特氣在運行管理中的幾（jǐ）種分類方法

特種氣體是指那些在特定領域中應（yīng）用的，對氣（qì）體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純（chún）單質氣體配製的二元或多元（yuán）混合氣（qì）。特種氣（qì）體的性質是一切安全運行與管理的基礎。在（zài）儲（chǔ）存、操作、處置氣體之前必須了解該特氣的MSDS，即材料安全數（shù）據表。依據MSDS特氣可以有多種分類方式。

1.按特氣在壓（yā）力容器中的狀態分類

特氣在運輸、儲存、輸（shū）送過程中都充裝在壓力容器（qì）中。氣體在壓力容器中將填充到所有角（jiǎo）落，且對容器的器壁壓力是均衡的。 在一般（bān）填充壓力和溫度下始終保持氣體形式存在的稱之為永（yǒng）久性氣體，而發生液化現象的氣體，稱之為液化氣。液化氣又分為（wéi）兩種類型（xíng），高壓液化氣如：HCL、N2O；低壓液化氣如：NH3、CL2、PH3。由於在使用（yòng）永久性氣體時壓力容（róng）器（qì）內的壓力將逐（zhú）漸降（jiàng）低，而在（zài）使用液化氣時，壓（yā）力（lì）容（róng）器內隻要（yào）有液（yè）體存在則壓（yā）力不（bú）會發生變化，因此在氣（qì）體運行管理中，監控永久性氣體殘餘量的（de）方法為壓力監控，而監控液化氣的殘餘量需加裝電子稱，采用重量監控（kòng）的方（fāng）法。

2.按特氣比重（chóng）分類

比重也稱相對密度（dù），氣體的比重是（shì）指該（gāi）氣體的密度與標準狀況（kuàng）下空氣（qì）密度的比值。在（zài）特氣運行管理中，氣體比重可以用該氣體分子量直觀體現。空氣的分子量為28.8，以空氣分子量為分（fèn）界點，工業中常（cháng）見（jiàn）的（de）比空氣輕的氣（qì）體有（yǒu）：H2、He、NH3、CH4等等；比空氣重的氣體有：AsH3、PH3、SIH4、CF4等等。這兩類氣體的運行管（guǎn）理方式是不同的，比如氣櫃內比空氣輕的氣體的抽風（fēng）位置和氣體采樣（yàng）點在鋼瓶上（shàng）方，而（ér）比空氣重的氣體的抽（chōu）風位置（zhì）和氣體（tǐ）采樣（yàng）點在（zài）鋼瓶下（xià）方。需注意的是運行（háng）管理中的氣體一般都在非標準（zhǔn）狀況下，因此與空氣分子量（liàng）接近的氣體隨著溫度的不同會有例外，如常溫或高溫N2會比空氣輕。而冷（lěng）的N2會比空氣重。

計算混合氣的（de）分子量，首先確定混合氣的氣體組成及各組成氣（qì）體（tǐ）的分子量。比如計算1%PH3/He的（de）分子量，PH3分（fèn）子量為（wéi）34，He分子量為4，計算公式（shì）如下：34×0.01+4×0.99=4.3

3.按特氣的化學（xué）性質分類

依據其化學性質，特氣可分為惰（duò）性氣體（tǐ）、可燃性氣體、自燃性氣體、氧化性氣體及腐蝕性氣體幾種（zhǒng）。 工業上常用的惰性氣體有CF4、C4F8、SF6、Ar、CO2、He、Xe、Ne等；可燃性氣體有AsH3、B2H6、NH3、TEOS、TMB；自燃性氣體有SiH4、PH3等；氧化（huà）性氣體有NO、NF3等；腐蝕性氣體有HCl、HBr、BCl3、BF3、SiCl4、POCl3、PF3、PF5等。值得注意的是（shì），很（hěn）多特氣都同時兼具（jù）以上兩種性質，如SiH2Cl2、SiHCl3同時具有可燃性和（hé）腐蝕性。再如Cl2、F2同時具有腐蝕性和氧化性。

一般半導體、光伏等行業在其主體廠房一層都建有（yǒu）專（zhuān）門的特氣房，並根據所用氣（qì）體（tǐ）的種類和（hé）性（xìng）質劃分（fèn）不同的氣體間。如果廠房所用特氣為高毒、易燃易爆且存儲量達到一（yī）定值時，則需在離廠房安全距離（lí）以外的區域（yù）建立氣站為產線供氣