氣體過濾（lǜ）與淨化（huà）

在空氣、散裝氣體或特種氣體的過濾和（hé）淨化方麵，Entegris 擁有滿足您需求的專業知識、技術和解決方案。

無論是使用點還是散裝氣體輸送、在腔（qiāng）室中還是在晶圓上、在（zài）潔淨室（shì）中還是在工具上，Entegris 長期以來一直致力於提供高性能氣體（tǐ）和空氣（qì）淨化（huà）及過濾產品來滿足您的需求（qiú）。

 

特色象形圖

隱藏在眾（zhòng）目睽睽（kuí）之（zhī）下：提高氣體純度和減少晶圓缺陷的預防性維護策（cè）略
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AMC 過濾器潔淨室、掃描儀和工藝工具化學空氣過濾器
氣體（tǐ）過濾器（qì）利用鎳、不鏽鋼（gāng）和 PTFE 膜技術控製氣體（tǐ）工藝中的汙染
氣體擴散器快（kuài）速排（pái）放到大氣中，無需向腔室中添加顆粒
氣體淨（jìng）化器有多種材料（liào）可將（jiāng）氣體淨化至萬億分之一 (ppt) 的水平
PS14 常溫氣體（tǐ）淨化器
氣體淨化器戶外外殼 

 氣體過濾器

鎳、不（bú）鏽鋼（gāng）、Alloy-22 和 PTFE 過濾技術。Entegris 超純氣體過濾產品為超（chāo）純氣體應用提供 0.0015 微米顆粒過濾。 Wafergard 氣體過濾器可提高工藝氣體吞吐量，同時減少氣體箱的總體（tǐ）占地麵積（jī）。

 

特色內容

端到（dào）端（duān）氣體過濾解決方案
了解更（gèng）多
其他氣體過濾器Wafergard GN 氣體（tǐ）過濾槍是一種易（yì）於使用的輕型 POU（使用點）解決方案，用於控製氣體汙染。該過濾器元件采用 Entegris 獨家設計，用於各種半導體工藝。
在線 PTFE 氣體過（guò）濾器我們的氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾功能，最大限度地減少壓降並最大限（xiàn）度地延長（zhǎng）過濾器的使用壽命。從 Wafergard 和 Linegard 在線氣體過（guò）濾（lǜ）器中進行選（xuǎn）擇。
在線不鏽鋼氣體過濾（lǜ）器Entegris 的在線（xiàn）不（bú）鏽鋼氣體過（guò）濾器設（shè）計用於高壓和高溫應用。它們易於（yú）安裝，無需更改（gǎi）設計。
在（zài）線鎳氣過濾器Entegris 的超純鎳過濾器（qì）是適用於高壓、高溫應用的最清潔（jié）、最高效的氣體過濾（lǜ）產品（pǐn）。

表麵貼裝氣（qì）體過濾器Wafergard 氣體（tǐ）過濾器配有不鏽鋼或鎳過濾元件（jiàn），可提供終極的過程保護、卓越的耐腐蝕性以及（jí）與惰性氣體、氫化物和（hé）活性氣體的出色（sè）兼容性。

表麵安裝（zhuāng）設計減少了燃氣麵板上的空間（jiān），並減少了零件（jiàn）庫存和變化。我們的表麵安裝氣體過濾器產品（pǐn）組合包括 C-Seal 1.125" 和 W-Seal 1.125" 或 1.5" 格式。 

 在線 PTFE 氣體過濾器
用於在低溫應用中去除超純顆粒的聚合物膜氣體過濾器
我們的氣體過濾（lǜ）器（qì）提供卓越的顆粒（lì）過（guò）濾功能，最大（dà）限（xiàn）度（dù）地減少壓降並最大限度地延長過濾器的使（shǐ）用壽命（mìng）。從（cóng） Wafergard 和 Linegard 在（zài）線氣體過濾器中進行選擇。 

 氣體擴散器
快速排放到大氣中，無需向腔室中添加（jiā）顆粒Entegris 氣體擴散器與大多數係（xì）統設計（jì）兼（jiān）容，可輕（qīng）鬆安裝或改裝到負（fù）載鎖定室、冷卻室、傳輸室和處理室中。
特色白皮書（shū）

汙染物保齡球（qiú）：氣體淨化的新科（kē）學（xué）
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Chambergard 氣體擴散（sàn）器Chambergard 快速排氣擴散器可快速向大氣排氣，而（ér）不會（huì）幹擾腔室中的晶圓或向腔室中的（de）晶圓添加顆粒，

