRR8
SI2N0200B
SI2R007RO
SI2R15E05
SI5BGLTE07
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F15HJJ6
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1SS2
WG2SS8RR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3JJ2
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
WG3NS8RR2
WG3SS1WW2
WG3SS2WW2
WGFA21KP0
WGFG01DS0
WGFG01DSH
WGFG01KP0
WGFG01KP3
WGFG01RH2
WGFG02PR1
WGFG21KP0
WGFG21KP3
WGFG32PRU
WGFG50PR1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PS1
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGSLNFC1L
WGSLSFC1M
YY5001HR1
YY5032PR1
YY5032PS1
YY50600VT
GPUS200FIX04R00CA
GPUS2500FHX04R00CA
GPUS2500FHX08R00CA
GPUS2500FIX04R00CA
GPUS2500FIX08R00CA
GPUS2500NCX04R00CA
GPUS2500NCX08R00CA
GPUS2500NCX08R02CA
GPUS300FWX04R02CA
GPUS300FYX04R02CA
GPUS300NCX04R02CA
AFUG0LPM1
AHUXMLEX1
AMVT33201
APD12LEM1
APD25LEM1
APD50SPM1
BA10012PWENH
BA10022PWENH
CHUX3L0P1M
CHUY3L0P1M
CN2501E06
DFFG01N8S1P
FGPA010T1
FGPH010T1
PFFZ01P4P
PGFPV010V1
PGPDN002AH3NF-N
PGPSG010E1
SKPS010H2F
SV02010E1
SV0261PE1
SV02R10E1
SV0561PV1
SV05R10E1
SV1061PE1
SV10R10E1
SV1H61PE1A
SV1HR10E1A
SV20R10E1
SV2HR10E1
SV2HR10T1
SV30010E1
SV3061PE1
SV30R10E1
SV30R10T1
SV3H61PE1
SV3HR10T1
SV4HR10T1
SV50R10E1
SVAAR10E1
SVAG010E1
SVAG020T1
SVAG61PE1
SVAGR10E1
SVAH010E1
SVAH61PE1
SVAHF10E1
SVAVR10E1
SVEG010E1
SVEG0S0E1
SVEG61PE1
SVES020T1
SVSAR10E1C
SVSGR10E1C
SVSHR10E1C
SVSV61PE1C
SVSVR10E1C
UPEH030E1
CPUV01PLT
CTCAT200Q0D
CTCGT100BKH
CTCVT100Q0H
CTCVT100QKH
CTFG01TPE
CTFG0STPE
CW0A020E1
CWAG0S0S1
WG2L200SS3R2
WG2L200SS3R4
WG2L500SS5R4
WG2S01WW2
WG2SS8RR2
WG2SS8RR2S
WG3D25LR2
WG3D25SR2
WG3D401R2
WG3D40DR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
CWAG40EL1
CWAV3L0S1
CWUG3L0S1
NXCGT10000P
NXPZ150M31FP
PGTV01EQ1
SVTA01TQ1
SVTA01TQ1K
SVTA02TQ1
SVTA0MTQ1
SVTB01TQ1K
SVTC01TQ1
SVTG01TQ1KPW
SVTG02TQ1KPW
SVTH01TQ1
SVTH01TQ1KPW
SVTV01TQ1
SVTV01TQ1K
SVTV01TQ1KPW
SVTV02TQ1KPW
SVTZ01TQ1KPW
WGSLNFC1L
WGSLSFC1M
非常適合高壓和高溫應用
保護關鍵（jiàn）部件免受顆粒物損壞
在世界（jiè）一（yī）流的 ISO 認證設（shè）施中製造
應用
Gasketgard 在（zài）線墊片（piàn）過濾器應用
用於最高 400°C (752°F) 的應用
WG2L200SS3R2，WGL100NS3R2 各一個詢價?
用於保護敏感氣體成分
適（shì）用於高壓和高溫應用
產品規格
材料： 焊接（jiē）到 316L 不鏽鋼墊（diàn）片上的燒結 316L 不鏽鋼過濾介質
保持器 316 不（bú）鏽鋼
顆粒保留： 去除所有大於 0.3 μm 直徑的（de）顆粒超過 95%
運行條件： 最大壓差（chà） 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零（líng）件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
YY260103P，2個
PN2H010E1，2個
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過（guò）濾器（qì）
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
50多年來，ENTEGRIS的日常使（shǐ）命一直是幫助客戶利用他們先進的基於科（kē）學的（de）解決方案來支持需求 驅動程序。更快，更有效地進行創新;並（bìng）最終改變世界。通過他們的解決方（fāng）案和技術專長的力量， Entegris為客戶提供基於科學的（de）創新（xīn）解決方案，以應（yīng）對嚴（yán）峻（jun4）的技術挑（tiāo）戰。ENTEGRIS的總部位於 馬薩諸塞州（zhōu）的比勒裏卡，在全球擁有大約5100名員工（gōng），大約一（yī）半在亞太地區（qū）或歐洲工作。通過在 亞太地區，北美和歐洲的（de）研發，客戶服（fú）務，分析實驗室和製造，ENTEGRIS在將技術提升到更高水 平時為全（quán）球客戶（hù）提供支持。
。
美國ENTEGRIS Wafergard II SF半（bàn）在線氣體過（guò）濾器
①當首選所有不鏽鋼結構時，Wafergard II SF半（bàn）在線氣（qì）體過濾器是高純度（dù）氣體（tǐ）係統的首選過濾器 。
②先進（jìn）的外殼組件（jiàn）通過最小化焊接麵積消除了（le）脫氣現象。
③全（quán）金屬結構是高溫和動態壓力應用的理想選擇。
④其緊湊的尺寸和靈活（huó）的配件選擇可提供最高的設（shè）計（jì）效率，並降低工程成本。
美國ENTEGRIS Gasketgard?在線墊片過濾器
①Gasketgard 直列式墊片過濾器是一種緊湊的全金屬過濾器，可代替標準的1/4“，3/8”和1/2 “VCR 墊片（piàn）
②固定器，易於對準
③專為輕鬆插入標準氣體管線而設計
④高壓和高溫應用的理想選擇
⑤保護關鍵組件免受微粒傷害
⑥ISO認證的工廠中製造
PART NUMBERS
Chemlock? Filter Housings Part Numbers
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YY5605153 YY5605203 YY5611153 YY5611153GF YY5611153T
YY5611160 YY5611160T YY5611170 YY5611170GF YY5611170T
YY5611180 YY5611180GF YY5611180T YY5611190GFM YY5611190M
YY5611203 YY561120A YY561120B YY561120E YY561120F
YY561120P YY5611213 YY561121F YY561121P YY5611250
YY5611250GF YY5611250T YY5611253 YY5611253GF YY5611253T