從而通過最大限度地縮短負載鎖定排（pái）氣循環時間來提高係統吞吐量。它（tā）們將擴散器的流（liú）動特性與高效過濾器（qì）相結（jié）合，以提高效率和（hé）吞吐（tǔ）量。 

 Wafergard MAX HT 在線氣體過（guò）濾器
在高溫應用（高達 200°C）中提供卓越的顆粒過（guò）濾

行業
半導體
 
平板顯示器
 
數據存（cún）儲
 
引（yǐn）領

 添加比較
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純（chún）氣體兼容，並在超（chāo）純氣體應（yīng）用（yòng）以及一般氮氣和 CDA 應用（yòng）中提供卓越的顆粒過濾能力



 添加比（bǐ）較
Wafergard MAX-1000 在線 PTFE 氣體過濾器
Wafergard MAX-1000 在（zài）線 PTFE 氣體過濾器（qì）為超純氣體應用提供卓（zhuó）越的顆粒過濾能力
配件尺寸
1/2"
配件類型
墊圈（quān）密封（fēng）（兼容 VCR）
 
外（wài）螺紋入口/出口
 
壓縮密封（fēng）（兼（jiān）容 Swagelok）
 
外螺紋入口/出口
長度
127.0 毫（háo）米（5.00 英寸）
 
118.7 毫米（4.67 英寸）


 添加比（bǐ）較
Wafergard GTL 在線氣體過濾器
Wafergard GTL 在線氣體過濾器設計用於去除惰性氣體中的顆粒，流（liú）速（sù）高達 80 slpm
配件尺寸

 
56.6 psid) @ 20°C

 添加（jiā）比較
Linegard MAX-FP 氣體過濾器
適用於中等流量範圍、非關（guān）鍵應用的經濟高效的 0.0015 µm 過濾器


  

EntegrisWG3D40DR2

Entegris WG3D40DR2

ENTEGRIS WGMXMPRR2

Entegris WGFG21KP0

ENTEGRIS WGPM0GGG2

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WGMXMBSS2

ENTEGRIS LGMXFPSS3

ENTEGRIS WGMXMSRR4

Entegris WG2FT1RR2

ENTEGRIS WGFG01DS0

ENTEGRIS SVEG01P01

ENTEGRIS SVTG01TQ1

ENTEGRIS SVTG02TQ1

ENTEGRIS WGPM0GGT2

ENTEGRIS WGPM0GGT2

ENTEGRIS WGPM0GGT4

Entegris WG3NS6RR2

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS LGMXFPRR4

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WG3NS2RR4

Entegris WG2FT1SS2

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGFGT1PR1

Entegris WG2FT1RR2

entegris CTFG01TPE

ENTEGRIS WGPMOGGT4

ENTEGRIS WG2F02RR2

ENTEGRIS WG2F02RR2

Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG  WG3NS6RR2

ENTEGRIS WG3NS8RR2

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WG2F02RR2

ENTEGRIS WG2F02RR4

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WG3NS8RR2

ENTEGRIS CBUG0S0S1

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGMXMSRR4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRISWGMXMSRR2

CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，CR05M0203，

 

CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF

，、

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，CTFV01PT1，CTFV01PTF，CTFV01TC1，CTFV01TK1，CTFV01TPE，CTFV02P01，CTFV02TPE，CTFV03TPE，CTFV0SP01，CTFV0SPSF，CTFV0SPTF，CTFV0STPE，CTFZ01P01，CTFZ01PT1，CTFZ01PTF，CTFZ01TC1，CTFZ01TK1，CTFZ01TPE，CTFZ02P01，CTFZ02TPE，CTFZ03TPE，CTFZ0SP01，CTFZ0SPTF，CTFZ0STPE，CTPR01TP1，EGDVHPX0F，EGDVHPX0S，EGDVHPX2F，EGDVHPX2S，EGDVHPXTH，EGDZHPX0F，EGDZHPX0S，EGDZHPX2F，EGDZHPX2S，EGDZHPXTH，EPFVHPSST，EPFVHPXTW，GDCG01P01，GDCG01TK1，GDCG01TPE，GDCG02P01，GDCG0SP01，GDCG0SPC1，GDCG0SPK1，GDCV01P01，GDCV01TK1，GDCV01TPE，GDCV02P01，GDCV0SP01，GDCV0SPC1，GDCV0SPK1，GDCZ01P01，GDCZ01TK1，GDCZ01TPE，GDCZ02P01，GDCZ0SP01，GDCZ0SPC1，GDCZ0SPK1，GDDGATSST，GDDGATSTH，GDDGATSTT，GDDGATX0F，GDDGATX1F，GDDGATX2F，GDDGATX4F，GDDGATXST，GDDGATXTH，GDDGATXTT，GDDGHPX0F，GDDGHPX0S，GDDGHPX2F，GDDGHPX2S，GDDVATSST，GDDVATSTH，GDDVATSTT，GDDVATX0F，GDDVATX1F，GDDVATX2F，GDDVATX4F，GDDVATXST，GDDVATXTH，GDDVATXTT，GDDVDEV0F，GDDVDEV1F，GDDVD GDDVDEV4F，GDDVHPX0F，GDDVHPX0S，GDDVHPX2F，GDDVHPX2S，GDDZATSST，GDDZATSTH，GDDZATSTT，GDDZATX0F，GDDZATX1F，GDDZATX2F，GDDZATX4F，GDDZATXST，GDDZATXTH，GDDZATXTT，GDDZDEV0F，GDDZDEV1F，GDDZ GDDZDEV4F，GDDZHPX0F，GDDZHPX1S，GDDZHPX2F，GDDZHPX2S，GHPG01P01，GHPG01PLT，GHPG02P01，GHPG02PLT，GHPG0SP01，GHPV01P01，GHPV01PLT，GHPV02P01，GHPV02PLT，GHPV0SP01，GHPZ01P01，GHPZ01PLT，GHPZ02P01，GHPZ02PLT，GHPZ0SP01，PFFG01P4F，PFFG01P4P，PFFG01P6P，PFFG03D4S，PFFV01P4F，PFFV01P4P，PFFV01P6P，PFFV03D4S，PFFZ01P4F，PFFZ01P4P，PFFZ01P6P，PFFZ03D4S，QCCGAT101，QCCGAT1C1，QCCGAT1K1，QCCGATX01，QCCGPF401，QCCGPF801，QCCGSTX01，QCCVAT101，QCCVAT1C1，QCCVAT1K1，QCCVATX01，QCCVATXC1，QCCVATXK1，QCCVPF401，QCCVPF4C1，QCCVPF4K1，QCCVPF801，QCCVPF8C1，QCCVPF8K1，QCCVSTX01，QCCVSTXC1，QCCVSTXK1，QCCZAT101，QCCZAT1K1，QCCZATX01，QCCZATXC1，QCCZATXK1，QCCZPF401，QCCZPF801，QCCZSTX01，QCDG15P3F，QCDG15P8P，QCDG30P2P，QCDG30P3F，QCDG30P8P，QCDGATX0F，QCDGATX1F，QCDGATX2F，QCDGATXLH，QCDGATXTF，QCDGATXTH，QCDGATXTW，QCDGPF40F，QCDGPF41F，QCDGPF42F，QCDGPF80F，QCDGPF81F，QCDGPF82F，QCDGPF8LH，QCDGPF8TH，QCDGSTX0F，QCDGSTX1F，QCDGSTX2F，QCDGSTXLH，QCDGSTXTF，QCDGSTXTH，QCDGSTXTW，QCDV15P3F，QCDV15P8P，QCDV30P2P，QCDV30P3F，QCDV30P8P，QCDVATX0F，QCDVATX1F，QCDVATX2F，QCDVATXLH，QCDVATXTF，QCDVATXTH，QCDVATXTW，QCDVPF40F，QCDVPF41F，QCDVPF42F，QCDVPF80F，QCDVPF81F，QCDVPF82F，QCDVPF8LH，QCDVPF8TH，QCDVSTX0F，QCDVSTX1F，QCDVSTX2F，QCDVSTXLH，QCDVSTXTF，QCDVSTXTH，QCDVSTXTW，QCDZ15P3F，QCDZ15P8P，QCDZ30P2P，QCDZ30P3F，QCDZ30P8P，QCDZATX0F，QCDZATX1F，QCDZATX2F，QCDZATXLH，QCDZATXTF，QCDZATXTH，QCDZATXTW，QCDZPF40F，QCDZPF41F，QCDZPF42F，QCDZPF80F，QCDZPF81F，QCDZPF82F，QCDZPF8LH，QCDZPF8TH，QCDZSTX0F，QCDZSTX1F，QCDZSTX2F，QCDZSTXLH，QCDZSTXTH，QCDZSTXTW，

 

 

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